문맥 (context)
[청구항 3]
청구항 2에 있어서,상기 제1축 이송대는,라인 홈이 파여진 길이가지는기판 이송 장치.
[청구항 4]
청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,상기 제2축 이송대는,상기제1축이송대를상부오목하게설치되는기판 이송 장치.
[청구항 5]
청구항 4에 있어서,상기 제2축 이송대는,상기 제1축 이송대의 상부에 놓이는 기판 지지대 받침체;상기 제1축 이송대의 길이 방향의 측벽을 이격 감싸도록, 상기 기판 지지대 받침체의 양 끝단에서 각각 하측으로 돌출된 제2축 이송대 지지체포함하는기판 이송 장치.
[청구항 6]
청구항 2에 있어서,상기 에어 베어링은, 상기 제1축 이송대의 바닥면 및 제2축 이송대 지지체의 바닥면에 복수개로각각 구비되는기판 이송 장치.
[청구항 7]
청구항 2에 있어서,상기 흡입기는,상기 에어 베어링의 에어 분사면 둘레를 감싸는 흡입 패드;상기 흡입 패드를 주변 구조물에 결합 고정시키는 고정 결합바;상기 흡입 패드의 하부면에 형성된 복수의 에어 흡입홀;상기 흡입 패드의 내부에 형성된 통로관으로서, 상기 에어 흡입홀과 연결된 에어 흡입 통로관;상기 에어 흡입 통로관의 일끝단에 마련되어 흡입된 에어를 배출하는 에어 배출 포트포함하는기판 이송 장치.
[청구항 8]
청구항 7에 있어서,상기 흡입 패드는 에어 베어링의 에어 분사면 둘레를 감싸는 단일의 링 형태구현하는기판 이송 장치.
[청구항 9]
청구항 7에 있어서,상기 흡입 패드는 복수개 구비되며, 에어 베어링의 에어 분사면 둘레를 따라 서로 이격된 흡입패드로 감싸는기판 이송 장치..
[청구항 10]
청구항 7에 있어서,상기 흡입 패드의 바닥면은 불소수지인 테프론코팅된기판 이송 장치.
[청구항 11]
청구항 7에 있어서,상기 흡입 패드와 에어 베어링과의 이격 거리는 50mm 이내임특징으로 하는기판 이송 장치.
[청구항 14]
청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,상기 흡입기는,상기 에어 베어링의 둘레를 감싸는 흡입 패드;상기 흡입 패드를 주변 구조물에 결합 고정시키는 고정 결합바;상기 흡입 패드의 하부면에 형성된 복수의 에어 흡입홀;상기 흡입 패드의 내부에 형성된 통로관으로서, 상기 에어 흡입홀과 연결된 에어 흡입 통로관;상기 에어 흡입 통로관의 일끝단에 마련되어 흡입된 에어를 배출하는 에어 배출 포트포함하는기판 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 이송 장치에서 제2축 이송대가 제1축 이송대의 상부에 오목하게 설치될 때, 제2축 이송대를 구성하는 세부 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제2축 이송대가 제1축 이송대의 상부에 오목하게 설치되는 구성일 때, 제2축 이송대를 구성하는 세부 요소들을 추출하는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 제2축 이송대가 제1축 이송대의 상부에 오목하게 설치됨을 확인하고, 해당 조건을 포함하는 청구항 5를 탐색한다.
- 상기 제2축 이송대는,상기제1축이송대를상부오목하게설치되는
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3근거 선택
evidence_selection청구항 5에서 제2축 이송대를 구성하는 요소인 '기판 지지대 받침체'와 '제2축 이송대 지지체'를 선택한다.
- 상기 제2축 이송대는,상기 제1축 이송대의 상부에 놓이는 기판 지지대 받침체;상기 제1축 이송대의 길이 방향의 측벽을 이격 감싸도록, 상기 기판 지지대 받침체의 양 끝단에서 각각 하측으로 돌출된 제2축 이송대 지지체포함
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4논리 통합
logical_integration제2축 이송대는 기판 지지대 받침체와 이를 지지하며 측벽을 감싸는 제2축 이송대 지지체로 이루어져 있음을 파악한다.
- 상기 제2축 이송대는,상기 제1축 이송대의 상부에 놓이는 기판 지지대 받침체;상기 제1축 이송대의 길이 방향의 측벽을 이격 감싸도록, 상기 기판 지지대 받침체의 양 끝단에서 각각 하측으로 돌출된 제2축 이송대 지지체포함
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5결론 도출
conclusion_formulation추출된 두 구성 요소를 리스트 형식으로 정리하여 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation최종적으로 기판 지지대 받침체, 제2축 이송대 지지체를 답변으로 도출한다.
최종 답변 (final_answer)
기판 지지대 받침체, 제2축 이송대 지지체
핵심 해석 (core_interpretation)
제2축 이송대는 제1축 이송대 상부에 놓이는 기판 지지대 받침체와, 해당 받침체의 양 끝단에서 하측으로 돌출되어 제1축 이송대의 측벽을 감싸는 제2축 이송대 지지체로 구성된다.