문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 평탄형 상부 및 하부 반사부는 각각 반사 효율을 높이기 위해 금 코팅막을 추가포함하는기판 열처리 챔버용 히팅 장치.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,상기 기판 열처리 챔버용 히팅 장치는 상기 평탄형 상부 및 하부 반사부에 발생할 수 있는 열 변형 또는 열 손상을 방지하기 위해 상기 상부 및 하부 하우징의 내부에 각각 냉각수가 공급될 수 있는 복수의 냉각 라인을 추가포함하는기판 열처리 챔버용 히팅 장치.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,상기 복수의 상부 및 하부 열원들 간의 거리a 및 상기 복수의 상부 및 하부 열원과 상기 기판 간의 거리 b는 1.3a ≤ b ≤2.0a의 관계갖는기판 열처리 챔버용 히팅 장치.
[청구항 5]
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상부 및 하부 하우징은 알루미늄(al) 재질로 구현되고,상기 복수의 상부 및 하부 열원은 각각 바(bar) 형상의 근적외선 램프 히터구현되는기판 열처리 챔버용 히팅 장치.
[청구항 7]
제 6항에 있어서,상기 복수의 라운드형 상부 및 하부 반사부는 각각 반사 효율을 높이기 위해 금 코팅막을 추가포함하는기판 열처리 챔버용 히팅 장치.
[청구항 8]
제 6항에 있어서,상기 기판 열처리 챔버용 히팅 장치는 상기 복수의 라운드형 상부 및 하부 반사부에 발생할 수 있는 열 변형 또는 열 손상을 방지하기 위해 상기 상부 및 하부 하우징의 내부에 각각 냉각수가 공급될 수 있는 복수의 냉각 라인을 추가포함하는기판 열처리 챔버용 히팅 장치.
[청구항 9]
제 6항에 있어서,상기 복수의 상부 및 하부 열원들 간의 거리a 및 상기 복수의 상부 및 하부 열원과 상기 기판 간의 거리 b는 1.3a ≤ b ≤2.0a의 관계갖는기판 열처리 챔버용 히팅 장치.
[청구항 10]
제 6항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상부 및 하부 하우징은 알루미늄(al) 재질로 구현되고, 상기 복수의 상부 및 하부 열원은 각각 바(bar) 형상의 근적외선 램프 히터구현되는기판 열처리 챔버용 히팅 장치.
[청구항 11]
제 6항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 라운드형 상부 및 하부 반사부는 각각 u자 형상, 반원 형상, 및 타원 형상 중 어느 하나의 형상갖는기판 열처리 챔버용 히팅 장치.
[청구항 13]
제 12항에 있어서,상기 복수의 상부 및 하부 열원 및 상기 상부 및 하부 하우징에 각각 제공되는 상기 복수의 상부 및 하부 반사부는 히팅 장치를 구성하고,상기 히팅 장치는 상기 상부 및 하부 반사부에 발생할 수 있는 열 변형 또는 열 손상을 방지하기 위해 상기 상부 및 하부 하우징의 내부에 각각 냉각수가 공급될 수 있는 복수의 냉각 라인을 추가포함하는기판 열처리 챔버.
[청구항 14]
제 12항에 있어서,상기 상부 및 하부 반사부는 각각 상기 복수의 상부 및 하부 열원의 배면 위치에서 상기 상부 및 하부 하우징의 각각의 내측 표면 상에 제공되는 평탄형 상부 및 하부 반사부로구현되는기판 열처리 챔버.
[청구항 15]
제 12항에 있어서,상기 상부 및 하부 반사부는 각각 상기 복수의 상부 및 하부 열원에 대응되는 배면 위치에서 상기 상부 및 하부 하우징의 각각의 내측 표면 상에 제공되는 복수의 라운드형 상부 및 하부 반사부로구현되는기판 열처리 챔버.
[청구항 16]
제 15항에 있어서,상기 복수의 라운드형 상부 및 하부 반사부는 각각 각각 u자 형상, 반원 형상, 및 타원 형상 중 어느 하나의 형상갖는기판 열처리 챔버.
[청구항 17]
제 12항에 있어서,상기 복수의 상부 및 하부 열원들 간의 거리a 및 상기 복수의 상부 및 하부 열원과 상기 기판 간의 거리 b는 1.3a ≤ b ≤2.0a의 관계갖는기판 열처리 챔버.
[청구항 18]
제 12항 내지 제 17항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상부 및 하부 하우징은 알루미늄(al) 재질로 구현되고,상기 복수의 상부 및 하부 열원은 각각 바(bar) 형상의 근적외선 램프 히터구현되는기판 열처리 챔버.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 열처리 챔버에서 상부 및 하부 반사부에 발생할 수 있는 열 변형 또는 열 손상을 방지하기 위해 추가되는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판 열처리 챔버의 상부 및 하부 반사부의 열 변형 또는 열 손상을 방지하기 위한 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3, 8, 13에서 반사부의 열 변형 또는 열 손상 방지 목적과 관련된 구성을 확인한다.
- 상기 평탄형 상부 및 하부 반사부에 발생할 수 있는 열 변형 또는 열 손상을 방지하기 위해 상기 상부 및 하부 하우징의 내부에 각각 냉각수가 공급될 수 있는 복수의 냉각 라인을 추가포함하는
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3근거 선택
evidence_selection열 변형/손상 방지 기능과 직접 연결된 '복수의 냉각 라인' 구절을 선택한다.
- 상기 상부 및 하부 하우징의 내부에 각각 냉각수가 공급될 수 있는 복수의 냉각 라인
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4논리 통합
logical_integration반사부의 열 문제를 해결하기 위해 하우징 내부에 냉각수가 공급되는 냉각 라인이 추가된다는 논리를 도출한다.
- 상기 상부 및 하부 반사부에 발생할 수 있는 열 변형 또는 열 손상을 방지하기 위해 상기 상부 및 하부 하우징의 내부에 각각 냉각수가 공급될 수 있는 복수의 냉각 라인을 추가포함하는
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5결론 도출
conclusion_formulation추가되는 구성 요소는 상부 및 하부 하우징 내부에 냉각수가 공급될 수 있는 복수의 냉각 라인임을 확정한다.
- 복수의 냉각 라인
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변으로 추출된 구성 요소를 제시한다.
- 복수의 냉각 라인
최종 답변 (final_answer)
상기 상부 및 하부 하우징의 내부에 각각 냉각수가 공급될 수 있는 복수의 냉각 라인
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 열처리 챔버 내 반사부의 열적 안정성을 확보하기 위해 하우징 내부에 냉각수가 흐르는 냉각 라인을 배치하여 열 변형 및 손상을 방지하는 기술이다.