기판이송체, 기판 처리장치 및 기판 처리방법 document_id 1020120136670

[청구항 1] 하부에서 장착될 마스크에 대응하는 개구를 갖는, 마스크홀더; 및 상기 마스크홀더의 하부에서 상기 마스크홀더와 착탈가능하며, 기판이 안착될 수 있는 안착면을 갖는, 기판홀더 를 구비하는, 기판이송체 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 마스크홀더의 상기 개구를 정의하는 내측면의 적어도 일부면은, 상기 기판홀더의 상기 안착면에 수직절곡된형상인, 기판이송체. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 마스크홀더의 상기 개구를 정의하는 내측면은 상기 기판홀더의 상기 안착면에 수직이 아닌 제1내측면과, 상기 안착면에 수직인 제2내측면을 가지며, 상기 제2내측면은 상기 제1내측면보다 하부위치한,기판이송체. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 마스크홀더의 하부에서 마스크가 상기 마스크홀더에 장착될 시, 상기 제1내측면의 적어도 일부는 마스크의 프레임에 컨택하는,기판이송체. [청구항 5] 장착될 마스크에 대응하는 개구를 갖되 상면에 대해 구배가 형성된 면을 가져 상기 개구로 갈수록 두께가 얇아지는 부분을 포함하는, 마스크홀더; 및 상기 마스크홀더의 하부에서 상기 마스크홀더와 착탈가능하며, 기판이 안착될 수 있는 안착면을 갖는, 기판홀더 를 구비하는, 기판이송체 [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 마스크홀더의 하부에서 마스크가 상기 마스크홀더에 장착될 시, 상기 구배가 형성된 면의 적어도 일부는 마스크의 프레임에 컨택하는,기판이송체. [청구항 7] 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마스크홀더는 하부에서 장착되는 마스크를 고정할 수 있는 제1고정부갖는,기판이송체. [청구항 8] 일측에 기판이 투입될 수 있는 입구를 가진 챔버몸체 상기 챔버몸체 내에 배치될 수 있는 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 기판이송체 상기 마스크홀더와 상기 기판홀더 중 적어도 어느 하나를 업다운시킬 수 있는, 업다운유닛; 및 상기 기판홀더를 움직여 상기 기판홀더에 안착된 기판과 상기 마스크홀더에 고정된 마스크를 정렬할 수 있는, 스테이지 를 구비하는, 기판 처리장치 [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 업다운유닛은 상기 기판홀더를 업다운시킬 수 있으며, 상기 마스크홀더는 상기 기판홀더가 하측에서 업되어 접근하였을 시 상기 기판홀더를 고정할 수 있는 제2고정부갖는,기판 처리장치. [청구항 10] 일측에 기판이 투입될 수 있는 입구를 가진 챔버몸체 상기 챔버몸체 내에 배치될 수 있는 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 기판이송체 상기 마스크홀더와 상기 기판홀더 중 적어도 어느 하나를 업다운시킬 수 있는, 업다운유닛 상기 안착면과 교차하는 방향으로 연장되며, 기판을 지지할 수 있는, 복수개의 기판핀들; 및 상기 복수개의 기판핀들을 움직여 상기 복수개의 기판핀들 상에 배치된 기판과 상기 마스크홀더에 고정된 마스크를 정렬할 수 있는, 스테이지 를 구비하는, 기판 처리장치 [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 업다운유닛은 상기 기판홀더를 업다운시킬 수 있으며, 상기 마스크홀더는 상기 기판홀더가 하측에서 업되어 접근하였을 시 상기 기판홀더를 고정할 수 있는 제2고정부갖는,기판 처리장치.