필름 박리 장치 document_id 1020120102876

[청구항 1] 표면 상에 필름이 부착된 기판으로부터 상기 필름을 박리하기 위한 필름 박리 장치로서, 바닥면에 대하여 수직 방향으로 배치된 상기 기판을 이송하기 위한 이송 모듈 상기 이동 모듈에 의하여 이송되는 상기 기판으로부터 상기 필름을 박리하기 위한 필링 모듈을 포함하는 필름 박리 장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 이송 모듈은상기 필링 모듈의 전방측에 위치되어 상기 기판을 상기 필링 모듈 측으로 이동시키는 전방 기판 이송부 및 상기 필링 모듈의 후방 측에 위치되어 상기 필링 모듈에 의하여 필링된 기판을 이동시키는 후방 기판 이송부포함하는,필름 박리 장치. [청구항 3] 제 2항에 있어서,상기 전방 이송부 및 후방 이송부 각각은 기판의 이송 방향으로 연장된 연장 가이드;상기 연장 가이드에 설치되어 상기 연장 가이드를 따라 이동할 수 있으며 상기 기판의 일측에 선택적으로 고정될 수 있는 기판 그리퍼 및상기 기판 그리퍼를 상기 연장 가이드 상에서 이동시키기 위한 제 1 구동 모터포함하는필름 박리 장치. [청구항 4] 제 3항에 있어서,상기 연장 가이드, 상기 기판 그리퍼 및 상기 제 1 구동 모터는 상기 기판의 상부측 및 하부측에 한쌍형성되는,필름 박리 장치. [청구항 5] 제 3항에 있어서,상기 전방 기판 이송부 및 상기 후방 기판 이송부의 상기 연장 가이드는 상호 분리되어이격되도록형성되는,필름 박리 장치. [청구항 6] 제 3항에 있어서,상기 전방 기판 이송부 및 상기 후방 기판 이송부의 상기 연장 가이드는 일체형성되는,필름 박리 장치. [청구항 7] 제 3항에 있어서,상기 기판이 수직 방향으로 세워진 상태를 유지하도록 하기 위한 진공척 모듈을 더 포함하되, 상기 진공척 모듈은 프레임;상기 기판이 흡착되도록 음압을 제공하는 흡착홀을 구비하며, 상기 프레임에 상기 연장 가이드를 따라 설치되는 기판 지지대 및상기 흡착홀을 통하여 음압을 제공하기 위한 동력을 발생시키는 제 2 구동 모터포함하는,필름 박리 장치. [청구항 8] 제 2 항에 있어서,상기 필링 모듈은 상기 이송 모듈의 양 측부에 각각 위치되는 제 1 및 제 2 필링부를 포함하되, 상기 제 1 및 제 2 필링부 각각은상기 필름의 일 단부측에 고정되는 필름 그리퍼;상기 필름 그리퍼가 이동가능하게 설치되는 필름 그리퍼 가이드;상기 필름 그리퍼 가이드를 지지하는 가이드 지지대 및 상기 필름 그리퍼 가이드를 따라 상기 필름 그리퍼를 이동시키기 위한 동력을 발생시키는 제 3 구동 모터포함하는,필름 박리 장치. [청구항 9] 제 8항에 있어서,상기 필름그리퍼 및 상기 가이드 지지대는 상기 기판의 이동 방향에 수직한방향연장되도록형성되는,필름 박리 장치. [청구항 10] 제 8항에 있어서,상기 필링 모듈은 상기 전방 기판 이송부 및 상기 후방 기판 이송부 사이위치되는필름 박리 장치. [청구항 11] 제 10항에 있어서,상기 전방 기판 이송부 및 상기 후방 기판 이송부 사이에 위치되되, 상기 전방 기판 이송부 및 후방 기판 이송부를 따라 이동하는 상기 기판의 일 측면에 인접하게 배치될 수 있는 제 1 롤러 및 상기 기판의 이송방향으로 볼 때 상기 제 1 롤러의 후방측에 배치되는 사이드 롤러더 포함하는필름 박리 장치. [청구항 12] 제 11항에 있어서,상기 제 1 롤러는 상기 필름의 일 면을 흡착할 수 있는 다공성 필링 롤러이며, 상기 사이드 롤러는 상기 필름의 타 면의 양단부측가압할수형성되는,필름 박리 장치. [청구항 13] 제 12항에 있어서,상기 기판이 상기 전방 기판 이송부로부터 상기 후방 기판 이송부로 이동하는 동안 상기 필름이 상기 기판으로부터 박리되고, 이 때 상기 다공성 필링 롤러가 상기 필름을 상기 기판으로부터 박리하기 위한 흡착력제공하는필름 박리 장치. [청구항 14] 제 12항에 있어서,상기 기판의 타 측면에 인접하게 배치될 수 있는 제 2 롤러 및 상기 기판의 이송 방향으로 볼 때 상기 제 2 롤러의 후방측에 배치되며 상기 제 2 롤러 방향으로 가압될 수 있는 닙 롤러더 포함하는,필름 박리 장치. [청구항 15] 제 1항에 있어서,상기 필름은 상기 기판의 일 측면에 부착된 상부 필름 및 상기 기판의 타 측면에 부착된 하부 필름을 포함하되, 상기 상부 필름과 상기 기판 사이에는 유기물층증착된필름 박리 장치.