문맥 (context)
[청구항 1]
중앙에 개구부를 갖는 전극 프레임과,
한 방향으로 간격을 두고 배치되며, 각각의 적어도 일단부가 상기 방향과 수직인 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있는 복수의 이온 인출 구멍 형성 부재
를 구비하는 이온빔 인출용의 전극으로서,
상기 복수의 이온 인출 구멍 형성 부재는 적어도 하나의 제1 이온 인출 구멍 형성 부재를 구비하고,
상기 제1 이온 인출 구멍 형성 부재는 막대 형상의 본체부와 상기 본체부로부터 연장되는 제1 이행부를 구비하고,
상기 제1 이행부는 상기 제1 이온 인출 구멍 형성 부재에 인접한 제2 이온 인출 구멍 형성 부재와 접촉하는 것을 특징으로 하는 이온빔 인출용 전극
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 제2 이온 인출 구멍 형성 부재는, 상기 제1 이행부가 접촉하는 위치에제2오목부갖는것을특징으로 하는이온빔 인출용 전극.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 제1 이온 인출 구멍 형성 부재는, 제3 이온 인출 구멍 형성 부재의 제3 이행부와 접촉하는 제1 오목부를 갖고, 상기 제3 이온 인출 구멍 형성 부재는 상기 제1 이온 인출 구멍 형성 부재와 인접하며, 상기 제1 이행부와 상기 제1 오목부는 제1 이온 인출 구멍 형성 부재의 본체부에 배치되며, 상기 제1 이행부는 상기 본체부의 일단부로부터 상기 방향으로 연장되고, 상기 제1 오목부는 상기 본체부의 타단부에상기방향마련되어있는것을특징으로 하는이온빔 인출용 전극.
[청구항 4]
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 개구부 내에 배치된 각각의 이온 인출 구멍 형성 부재는 동일한형상갖는것을특징으로 하는이온빔 인출용 전극.
[청구항 5]
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 개구부 내에 배치된 복수의 이온 인출 구멍 형성 부재의 수는 4개 이상이고, 상기 방향으로 상기 개구부의 양단에 위치한 이온 인출 구멍 형성 부재를 제외하고, 각각의 이온 인출 구멍 형성 부재는 동일한형상갖는것을특징으로 하는이온빔 인출용 전극.
[청구항 6]
제2항 또는 제3항에 있어서,상기 제1 이행부와 제2 오목부는, 상기 복수의 이온 인출 구멍 형성 부재가 상기 개구부 내에 배치되는방향배치되어있는것을특징으로 하는이온빔 인출용 전극.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
이온빔 인출용 전극에서 제1 이온 인출 구멍 형성 부재의 제1 이행부와 제1 오목부가 각각 본체부의 어느 위치에 배치되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제1 이온 인출 구멍 형성 부재의 제1 이행부와 제1 오목부가 본체부의 어느 위치에 배치되는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 제1 이행부와 제1 오목부의 위치 및 연장 방향에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 제1 이행부와 상기 제1 오목부는 제1 이온 인출 구멍 형성 부재의 본체부에 배치되며, 상기 제1 이행부는 상기 본체부의 일단부로부터 상기 방향으로 연장되고, 상기 제1 오목부는 상기 본체부의 타단부에상기방향마련되어있는
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3근거 선택
evidence_selection제1 이행부는 본체부의 일단부에서 연장되고, 제1 오목부는 본체부의 타단부에 배치된다는 구절을 선택한다.
- 상기 제1 이행부와 상기 제1 오목부는 제1 이온 인출 구멍 형성 부재의 본체부에 배치되며, 상기 제1 이행부는 상기 본체부의 일단부로부터 상기 방향으로 연장되고, 상기 제1 오목부는 상기 본체부의 타단부에상기방향마련되어있는
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4논리 통합
logical_integration제1 이행부는 본체부의 한쪽 끝(일단부)에서 시작하여 연장되는 구조이며, 제1 오목부는 본체부의 반대쪽 끝(타단부)에 위치함을 결합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation제1 이행부는 본체부의 일단부로부터 연장되어 배치되고, 제1 오목부는 본체부의 타단부에 배치된다는 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대하여 제1 이행부와 제1 오목부의 위치를 명확히 기술하여 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
제1 이온 인출 구멍 형성 부재의 제1 이행부는 본체부의 일단부로부터 상기 방향으로 연장되어 배치되며, 제1 오목부는 본체부의 타단부에 배치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
이온 인출 구멍 형성 부재의 본체부 양단에 각각 이행부와 오목부를 배치함으로써, 인접한 부재 간의 접촉 및 구조적 연결을 구현하는 기술이다.