식각액 관리 시스템, 식각 장치 및 이에 의한 식각액 관리 방법 document_id 1020120117247

[청구항 1] 식각액을 보관하는 제1식각액보관탱크 상기 제1식각액보관탱크 에 연결된 식각액폐기라인 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여, 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 식각액분석장치 상기 제1식각액보관탱크 와 연결된 제2식각액보관탱크 상기 제2식각액보관탱크 와 연결된 식각기; 및 상기 식각액분석장치의 분석결과에 따라 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각액폐기라인과 상기 제2식각액보관탱크 중 어느 하나로 이송하도록 제어하는 제어부 를 포함하는 식각액 관리 시스템 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 식각액분석장치는상기 제1식각액보관탱크의 식각액이 유입되는 플로우셀;상기 플로우셀의 식각액에 측정광을 조사하는 광원부;상기 플로우셀의 식각액의 흡광도를 측정하는 분광기; 및 상기 분광기에서 측정된 흡광도 측정값을 기초로 하여 흡광도환산값을 계산하여 출력하는 식각액분석제어부포함하는식각액 관리 시스템. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 플로우셀로 공급하는 플로우셀공급라인; 및상기 플로우셀의 식각액을 상기 제1식각액보관탱크로 공급하는 제1식각액보관탱크공급라인더 포함하는식각액 관리 시스템. [청구항 4] 청구항 2에 있어서,상기 제어부는, 상기 식각액분석제어부에서 출력된 데이터에 기초하여 상기 흡광도환산값이 10이상인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 제2식각액보관탱크로 이송시키고, 상기 흡광도환산값이 10미만인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각액폐기라인으로 방출하도록제어하는것을특징으로 하는식각액 관리 시스템. [청구항 5] 청구항 1에 있어서,상기 제2식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여 상기 제2식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 추가의 식각액분석장치; 및상기 제2식각액보관탱크에 연결된 추가의 식각액폐기라인을 더 포함하며,상기 제어부는 상기 추가의 식각액분석장치의 분석결과에 따라 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 추가의 식각액폐기라인과 상기 식각기 중 어느하나이송하도록제어하는식각액 관리 시스템. [청구항 6] 청구항 5에 있어서,상기 추가의 식각액분석장치는상기 제2식각액보관탱크의 식각액이 유입되는 추가의 플로우셀;상기 추가의 플로우셀의 식각액에 측정광을 조사하는 추가의 광원부;상기 추가의 플로우셀의 식각액의 흡광도를 측정하는 추가의 분광기; 및 상기 추가의 분광기에서 측정된 흡광도 측정값을 기초로 하여 흡광도환산값을 계산하여 출력하는 추가의 식각액분석제어부포함하는식각액 관리 시스템. [청구항 7] 청구항 6에 있어서,상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 추가의 플로우셀로 공급하는 추가의 플로우셀공급라인; 및상기 추가의 플로우셀의 식각액을 상기 제2식각액보관탱크로 공급하는 추가의 제2식각액보관탱크공급라인더 포함하는식각액 관리 시스템. [청구항 8] 청구항 6에 있어서,상기 제어부는, 상기 추가의 식각액분석제어부에서 출력된 데이터에 기초하여 상기 흡광도환산값이 10이상인 경우 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각기로 이송시키고, 상기 흡광도환산값이 10미만인 경우 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 추가의 식각액폐기라인으로 방출하도록제어하는것을특징으로 하는식각액 관리 시스템. [청구항 9] 청구항 1에 있어서,상기 식각액nan은과산화수소포함하는것을특징으로 하는식각액 관리 시스템. [청구항 10] 청구항 9에 있어서,상기 식각액은 조성물의 총 중량에 대해 5 내지 15 중량%의 과산화수소, 1 내지 5 중량%의 유기산, 0.5 내지 5 중량% 의 황산염, 0.2 내지 5 중량%의 고리형 아민 화합물, 및 70 내지 93.3 중량%의 물포함하는 것인식각액 관리 시스템. [청구항 11] 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,상기 식각액 관리 시스템은 구리합금과 몰리브덴합금층의 이중금속막 배선형성 제조공정에 사용되는식각액분석하여관리하는 것인식각액 관리 시스템. [청구항 16] 식각액을 보관하는 제1식각액보관탱크 상기 제1식각액보관탱크 에 연결된 식각액폐기라인 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여, 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 식각액분석장치 상기 제1식각액보관탱크 와 연결된 제2식각액보관탱크 상기 제2식각액보관탱크 와 연결된 식각기; 및 상기 식각액분석장치의 분석결과에 따라 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각액폐기라인과 상기 제2식각액보관탱크 중 어느 하나로 이송하도록 제어하는 제어부 를 포함하는 식각 장치