문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 기판처리장치는,상기 하부 히팅블럭의 일측벽에 형성된 하부배기홀에 연결되며, 상기 하부설치공간의 내부를 배기하는하부배기관더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 하부히터들은 상기 하부설치공간의 바닥면으로부터이격배치되는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 기판처리장치는,상기 히팅블럭의 상부면에 고정 설치되어 상기 기판의 하부면을 지지하는복수의리프트핀들더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 기판처리장치는,상기 메인챔버의 타측벽에 형성되어 상기 공정가스를 배출하는배기포트더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 하부히팅블럭의 하부는 개방되며,상기 기판처리장치는 상기 하부히팅블럭의 개방된 하부를 폐쇄하여 상기 하부설치공간을 외부로부터 차단하는하부덮개더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 기판 처리 장치는,상기 하부 히팅블럭의 일측벽에 형성된 하부배기홀에 연결되며, 상기 하부설치공간의 내부를 배기하는 하부배기관; 및상기 상부 히팅블럭의 일측벽에 형성된 상부배기홀에 연결되며, 상기 상부설치공간의 내부를 배기하는상부배기관더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 9]
제7항에 있어서,상기 상부히터들 및 상기 하부히터들은 상기 상부설치공간의 천정면 및 하부설치공간의 바닥면으로부터각각이격배치되는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 10]
제7항에 있어서,상기 상부히팅블럭의 상부 및 상기 하부히팅블럭의 하부는 개방되며,상기 기판처리장치는,상기 상부히팅블럭의 개방된 상부를 폐쇄하여 상기 상부설치공간을 외부로부터 차단하는 상부덮개; 및상기 하부히팅블럭의 개방된 하부를 폐쇄하여 상기 하부설치공간을 외부로부터 차단하는하부덮개더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 11]
제1항 또는 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 샤워헤드는 상기 기판과 나란한 방향으로 상기 공정가스를 분사하며,상기 분사홀들은 동일한높이형성되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 요구되는 내용을 항목별 목록으로 제시하라.
질문 (question)
기판처리장치에서 상부설치공간과 하부설치공간을 각각 외부로부터 차단하기 위해 사용되는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판처리장치에서 상부설치공간과 하부설치공간을 각각 외부로부터 차단하는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 10에서 상부설치공간을 차단하는 구성과 하부설치공간을 차단하는 구성이 명시되어 있다.
- 상기 상부히팅블럭의 개방된 상부를 폐쇄하여 상기 상부설치공간을 외부로부터 차단하는 상부덮개; 및상기 하부히팅블럭의 개방된 하부를 폐쇄하여 상기 하부설치공간을 외부로부터 차단하는하부덮개
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 상부 및 하부 설치공간의 차단 구성 요소인 '상부덮개'와 '하부덮개'를 선택한다.
- 상부덮개; 및상기 하부히팅블럭의 개방된 하부를 폐쇄하여 상기 하부설치공간을 외부로부터 차단하는하부덮개
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4논리 통합
logical_integration상부설치공간은 상부덮개에 의해, 하부설치공간은 하부덮개에 의해 각각 외부로부터 차단됨을 확인한다.
- 상기 상부히팅블럭의 개방된 상부를 폐쇄하여 상기 상부설치공간을 외부로부터 차단하는 상부덮개; 및상기 하부히팅블럭의 개방된 하부를 폐쇄하여 상기 하부설치공간을 외부로부터 차단하는하부덮개
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5결론 도출
conclusion_formulation차단에 사용되는 구성 요소는 상부덮개와 하부덮개이다.
- 상부덮개; 및상기 하부히팅블럭의 개방된 하부를 폐쇄하여 상기 하부설치공간을 외부로부터 차단하는하부덮개
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 답변으로 상부덮개, 하부덮개를 리스트 형식으로 작성한다.
- 상부덮개, 하부덮개
최종 답변 (final_answer)
상부덮개, 하부덮개
핵심 해석 (core_interpretation)
기판처리장치의 상부 및 하부 히팅블럭의 개방된 부위를 각각 상부덮개와 하부덮개로 폐쇄함으로써 상부설치공간과 하부설치공간을 외부로부터 차단하는 기술적 구성을 포함한다.