문맥 (context)
[청구항 1]
진공 챔버;
상기 진공 챔버에 결합되는 진공 펌프
상기 진공 펌프를 통해 부산물들이 이송되는 배관
상기 배관을 통해 이송된 부산물을 처리하는 스크러버; 및
상기 배관의 외벽에 배치되는 초음파 발생기
를 포함하고,
상기 초음파 발생기는 압전소자 또는 자왜소자를 이용하여 초음파 진동을 발생시켜, 상기 배관에 부산물이 부착되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 초음파 진동의 주파수는20khz이상인것을특징으로 하는부산물 부착 방지 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 진공 챔버는반도체제조용진공챔버인것을특징으로 하는부산물 부착 방지 장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 진공 챔버는포토 리소그라피 공정, 이온 주입 공정, 증착 공정, 식각 공정 또는 세정 공정 중 어느하나의공정수행되는것을특징으로 하는부산물 부착 방지 장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 압전소자는 ni, fe-co, fe-al, zn-ferrite, pb(zr,ti)o3＋pb(zn,nb)o3, pb(zr,ti)o3＋pb(ni,nb)o3, pb(zr,ti)o3＋pvdf 폴리머, pb(zr,ti)o3＋실리콘 폴리머 및 pb(zr,ti)o3+에폭시 폴리머 중에서 선택되는1종이상의압전 물질포함하는것을특징으로 하는부산물 부착 방지 장치.
[청구항 6]
진공 챔버;
상기 진공 챔버에 결합되는 진공 펌프
상기 진공 펌프를 통해 부산물들이 이송되는 배관
상기 배관을 통해 이송된 부산물을 처리하는 스크러버
상기 배관을 감싸도록 형성되는 히팅 코일; 및
상기 배관의 외벽에 배치되는 초음파 발생기
를 포함하고,
상기 초음파 발생기는 압전소자 또는 자왜소자를 이용하여 초음파 진동을 발생시키며, 상기 히팅 코일은 열을 발생시켜, 상기 배관에 부산물이 부착되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 장치
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 초음파 진동의 주파수는20khz이상인것을특징으로 하는부산물 부착 방지 장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 진공 챔버는반도체제조용진공챔버인것을특징으로 하는부산물 부착 방지 장치.
[청구항 9]
제6항에 있어서,상기 진공 챔버는포토 리소그라피 공정, 이온 주입 공정, 증착 공정, 식각 공정 또는 세정 공정 중 어느하나의공정수행되는것을특징으로 하는부산물 부착 방지 장치.
[청구항 10]
제6항에 있어서,상기 압전소자는 ni, fe-co, fe-al, zn-ferrite, pb(zr,ti)o3＋pb(zn,nb)o3, pb(zr,ti)o3＋pb(ni,nb)o3, pb(zr,ti)o3＋pvdf 폴리머, pb(zr,ti)o3＋실리콘 폴리머 및 pb(zr,ti)o3+에폭시 폴리머 중에서 선택되는1종이상의압전 물질포함하는것을특징으로 하는부산물 부착 방지 장치.
[청구항 11]
진공 챔버;
상기 진공 챔버에 결합되는 진공 펌프
상기 진공 펌프를 통해 부산물들이 이송되는 배관
상기 배관을 통해 이송된 부산물을 처리하는 스크러버; 및
상기 배관의 외벽에 배치되는 초음파 발생기; 및
상기 초음파 발생기와 연결되어, 상기 배관의 내부를 모니터링하는 모니터링부
를 포함하고,
상기 초음파 발생기는 압전소자 또는 자왜소자를 이용하여 초음파 진동을 발생시켜, 상기 배관에 부산물이 부착되는 것을 방지하며,
상기 모니터링부는 미리 정해진 주파수를 기준으로, 측정되는 주파수를 통해 배관 내부의 부산물 부착 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 시스템
[청구항 12]
제11항에 있어서,상기 진공 챔버는반도체제조용진공챔버인것을특징으로 하는부산물 부착 방지 시스템.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 진공 챔버는포토 리소그라피 공정, 이온 주입 공정, 증착 공정, 식각 공정 또는 세정 공정 중 어느하나의공정수행되는것을특징으로 하는부산물 부착 방지 시스템.
[청구항 14]
제11항에 있어서,상기 압전소자는 ni, fe-co, fe-al, zn-ferrite, pb(zr,ti)o3＋pb(zn,nb)o3, pb(zr,ti)o3＋pb(ni,nb)o3, pb(zr,ti)o3＋pvdf 폴리머, pb(zr,ti)o3＋실리콘 폴리머 및 pb(zr,ti)o3+에폭시 폴리머 중에서 선택되는1종이상의압전 물질포함하는것을특징으로 하는부산물 부착 방지 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
부산물 부착 방지 시스템에서 모니터링부가 배관 내부의 부산물 부착 여부를 판단하기 위해 사용하는 기준은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation부산물 부착 방지 시스템의 모니터링부가 배관 내부의 부산물 부착 여부를 판단할 때 사용하는 기준을 찾는 것이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 11에서 모니터링부의 기능과 판단 기준에 관한 내용을 추출한다.
- 상기 모니터링부는 미리 정해진 주파수를 기준으로, 측정되는 주파수를 통해 배관 내부의 부산물 부착 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 시스템
-
3근거 선택
evidence_selection판단 기준을 명시한 '미리 정해진 주파수를 기준으로, 측정되는 주파수' 구절을 선택한다.
- 미리 정해진 주파수를 기준으로, 측정되는 주파수를 통해 배관 내부의 부산물 부착 여부를 판단
-
4논리 통합
logical_integration모니터링부는 측정된 주파수 값을 미리 설정된 기준 주파수와 비교하여 부착 여부를 결정함을 알 수 있다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '미리 정해진 주파수를 기준으로 측정되는 주파수'를 도출한다.
-
6답변 생성
answer_generation추출된 근거를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
미리 정해진 주파수를 기준으로, 측정되는 주파수
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 초음파 발생기와 모니터링부를 이용하여 배관 내 부산물 부착 여부를 주파수 변화를 통해 실시간으로 감지하는 기술을 포함한다.