게이트 밸브 및 이를 이용한 기판 처리 시스템 document_id 1020120070218

[청구항 1] 피처리체를 넣고 빼는 복수의 개구부와, 상기 개구부로 가압되는 밸브체와, 상기 밸브체에 마련된 가압부와, 상기 개구부의 개구면에 대해 평행하게 슬라이드하는 메인 슬라이더와, 상기 메인 슬라이더에 마련되고, 돌기부와 상기 돌기부로부터 슬로프형상으로 경사진 경사부를 갖고, 상기 밸브체를 상기 개구부에 정면으로 마주본 상태에서, 상기 밸브체의 가압부를 가압하는 캠 을 포함하고, 상기 밸브체는 상기 개구부를 개방하는 개방부로서 기능하는 적어도 1개의 슬릿형상 개구를 갖고, 상기 슬릿형상 개구에 인접한 부위를 상기 복수의 개구부를 닫는 닫힘부로 하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 복수의 개구부를 닫을 때, 상기 밸브체의 닫힘부의 위치를, 상기 복수의 개구부에 정면으로 마주보는 위치로 이동하고, 상기 밸브체를 상기 캠에 의해 상기 개구부의 개구면을 향해 가압하여, 상기 닫힘부에 의해 상기 개구부를 닫고, 상기 복수의 개구부를 개방할 때, 상기 캠에 의한 가압을 해제하고, 상기 밸브체의 슬릿형상 개구의 위치를 상기 복수의 개구부에 정면으로 마주보는 위치로 이동하고, 상기 슬릿형상 개구에 의해 상기 개구부를 개방하도록구성되어있는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 밸브체와 상기메인 슬라이더의 사이에 배치되고 상기 개구부의 개구면에 대해 평행하게 슬라이드하는 서브 슬라이더를 더 포함하고, 상기 서브 슬라이더는 상기 밸브체를 유지하고, 상기 캠에 의한 가압이 해제되었을 때, 상기 밸브체를 상기 개구부의 개구면으로부터 되돌리는복귀기구구비하는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,슬라이더는 상기 서브 슬라이더를 거는 훅부를 갖고, 상기 메인 슬라이더는 상기 개구부의 개구면에 대해 평행하게 슬라이드함으로써 상기 캠에 의한 가압을 해제하고, 상기 훅부에 의해 상기 서브 슬라이더를 걸고, 상기 서브 슬라이더를 상기 밸브체와 함께 상기 개구부에 대해 평행한 방향으로 슬라이드시켜 상기 슬릿형상 개구에 의해상기개구부개방하는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 밸브체의 슬라이드를 정지시키는 밸브체 스토퍼를 더 포함하고, 상기 밸브체의 슬라이드가 상기 스토퍼에 의해 정지된 후, 상기 메인 슬라이더가 더 슬라이드하는 것에 의해, 상기 훅부에 의한 상기 메인 슬라이더와 상기 서브 슬라이더의 걸림을 해제하고, 상기 캠이 상기 밸브체를 상기 개구부의 개구면을 향해 가압하는 것을 특징으로 하는청구항기재된게이트 밸브. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 밸브체 스토퍼와 상기 밸브체의 사이에는 상기 밸브체를 상기 개구부의 개구면에 대해 정면으로 마주보는 방향으로 진퇴시키는롤러마련되어있는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 7] 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 밸브체의닫힘부의 상기 개구부와는 반대측의 면에리브마련되어있는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 리브는 단면이 장축과 단축을 갖는 직사각형형상의 봉형상 부재이고, 상기 봉형상 부재의 단축의 면이 상기 밸브체의 닫힘부접속되어있는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 9] 제 7 항에 있어서,상기 리브는 단면이 삼각형상인 트러스형상 부재이고, 상기 트러스형상 부재는 1변이 상기 밸브체의 닫힘부로 되어 있거나, 1변이 상기 밸브체의 닫힘부접속되어있는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 10] 제 7 항에 있어서,상기 밸브체의 가압부는 상기 개구부와는 반대측의 면에 상기 개구부의 양 측부측을 따라마련되어있는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 11] 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,슬라이더는 상기 피처리체를 통과시키는 피처리체 통과용 절결부를 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 1 내지 청구항 10 중의 어느 한 항기재된게이트 밸브. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 서브 슬라이더는 상기 메인 슬라이더의 상기 피처리체 통과용 절결부의 외측에 있는 양 측부와 상기 밸브체의 양 측부의 사이에 각각 나뉘어져적어도1개씩배치되어있는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,슬라이더는 상기 서브 슬라이더의 복귀 기구의 선단 부분을 수용하는간섭방지용절결부갖는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항 14] 피처리체를 넣고 빼는 개구부를 갖고, 상기 피처리체를 진공 상태하에 두는 것이 가능한, 상기 피처리체에 처리를 실시하는 처리실과, 상기 피처리체를 넣고 빼는 개구부를 갖고, 상기 피처리체를 대기 상태하 및 진공 상태하의 모두에 두는 것이 가능한, 처리전 및 처리후의 피처리체를 교환하는 로드록실과, 상기 피처리체를 넣고 빼는 개구부를 갖고, 상기 피처리체를 진공 상태하에 두는 것이 가능한, 상기 로드록실과 상기 처리실의 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 반송실 을 포함하는 기판 처리 시스템으로서, 상기 처리실, 상기 로드록실, 및 상기 반송실 중 적어도 어느 하나의, 상기 피처리체를 넣고 빼는 개구부를 개폐하는 게이트 밸브에, 청구항 1 내지 청구항 6 중의 어느 한 항에 기재된 게이트 밸브가 이용되고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템