기판 지지 장치 및 기판 처리 장치 document_id 1020120112024

[청구항 1] 기판이 안착되는 기판 지지체; 및 상기 기판 지지체 상에 설치되고 상기 기판 지지체의 상면보다 높은 위치에서 상기 기판을 향하여 가스를 분사하도록 하는 유통경로가 형성되는 보호 링을 포함하는 기판 지지 장치 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 보호링은,링 형상의 제1몸체;상기 제1몸체로부터 내측 방향으로 연장 형성된 제2몸체;일단이 상기 제2몸체의 하면과 연결되고 이로부터 상부 방향으로 연장 형성된 제1유통로;상기 제1유통로의 타단과 연결되고 내측 방향으로 연장 형성된 제2유통로포함하는기판 지지 장치. [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기 보호링은,링 형상의 몸체, 상기 몸체의 하면과 연결되고 이로부터 상부 방향으로 연장 형성된 제1유통로 및 상기 제1유통로의 타단과 연결되고 내측 방향으로 연장 형성된 제2유통로를 구비하는 하부 링 및 상기 하부 링 상에 설치되고, 상기 하부 링의 내측면과의 사이에 상기 제2유통로와 연결되는 제3유통로를 형성하는 상부 링을 포함하며, 상기 유통경로는 상기 제1유통로, 상기 제2유통로 및 상기 제3유통로포함하는기판 지지 장치. [청구항 4] 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,상기제1 및 제2 유통로는 상기 하부 링의 원주 방향을 따라 복수 개형성되는기판 지지 장치. [청구항 5] 청구항 3에 있어서,상기 제1유통로는 상기 하부 링의 몸체를 수직 관통하여 형성되고, 상기 제2유통로는 상기 몸체의 상면에 오목 홈형성되는기판 지지 장치. [청구항 6] 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,상기 제2몸체는 내측면의 적어도 일부에 형성되고 하향 경사진 경사면구비하는기판 지지 장치. [청구항 7] 청구항 6에 있어서,상기 경사면은 45 내지 80°의 경사갖는기판 지지 장치. [청구항 8] 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,상기 제1몸체는 상면에 오목하게 형성된 적어도 하나 이상의 결합홈구비하는기판 지지 장치. [청구항 9] 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,상기 보호 링과 상기 기판 지지체 사이에는 가스가 통과하는 메인경로가 형성되며, 상기 메인경로는 상기 유통경로연결되는기판 지지 장치. [청구항 10] 청구항 9에 있어서,경로는 상기 제1유통로 및 상기 보호링의 하면 가장자리 영역과 상기 기판 지지체의 측면 사이에 형성된 제4유통연결되는기판 지지 장치. [청구항 11] 청구항 9에 있어서,상기 기판 지지체는 내부에 가스가 통과하는 가스 채널을 구비하고, 상기 가스 채널은 상기 메인경로연결되는기판 지지 장치. [청구항 12] 청구항 3에 있어서,상기 하부 링은 상면에 오목하게 형성된 결합홈을 구비하고,상기 상부 링은 하면에 상기 결합홈에 대응되는 결합 돌기구비하는기판 지지 장치. [청구항 13] 청구항 12에 있어서,상기 결합홈은 복수개 구비되며, 그 중 일부는 상기 결합 돌기가 결합될 때, 상기 결합 돌기와 이격되는 간격을 가지도록, 상기 결합홈의 직경은 상기 결합 돌기의 직경형성되는기판 지지 장치. [청구항 14] 청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,상기 결합홈에는 상기 제1몸체를 상기 제1몸체의 외측 방향으로 수직 관통하는 관통홀형성되는기판 지지 장치. [청구항 15] 청구항 3에 있어서,상기 상부 링의 내측 단부에는 하방으로 절곡된 절곡부를 구비하고, 상기 하부 링의 내측면의 적어도 일부에는 하향 경사진 경사면을 구비하며,상기 절곡부와 상기 경사면 사이에 상기 제3유통로형성하는기판 지지 장치. [청구항 16] 청구항 3에 있어서,상기 하부 링은 상면에 단턱부를 구비하고,상기 상부 링은 하면에 상기 단턱부에 대응되는 돌출부구비하는기판 지지 장치. [청구항 17] 처리 공간을 형성하는 챔버 상기 챔버의 내부에 처리 가스를 공급하는 가스 분사기; 및 상기 챔버의 내부에 배치되며 기판이 지지되는 기판 지지대를 포함하고, 상기 기판 지지대는 각각의 유통로를 통하여 상기 기판의 상부 에지 및 하부 에지로 퍼지 가스를 공급하는 유통경로를 구비하는 기판 처리 장치 [청구항 18] 청구항 17에 있어서,상기 기판 지지대는 기판이 안착되는 기판 지지체 및 상기 기판 지지체 상에 설치되는 보호 링을 포함하고,상기 유통경로는 상기 보호 링을 통과하는 상부 유통로와 상기 지판 지지체와 상기 보호 링 사이에 형성된 하부 유통포함하는기판 처리 장치. [청구항 19] 청구항 18에 있어서,상기 보호링은,링 형상의 제1몸체;상기 제1몸체로부터 내측 방향으로 연장 형성된 제2몸체;일단이 상기 제2몸체의 하면과 연결되고 이로부터 상부 방향으로 연장 형성된 제1유통로;상기 제1유통로의 타단과 연결되고 내측 방향으로 연장 형성된 제2유통로포함하는기판 처리 장치. [청구항 20] 청구항 18에 있어서,상기 보호 링은 하부 링 및 상부 링을 포함하고, 상기 하부 링에는 일단이 상기 하부 링의 하면과 연결되고 상부 방향으로 연장 형성된 제1유통로 및 상기 제1유통로의 타단과 연결되고 내측 방향으로 연장 형성된 제2유통로가 구비되고, 상기 하부 링의 내측면과 상기 상부링 사이에 상기 제2유통로와 연결되는 제3유통로가 형성되고,상기 상부 유통로가 상기 제1유통로, 상기 제2유통로 및 상기 제3유통로포함하는기판 처리 장치.