문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,하향식 원통형 증발원과 선형 기체 튜브 분출관은 서로 개스켓을 사이에 두고 증발원의 상부면에 고정된 푸시바를 밀어서연결결합되는것을특징으로 하는하향식 선형 증발원.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,기체 튜브 분출부는 중앙부에 기체 인입부가 좌우로 분기 되는 “w”자형 튜브관 형태이고, 연결단면에는 개스켓이 놓이는홈형성되어있는것을특징으로 하는하향식 선형 증발원.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,기체 튜브 분출관의 하우징 죄우에 날개 홀더가 부착되어 있고, 센서축을 통하여 적당한 길이로 다점 센서가분출관하부고정되어있는것을특징으로 하는하향식 선형 증발원.
[청구항 5]
제 1항에 있어서,기체 분출 깔때기의 주위에는 가열선을 감아서 가열하여유기물의경화방지되는것을특징으로 하는하향식 선형 증발원.
[청구항 6]
두세트의 소스 챔버가 게이트밸브를 사이에 두고 증착챔버의 상부중앙부에 연결되
고, 소스챔버에는 하향식 원통형 증발원, 상하이송축, 회전 모터 장치로 구성되고, 증착챔버의 상부에는 기체 튜브분출부가 상부에 고정되고, 기판,마스크, 트레이, 롤러장치가 하부에 설치되는 것을 특징으로 하는 하향식 유기물 증착기
[청구항 7]
제 6항에 있어서,가열선이 내장된 가열벽이증착챔버내설치되는것을특징으로 하는하향식 유기물 증착기.
[청구항 8]
제 6항에 있어서,증착챔버내에 마스크 얼라이너와 기판 업다운핀장치내장되는것을특징으로 하는하향식 유기물 증착기.
[청구항 9]
제 6항에 있어서,셔터가 평형을 유지하고 고정되어 좌우로 이송이 가능하여 유기물 기체의 개폐가 가능한기능가지는것을특징으로 하는하향식 유기물 증착기.
[청구항 11]
제 10항에 있어서,하향식 원통형 증발원에서 하향으로 분출되는 유기물 및 금속성 증발기체가, 기판과 오픈마스크가 한몸체가 되어 일정각속도로 회전하는 유리기판상에 증착되어 박막이 형성되는 방법특징으로 하는하향식 유기물 금속 박막 증착기.
[청구항 12]
제 10항에 있어서,기판 업다운 핀 장치는 평형 테이블상에 다수개의 핀이 일정간격으로 형성되고, 테이블의 하부중앙에는 업다운모션축형성되어있는것을특징으로 하는하향식 유기물 금속 박막 증착기.
[청구항 13]
제 10항에 있어서,증착챔버의 도어를 열어서, 로봇팔에 기판을 얹혀서, 챔버로 기판을 소개하고, 기판 업다운 핀장치가 올라와서 기판을 받으며, 일정높이 더욱 올라가면, 로봇팔이 챔버 외부로 빠지고, 반대의 순서로 기판이 챔버 외부로 빠져나가는것을특징으로 하는하향식 유기물 금속 박막 증착기.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
하향식 유기물 증착기에서 소스 챔버를 구성하는 요소들과 증착 챔버의 상부에 설치되는 구성 요소들은 각각 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation하향식 유기물 증착기에서 소스 챔버의 구성 요소와 증착 챔버 상부에 설치되는 구성 요소를 각각 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 소스 챔버의 구성 요소와 증착 챔버 상부의 구성 요소를 기술한 문장을 찾는다.
- 소스챔버에는 하향식 원통형 증발원, 상하이송축, 회전 모터 장치로 구성되고, 증착챔버의 상부에는 기체 튜브분출부가 상부에 고정되고
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3근거 선택
evidence_selection소스 챔버 구성 요소인 '하향식 원통형 증발원, 상하이송축, 회전 모터 장치'와 증착 챔버 상부 구성 요소인 '기체 튜브분출부'를 선택한다.
- 소스챔버에는 하향식 원통형 증발원, 상하이송축, 회전 모터 장치로 구성되고, 증착챔버의 상부에는 기체 튜브분출부가 상부에 고정되고
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 질문의 요구사항에 맞춰 소스 챔버와 증착 챔버 상부로 분류하여 정리한다.
- 소스챔버에는 하향식 원통형 증발원, 상하이송축, 회전 모터 장치로 구성되고, 증착챔버의 상부에는 기체 튜브분출부가 상부에 고정되고
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5결론 도출
conclusion_formulation소스 챔버 구성 요소는 하향식 원통형 증발원, 상하이송축, 회전 모터 장치이며, 증착 챔버 상부 구성 요소는 기체 튜브분출부임을 도출한다.
- 소스챔버에는 하향식 원통형 증발원, 상하이송축, 회전 모터 장치로 구성되고, 증착챔버의 상부에는 기체 튜브분출부가 상부에 고정되고
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 답변을 리스트 형식으로 작성한다.
- 소스챔버에는 하향식 원통형 증발원, 상하이송축, 회전 모터 장치로 구성되고, 증착챔버의 상부에는 기체 튜브분출부가 상부에 고정되고
최종 답변 (final_answer)
소스 챔버를 구성하는 요소는 하향식 원통형 증발원, 상하이송축, 회전 모터 장치이며, 증착 챔버의 상부에 설치되는 구성 요소는 기체 튜브분출부이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 소스 챔버 내의 증발원 및 이송 장치와 증착 챔버 상부의 기체 분출부를 포함하는 하향식 유기물 증착기의 구조적 구성을 정의하고 있다.