문맥 (context)
[청구항 1]
흡입 압력을 전달하는 에어밸브; 및
상기 에어밸브와 연통되어 공기가 이동되도록 에어이동로가 형성되고, 기판의 더미영역에 접촉되어 흡착하는 흡착부
를 포함하는 기판 이송 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 에어밸브가 결합되는 플레이트더 포함하는기판 이송 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 에어밸브는 다수개형성되는기판 이송 장치.
[청구항 4]
제2항에 있어서,상기 플레이트는상기 에어밸브가 삽입결합되는 관통홀형성되는기판 이송 장치.
[청구항 5]
제2항에 있어서,상기 플레이트는상기 흡착부를 통해 유입되는 이물질을 걸러내는 필터설치되는기판 이송 장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 흡착부는 상기 기판을 상부를 덮도록 형성되며, 단부가기판외곽의더미영역접촉되어흡착하는기판 이송 장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 흡착부는연성 고무 재질형성되는기판 이송 장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 흡착부는하단이 절곡형성되는기판 이송 장치.
[청구항 9]
제2항에 있어서,상기 플레이트는내부에 에어밸브와 연통되는 진공부형성되는기판 이송 장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 흡착부는상기 진공부와 연통되도록 플레이트에 연장형성되는기판 이송 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 이송 장치에서 플레이트가 이물질을 걸러내는 기능을 수행하기 위해 구비되는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판 이송 장치의 플레이트가 이물질을 걸러내는 기능을 수행하기 위해 구비되는 구성 요소를 찾는 것이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 플레이트가 이물질을 걸러내는 기능과 관련된 구성 요소를 확인한다.
- 상기 플레이트는상기 흡착부를 통해 유입되는 이물질을 걸러내는 필터설치되는
-
3근거 선택
evidence_selection플레이트에 설치되어 이물질을 걸러내는 구성 요소인 '필터'를 근거로 선택한다.
- 필터
-
4논리 통합
logical_integration청구항 5에 따르면 플레이트에는 이물질을 걸러내기 위한 필터가 설치되어 있음을 알 수 있다.
- 상기 플레이트는상기 흡착부를 통해 유입되는 이물질을 걸러내는 필터설치되는
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 플레이트에 설치되는 '필터'를 도출한다.
- 필터
-
6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소인 '필터'를 최종 답변으로 작성한다.
- 필터
최종 답변 (final_answer)
필터
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 이송 장치의 플레이트에 필터를 설치함으로써, 흡착부를 통해 유입될 수 있는 이물질을 차단하는 기술적 구성을 포함한다.