문맥 (context)
[청구항 1]
웨이퍼가 로딩되는 로딩 배쓰(loading bath)
상기 로딩 배쓰와 이격되고, 웨이퍼가 언로딩되는 언로딩 배쓰(unloading bath)
상기 로딩 배쓰와 언로딩 배쓰 사이에 경사지게 배열된 복수개의 세정 배쓰(cleaning bath)
상기 세정 배쓰 상측에 경사지게 배열된 경사 레일; 및
상기 경사 레일을 따라 이동하면서 상기 세정 배쓰에 웨이퍼를 이동시키는 경사 로봇(robot)
을 포함하는 엘리베이터형 웨이퍼 클리너
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 로딩/언로딩 배쓰 하측에 웨이퍼를 수평 방향으로 이동시키는 하부 트랜스퍼더 포함하는엘리베이터형 웨이퍼 클리너.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 언로딩/로딩 배쓰 상측에 수평하게 배열된 수평 레일; 및상기 수평 레일을 따라 이동하면서 상기 언로딩/로딩 배쓰에 웨이퍼를 이동시키는 수평 로봇더 포함하는엘리베이터형 웨이퍼 클리너.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 경사 레일의 경사도에 따라 상기 로딩 배쓰와 언로딩 배쓰 사이의 높이와,상기세정배쓰의폭개수에따라결정되는엘리베이터형 웨이퍼 클리너.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 웨이퍼 클리너는 폴리싱 공정을 수행하는 폴리싱 장비에 적용되며,상기 세정 배쓰들은, 폴리싱 공정(polishing) 전에 웨이퍼 세정 또는 웨이퍼 표면 산화막 제거를 위하여 화학물 용액 또는 순수담기는엘리베이터형 웨이퍼 클리너.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 웨이퍼 클리너는 셰이핑 공정을 수행하는 에칭 장비에 적용되며,상기 세정 배쓰들은, 웨이퍼 표면 열처리 공정(rtp) 전에 웨이퍼 표면을 에칭하기 위하여 화학물 용액 또는 순수담기는엘리베이터형 웨이퍼 클리너.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 경사 로봇은, 상기 세정 배쓰 중 화학물을 포함하는 배쓰의 갯수 이하구비되는엘리베이터형 웨이퍼 클리너.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 경사 로봇은,상기 경사 레일을 따라 이동 가능하게 설치된 경사 가이드와,상기 경사 가이드 하측에 최하단이 수평하게 위치한 두 개의 그립퍼(gripper)와,상기 그립퍼들을 상기 경사 가이드에 대해 수평 또는 수직하게 이동시키는이동수단포함하도록구성된엘리베이터형 웨이퍼 클리너.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 경사 로봇은, 상기 경사 가이드 하측에 수직하게 연장된 수직 가이드와,상기 수직 가이드를 따라 수직 이동 가능하게 설치된 수평 가이드를 더 포함하고,상기 그립퍼들은 상기 수평 가이드의 하측 양단에서 내외측으로수평이동가능하게설치된엘리베이터형 웨이퍼 클리너.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
엘리베이터형 웨이퍼 클리너에서 경사 레일의 경사도는 어떠한 요소들에 의해 결정되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation엘리베이터형 웨이퍼 클리너의 경사 레일 경사도를 결정하는 요소를 찾는 질문임을 파악한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 경사 레일의 경사도와 관련된 기술적 구성 요소를 추출한다.
- 상기 경사 레일의 경사도에 따라 상기 로딩 배쓰와 언로딩 배쓰 사이의 높이와,상기세정배쓰의폭개수에따라결정되는
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3근거 선택
evidence_selection경사도를 결정하는 직접적인 원인인 '로딩 배쓰와 언로딩 배쓰 사이의 높이'와 '세정 배쓰의 폭 및 개수'를 근거로 선택한다.
- 상기 로딩 배쓰와 언로딩 배쓰 사이의 높이와,상기세정배쓰의폭개수에따라결정되는
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4논리 통합
logical_integration문맥상 경사도는 높이 차이와 세정 배쓰의 물리적 규격(폭, 개수)에 의해 결정됨을 논리적으로 연결한다.
- 상기 로딩 배쓰와 언로딩 배쓰 사이의 높이와,상기세정배쓰의폭개수에따라결정되는
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 로딩/언로딩 배쓰 사이의 높이, 세정 배쓰의 폭, 세정 배쓰의 개수를 도출한다.
- 상기 로딩 배쓰와 언로딩 배쓰 사이의 높이와,상기세정배쓰의폭개수에따라결정되는
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 로딩 배쓰와 언로딩 배쓰 사이의 높이와,상기세정배쓰의폭개수에따라결정되는
최종 답변 (final_answer)
상기 로딩 배쓰와 언로딩 배쓰 사이의 높이, 상기 세정 배쓰의 폭, 상기 세정 배쓰의 개수
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 경사 레일의 경사도를 로딩/언로딩 배쓰 간의 높이 차이와 세정 배쓰의 폭 및 개수에 연동시켜 설계함으로써 장비의 구조적 정밀도를 결정하는 기술을 포함한다.