기판이송모듈 document_id 1020120087587

[청구항 1] 마스크를 기판에 밀착시킨 상태에서 기판처리를 수행하는 기판처리시스템에 사용되는 기판이송모듈로서, 제1게이트 및 하나 이상의 제2게이트가 서로 대향되어 형성되며 외부와 격리된 내부공간을 형성하는 진공챔버와 상기 진공챔버에 설치되어 상기 제2게이트를 통하여 상기 진공챔버 내로 마스크의 도입 또는 배출 시 상기 마스크를 직접 또는 간접으로 지지하는 한 쌍의 피이송체지지부들과 상기 진공챔버에 설치되어 상기 제1게이트를 통하여 도입된 기판을 지지하는 기판지지조립체와 상기 진공챔버에 설치되어 상기 마스크를 지지하여 상하로 이동시키는 마스크지지부와 상기 마스크지지부에 지지된 마스크와 상기 기판지지조립체에 지지된 기판과의 상대 이동에 의하여 기판 및 마스크를 얼라인하는 얼라이너부를 포함하며, 상기 기판지지조립체는 상기 마스크를 상하로 관통하여 상하 이동 가능하도록 설치되는 복수의 리프트핀들과, 상기 복수의 리프트핀들을 상하로 선형구동하는 선형구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송모듈 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 리프트핀은 기판을 지지하는 끝단부로부터 상기 마스크를 관통하여 상하 이동하는 이동부분의 외경이 상기 선형구동부와 연결된 연결부분보다 작은 것특징으로 하는기판이송모듈. [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기 제2게이트는 상기 마스크가 도입되는 도입게이트와, 상기 마스크가 상기 얼라이너부에 의하여 기판과 얼라인되고, 상기 마스크지지부에 의하여 상측으로 이동된 후, 기판 및 마스크홀더가 순차적으로 밀착된 후 배출되는배출게이트포함하는것을특징으로 하는기판이송모듈. [청구항 4] 청구항 1에 있어서,상기 마스크는 상기 제2게이트를 통하여 마스크홀더와 결합된 상태로 도입되며,기판이 상기 마스크홀더 및 상기 마스크 사이로 도입되도록 상기 마스크로부터 상기 마스크홀더를 분리하는마스크홀더분리부포함하는것을특징으로 하는기판이송모듈. [청구항 5] 청구항 1에 있어서,쌍의 피이송체지지부는 상기 진공챔버에 상하방향으로 이동되도록설치된것을특징으로 하는기판이송모듈. [청구항 6] 청구항 1에 있어서,쌍의 피이송체지지부는상기 도입게이트 및 상기 배출게이트 각각에 대응되어 상부 피이송체지지부 및 하부 피이송체지지부로 설치되며,상기 상부 피이송체지지부는 상기 마스크가 상기 마스크지지부에 지지되어 상기 하부 피이송체지지부로 전달되도록 이동될 때 간섭되는 것을 방지하기 위하여 폭방향으로 이동 가능하게설치된것을특징으로 하는기판이송모듈. [청구항 7] 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 마스크는 개구되지 않은 부분에서 상기 리프트핀이 관통하는관통공형성된것을특징으로 하는기판이송모듈. [청구항 8] 청구항 7에 있어서,상기 마스크는 기판표면 중 기판처리 후 절단되는 부분에 대응되는 위치에서 개구되지 않은부분가지는것을특징으로 하는기판이송모듈. [청구항 9] 청구항 8에 있어서,상기 관통공은 상기 리프트핀이 기판의 평면방향으로 수평 이동이 가능하도록 그 내주면이 상기 리프트핀의 외주면과 간격형성된 것을특징으로 기판이송모듈. [청구항 10] 청구항 9에 있어서,상기 리프트핀의 중심이 상기 관통공의 중심에 위치되었을 때 상기 리프트핀의 외주면과 상기 관통공의 내주면과의간격인것을특징으로 하는기판이송모듈. [청구항 11] 청구항 8에 있어서,상기 선형구동부는 상기 리프트핀들이 고정 결합되는 리프트플레이트와, 상기 리프트플레이트를 상하로 이동시켜 상기 리프트핀들을 상하구동하는 상하구동부포함하는것을특징으로 하는기판이송모듈. [청구항 12] 청구항 7에 있어서,상기 마스크는 하나 이상의 개구가 형성된 패턴형성부 및 상기 패턴형성부와 결합되는외곽프레임포함하는것을특징으로 하는기판이송모듈. [청구항 13] 청구항 12에 있어서,상기 관통공은 상기 패턴형성부 중 개구되지 않은부분형성된것을특징으로 하는기판이송모듈.