문맥 (context)
[청구항 1]
제1 면 및 상기 제1 면의 반대편인 제2 면을 포함하는 반도체 기판
상기 제1 면 상에 위치하는 제1 패시베이션막; 및
상기 제2 면 상에 위치하는 제2 패시베이션막
을 포함하고,
상기 제1 패시베이션막 및 상기 제2 패시베이션막 각각은 알루미늄계 화합물을 포함하는, 광기전력소자
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 제1 패시베이션막과 상기 제2 패시베이션막 중 적어도 어느 하나에 포함된 알루미늄계 화합물은, 산화알루미늄 (aluminum oxide), 산질화알루미늄 (aluminum oxynitride), 또는 질화알루미늄포함하는,광기전력소자.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 제1 패시베이션막의 알루미늄계 화합물과 상기 제2 패시베이션막의 알루미늄계 화합물은 동일한 물질포함하는,광기전력소자.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 제1 면은 텍스처된,광기전력소자.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 제1 패시베이션막 상에 위치하는 반사방지막;상기 제2 면 상에 위치하는 이미터 영역 및 후면전계 영역;상기 제2 패시베이션막 상에 위치하는 보호막;상기 제2 면에서 상기 이미터 영역과 전기적으로 연결된 제1 전극; 및상기 제2 면에서 상기 후면전계 영역과 전기적으로 연결된 제2 전극더 포함하는,광기전력소자.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 반사방지막은, 질화실리콘, 산질화실리콘, 질화알루미늄, 산화알루미늄, 카본 또는 실리콘카바이드포함하는,광기전력소자.
[청구항 10]
제8항에 있어서,상기 반사방지막은, 질화실리콘, 산질화실리콘, 카본 또는 실리콘카바이드포함하는,광기전력소자.
[청구항 11]
제8항에 있어서,상기 이미터 영역은 상기 후면전계 영역형성된,광기전력소자.
[청구항 12]
제8항에 있어서,상기 제2 패시베이션막 및 상기 보호막은, 상기 제2 패시베이션막 및 상기 보호막을 관통하는 복수의 콘택홀포함하는,광기전력소자.
[청구항 13]
제8항에 있어서,상기 제1 전극과 상기 제2 전극 중적어도 어느 하나는 은(ag), 금(au), 구리(cu), 알루미늄(al) 및 이들의 합금을 포함하는 그룹에서 선택된 금속포함하는,광기전력소자.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
광기전력소자의 제1 패시베이션막과 제2 패시베이션막에 포함될 수 있는 알루미늄계 화합물의 종류는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation광기전력소자의 제1 및 제2 패시베이션막에 포함될 수 있는 알루미늄계 화합물의 종류를 모두 찾는 작업이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 제1 패시베이션막과 제2 패시베이션막 중 적어도 어느 하나에 포함된 알루미늄계 화합물의 구체적인 종류를 추출한다.
- 상기 제1 패시베이션막과 상기 제2 패시베이션막 중 적어도 어느 하나에 포함된 알루미늄계 화합물은, 산화알루미늄 (aluminum oxide), 산질화알루미늄 (aluminum oxynitride), 또는 질화알루미늄포함하는
-
3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 알루미늄계 화합물 목록인 산화알루미늄, 산질화알루미늄, 질화알루미늄을 선택한다.
- 산화알루미늄 (aluminum oxide), 산질화알루미늄 (aluminum oxynitride), 또는 질화알루미늄
-
4논리 통합
logical_integration청구항 2의 내용을 바탕으로 패시베이션막에 사용 가능한 알루미늄계 화합물의 범위를 확정한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation추출된 세 가지 화합물을 나열하여 답변을 구성한다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에서 요구한 리스트 형식으로 최종 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
산화알루미늄 (aluminum oxide), 산질화알루미늄 (aluminum oxynitride), 질화알루미늄
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 광기전력소자의 제1 및 제2 패시베이션막에 산화알루미늄, 산질화알루미늄 또는 질화알루미늄과 같은 알루미늄계 화합물을 포함하여 소자를 구성하는 기술에 관한 것이다.