기판 검사식각 복합장치 및 이를 구비하는 기판 처리장치 document_id 1020120155324

[청구항 1] 일측에 기판이 투입될 수 있는 입구와 타측에 기판이 배출될 수 있는 출구를 가진 챔버몸체 상기 챔버몸체 내에 배치되며 투입된 기판을 상기 입구에서 상기 출구 방향으로 이송할 수 있는 이송유닛 상기 이송유닛 상부에 위치하여 상기 이송유닛 상에 배치된 기판의 일부분을 식각할 수 있는 레이저식각유닛; 및 상기 이송유닛 상에 배치된 기판을 검사할 수 있는 검사유닛 을 구비하는, 기판 검사식각 복합장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 검사유닛은 상기 이송유닛 하부위치한,기판 검사식각 복합장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 챔버몸체는 하부에 하부개구갖는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 검사유닛을 업다운시킬 수 있는 업다운유닛을 더 구비하며, 상기 검사유닛은 상기 업다운유닛에 의해 업되어 상기 챔버몸체의 상기 하부개구에 인접한 상태에서기판검사할수있는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 검사유닛이 상기 업다운유닛에 의해 업되면 상기 검사유닛은상기챔버몸체의상기하부개구차폐할수있는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 6] 제3항에 있어서,상기 검사유닛이 상기 챔버몸체 내부에 위치하거나 상기 챔버몸체 외부에 위치할 수 있도록 상기 검사유닛을 상기 하부개구를 통해 업다운시킬 수 있는 업다운유닛더 구비하는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 검사유닛은 상기 업다운유닛에 의해 업되어 상기 챔버몸체 내부에 위치한 상태에서기판검사할수있는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 검사유닛은 복수개의 홀이 형성된 플레이트와, 상기 복수개의 홀들 중 적어도 일부에 체결되는 검사기기들포함하는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 검사기기들은 상기 복수개의 홀들 중 적어도 일부에탈착가능하도록체결되는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 이송유닛 상에 위치한 기판이 회전되어 상기 챔버몸체의 측면을 향하도록 회전시킬 수 있는 회전유닛을 더 구비하고, 상기 검사유닛은 상기 이송유닛의 옆에 위치하여 회전된기판검사할수있는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 레이저식각유닛은,기판 상으로 레이저빔을 조사할 수 있는 레이저빔 방출부;상기 레이저빔 방출부를 상기 입구에서 상기 출구 방향 또는 그 역방향으로 운반할 수 있는 제1운반부; 및상기 레이저빔 방출부를 상기 입구에서 상기 출구 방향에 교차하는 방향으로 운반할 수 있는 제2운반부구비하는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 제1운반부와 상기 제2운반부 중어느 하나는 다른 하나에 의해 상기 레이저빔 방출부와함께 운반되는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 레이저식각유닛은,레이저빔을 방출할 수 있는 레이저빔 방출부;상기 레이저빔 방출부에서 방출된 레이저빔을 기판 상으로 가이딩할 수 있는 가이딩부;상기 가이딩부를 상기 입구에서 상기 출구 방향 또는 그 역방향으로 운반할 수 있는 제1운반부; 및상기 가이딩부를 상기 입구에서 상기 출구 방향에 교차하는 방향으로 운반할 수 있는 제2운반부구비하는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 제1운반부와 상기 제2운반부 중어느 하나는 다른 하나에 의해 상기 가이딩부함께 운반되는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 레이저빔 방출부의 상기 챔버몸체에 대한 상대적인 위치고정되어 있는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 16] 제11항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,상기 챔버몸체 외부에서 상기 레이저식각유닛을 지지하는 식각유닛 지지부를 더 구비하고, 상기 챔버몸체는 상부에 형성된 상부개구와 상기 상부개구를 차폐하는 투광윈도우를 포함하며, 상기 레이저빔 방출부는 상기 투광윈도우를 통해 기판 상으로레이저빔조사할수있는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 식각유닛 지지부는 상기 챔버몸체와 컨않는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 18] 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,상기 챔버몸체 내부는질소 분위기유지될수있는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 19] 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판검사식각 복합장치는 배면발광 디스플레이 장치 제조위한 것인,기판 검사식각 복합장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 이송유닛은 배면발광 디스플레이 장치가 되어 광이 통과하게 될기판과컨이송할수있는,기판 검사식각 복합장치. [청구항 21] 제1프로세스 챔버; 제2프로세스 챔버; 및 상기 제1프로세스 챔버와 상기 제2프로세스 챔버 사이에 위치하는 상기 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항의 기판 검사식각 복합장치 를 구비하는, 기판 처리장치 [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 제1프로세스 챔버를 지지하는 제1챔버 지지부와 상기 제2프로세스 챔버를 지지하는 제2챔버 지지부를 구비하고, 상기 기판 검사식각 복합장치의 상기 챔버몸체는, 상기 제1챔버 지지부와 상기 제2챔버 지지부지지되는,기판 처리장치. [청구항 23] 제21항에 있어서,상기 제1프로세스 챔버는 증착챔버 또는 플라즈마 식각챔버인,기판 처리장치. [청구항 24] 제21항에 있어서,상기 제2프로세스 챔버는 봉지챔버인,기판 처리장치. [청구항 25] 제21항에 있어서,상기 기판 처리장치는 배면발광 디스플레이 장치 제조위한 것인,기판 처리장치. [청구항 26] 제21항에 있어서,상기 기판 검사식각 복합장치의 상기 이송유닛은 배면발광 디스플레이 장치가 되어 광이 통과하게 될기판과컨이송할수있는,기판 처리장치.