유도결합 플라즈마 처리장치 document_id 1020120104662

[청구항 1] 상측에 개구부가 형성된 챔버본체와 상기 챔버본체와 함께 처리공간을 형성하도록 상기 개구부를 복개하는 하나 이상의 유전체와 상기 챔버본체에 설치되어 기판을 지지하는 기판지지대와 상기 처리공간으로 가스를 분사하는 가스분사부와 상기 유전체의 상측에 설치되어 상기 처리공간에 유도전계를 형성하는 안테나부를 포함하며, 상기 안테나부는 제1단부가 rf전원과 연결되고 제2단부가 접지와 연결되며 서로 인접하여 설치되는 복수의 도전체들을 가지는 하나 이상의 도전체군을 포함하며, 상기 도전체군의 복수의 도전체들은 서로 인접하여 설치된 도전체들이 서로 상하방향으로 중첩되지 않게 평행하게 배치된 것을 특징으로 하는 유도전계 플라즈마 처리장치 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 도전체군에서 서로 인접하여 설치된 도전체들이 배치되는 길이방향과 수직을 이루는 폭방향의 가상선을 상기 서로 인접하여 설치된 도전체들과 교차시켰을 때, 상기 가상선과 상기 서로 인접하여 설치된 도전체들과 각각 교차되는 교차지점들에서, 상기 도전체군의 복수의 도전체들의 적어도 일부가 상기 유전체의 상면으로부터의 각 도전체들의 높이가 서로 다른 것특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,상기 도전체군은 상기 도전체군의 복수의 도전체들에 대한 상기 교차지점에서의 전위들의 합이 일정하도록배치된것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치 [청구항 4] 청구항 2에 있어서,상기 교차지점에서 인접한도전체들사이의상기폭방향의간격인것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치 [청구항 5] 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 도전체군의 복수의 도전체들은 각각 상기 제1단부 및 상기 제2단부 사이에 전방구간 및 후방구간으로 구분되며,상기 도전체군의 복수의 도전체들은 전방구간이 후방구간보다 상기 유전체의 상면으로부터의높이배치된것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치. [청구항 6] 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 도전체군은 순차적으로 배치되어 단일의 루프구조를 이루며,상기 도전체군의 복수의 도전체들은 각각 상기 제1단부 및 상기 제2단부 사이에 전방구간 및 후방구간으로 구분되며,상기 도전체군의 복수의 도전체들은 각각 후방구간이 다음의 도전체의 전방구간과 그 길이방향으로 인접하여 평행하게 배치되고, 마지막 도전체의 후방구간이 첫 번째 도전체의 전방구간과 그 길이방향으로 인접하여 평행하게배치된것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치. [청구항 7] 청구항 6에 있어서,상기 도전체군의 복수의 도전체들은 전방구간이 후방구간보다 상기 유전체의 상면으로부터의높이배치된것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치. [청구항 8] 청구항 6에 있어서,상기 도전체군의 복수의 도전체들은 후방구간이 전방구간보다상기유전체의가장자리배치된것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치. [청구항 9] 청구항 6에 있어서,상기 도전체군들 중 적어도 일부의 도전체군의 도전체들 및 그와 인접한 도전체는 각각 그 길이방향으로 분기되었다가 다시 합쳐지는하나이상의분기부가형성된것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치. [청구항 10] 청구항 9에 있어서,상기 도전체의 분기부는 평행하게 배치된 인접한도전체의분기부의일부와상하방향중첩되는것을특징으로 하는유도 결합 플라즈마 처리장치. [청구항 11] 청구항 6에 있어서,상기 도전체군들 중 적어도 일부는 상기 후방구간 및 상기 제2단부 사이에서 연장구간이 추가로 구분되며,상기 연장구간이 추가로 구분된 도전체들은 후방구간 및 연장구간이 각각 다음의 도전체의 전방구간 및 후방구간과 그 길이방향으로 인접하여 평행하게 배치되고, 마지막 도전체의 후방구간 및 연장구간이 첫 번째 도전체의 전방구간 및 후방구간과 그 길이방향으로 인접하여 평행하게배치된것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치. [청구항 12] 청구항 11에 있어서,상기 연장구간이 추가로 구분된 도전체들은 전방구간이 후방구간보다 상기 유전체의 상면으로부터 더 높게 배치되며, 상기 연장구간은 후방구간과 같은높이배치된것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치. [청구항 13] 청구항 11에 있어서,상기 연장구간이 추가로 구분된 도전체들은 후방구간, 전방구간 및 연장구간 순으로상기유전체가장자리배치된것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치. [청구항 14] 청구항 11에 있어서,상기 도전체군들 중 적어도 일부의 도전체군의 도전체들 및 그와 인접한 도전체는 각각 그 길이방향으로 분기되었다가 다시 합쳐지는하나이상의분기부가형성된것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치. [청구항 15] 청구항 11에 있어서,상기 도전체의 분기부는 평행하게 배치된 인접한도전체의분기부의일부와상하방향중첩되는것을특징으로 하는유도 결합 플라즈마 처리장치. [청구항 16] 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 복수의 도전체들 중 적어도 일부는 일부분에서 인접하는 도전체와서로상하중첩되는것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치. [청구항 17] 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 도전체군은 상기 유전체의 중앙부분에 배치되어 루프구조를 이루는 중심도전체군과;상기 유전체의 외곽 쪽에 배치되어 루프구조를 이루는 외곽도전체군포함하는것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치. [청구항 18] 청구항 17에 있어서,상기 중심도전체군과 상기 외곽도전체군은 상기 유전체의 중심을 기준으로점대칭이루는것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치. [청구항 19] 청구항 17에 있어서,상기 유전체는 평면형상이 직사각형을 이루며,상기 외곽도전체군을 이루는상기복수의도전체들4개인것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치. [청구항 20] 청구항 19에 있어서,상기 외곽도전체군을 이루는 4개의 도전체들은 각각 그 제1단부 및 제2단부가 직사각형의 변에 서로 대향되어위치된것을특징으로 하는유도결합 플라즈마 처리장치.