문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 기판 처리 장치는,상기 챔버덮개의 천정면에 밀착하여 설치되며, 상기 기판을 향해 소스가스를 확산하는 링 형상의 블록 플레이트를 더 포함하며,상기 블록 플레이트는,상기 상부안테나와 대응되도록 중앙에 형성된 개구;상기 천정면과 대향되는 일면으로부터 함몰된 유로; 및상기 유로와 연통되어 상기 소스가스를 분사하는복수의가스분사구들가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 유로는,상기 기판의 중앙부와 대응되도록 상기 개구의 둘레를 따라 형성된 내측유로; 및상기 가스공급홀과 상기 내측유로를 연결하는 연결유로를 가지며,상기 가스분사구들은 상기 블록 플레이트의 내주면형성되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 4]
제2항에 있어서,상기 유로는,상기 기판의 중앙부와 대응되도록 상기 개구의 둘레를 따라 형성된 내측유로; 및상기 가스공급홀과 상기 내측유로를 연결하는 연결유로를 가지며,상기 가스분사구들은 상기 내측유로 상에이격형성되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 5]
제3항 또는 제4항에 있어서,상기 가스분사구들의 분포밀도는상기가스공급홀증가하는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 6]
제3항 또는 제4항에 있어서,상기 가스분사구들의 직경nan은상기가스공급홀증가하는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 7]
제2항에 있어서,상기 유로는,상기 기판의 중앙부와 대응되도록 상기 개구의 둘레를 따라 형성된 내측유로;상기 내측유로의 외측에 형성되는 외측유로; 및상기 내측유로와 상기 외측유로를 연결하는 복수의 연결유로들를 가지며,상기 가스공급홀은 상기 외측유로 상에 형성되고, 상기 가스분사구들은 상기 내측유로 및 상기 외측유로상각각형성되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 연결유로들의 폭nan은상기가스공급홀증가하는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 9]
제7항에 있어서,상기 가스분사구들은 상기 외측유로에 비해 상기 내측유로 상에 높은분포밀도가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 10]
제7항에 있어서,상기 내측유로 상에 형성된 상기 가스분사구들의 직경이 상기 외측유로 상에 형성된 상기 가스분사구들의 직경보다 큰 것특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 11]
제2항에 있어서,상기 유로는,상기 기판의 중앙부와 대응되도록 상기 개구의 둘레를 따라 형성된 내측유로;상기 내측유로의 외측에 형성되는 외측유로; 및상기 내측유로와 상기 외측유로를 연결하는 복수의 연결유로들를 가지며,상기 가스공급홀은 상기 외측유로 상에 형성되고,상기 가스분사구들은 상기 상기 블록 플레이트의 내주면 및 상기 외측유로상각각형성되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 12]
제7항 또는 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 유로는,상기 개구의 중심을 기준으로, 상기 가스공급홀의 반대측에 위치한 상기 외측유로의 일측과 상기 가스공급홀에 근접한 상기 외측유로의 타측을 연결하며, 서로 나란하게 배치된 복수의 보조연결유로들을 더 가지며,상기 연결유로들은상기보조연결유로들나란한것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 13]
제2항에 있어서,상기 유로는,상기 기판의 중앙부와 대응되도록 상기 개구의 둘레를 따라 형성되며, 상기 개구의 중심을 기준으로 상기 가스공급홀의 반대측에 형성되는 반원 형상의 내측유로;상기 내측유로의 외측에 형성되며, 상기 개구의 중심을 기준으로 상기 내측유로의 반대편에 형성되는 반원 형상의 외측유로;일단부가 상기 가스공급홀과 연결되고, 타단부가 상기 외측유로의 중앙부와 연결되는 연결유로; 및상기 내측유로의 양단부와 상기 외측유로의 양단부를 연결하는 보조연결유로를 가지며,상기 가스분사구들은 상기 내측유로 및 상기 외측유로 상에이격형성되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 7항에 따른 기판 처리 장치에서, 유로의 구성 요소와 가스공급홀 및 가스분사구의 위치 관계는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 7항을 바탕으로 유로의 구성 요소(내측유로, 외측유로, 연결유로), 가스공급홀, 가스분사구 간의 위치 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7항에서 유로는 내측유로, 외측유로, 복수의 연결유로로 구성되며, 가스공급홀은 외측유로 상에 있고, 가스분사구는 내측유로 및 외측유로 상에 형성됨을 추출한다.
- 상기 유로는,상기 기판의 중앙부와 대응되도록 상기 개구의 둘레를 따라 형성된 내측유로;상기 내측유로의 외측에 형성되는 외측유로; 및상기 내측유로와 상기 외측유로를 연결하는 복수의 연결유로들를 가지며,상기 가스공급홀은 상기 외측유로 상에 형성되고, 상기 가스분사구들은 상기 내측유로 및 상기 외측유로상각각형성되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
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3근거 선택
evidence_selection유로의 구성 요소, 가스공급홀의 위치, 가스분사구의 위치를 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 유로는,상기 기판의 중앙부와 대응되도록 상기 개구의 둘레를 따라 형성된 내측유로;상기 내측유로의 외측에 형성되는 외측유로; 및상기 내측유로와 상기 외측유로를 연결하는 복수의 연결유로들를 가지며,상기 가스공급홀은 상기 외측유로 상에 형성되고, 상기 가스분사구들은 상기 내측유로 및 상기 외측유로상각각형성되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
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4논리 통합
logical_integration유로는 내측유로와 외측유로가 연결유로로 연결된 구조이며, 가스공급홀은 외측유로에 위치하고, 가스분사구는 내측유로와 외측유로 모두에 위치한다는 관계를 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 유로의 구성, 가스공급홀의 위치, 가스분사구의 위치를 정리하여 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 구조화된 형식으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
청구항 7항에 따른 기판 처리 장치의 유로 구성 요소와 가스공급홀 및 가스분사구의 위치 관계는 다음과 같다.
1. 유로의 구성 요소: 기판의 중앙부와 대응되도록 개구의 둘레를 따라 형성된 '내측유로', 내측유로의 외측에 형성된 '외측유로', 그리고 이 두 유로를 연결하는 '복수의 연결유로'로 구성된다.
2. 가스공급홀의 위치: 외측유로 상에 형성된다.
3. 가스분사구의 위치: 내측유로 및 외측유로 상에 각각 형성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
블록 플레이트 내의 유로를 내측유로와 외측유로로 이원화하고 연결유로로 연결함으로써, 외측유로에 가스공급홀을 배치하고 양쪽 유로 모두에 가스분사구를 형성하여 가스 분사 구조를 최적화한 기술이다.