문맥 (context)
[청구항 1]
밀폐된 내부공간을 형성하는 공정챔버와
상기 공정챔버에 설치되며 기판안착면에 안착된 기판을 선형이동시키되 상기 기판의 이송방향을 기준으로 전방 및 후방에 윙부를 가지는 셔틀과
상기 공정챔버에 설치되어 상기 셔틀에 의하여 이송되는 기판의 이송경로의 상부에 위치되어 기판처리를 위한 가스를 분사하는 복수의 가스노즐부들이 상기 셔틀의 이동방향을 따라서 순차적으로 배치된 가스분사부와
복수의 상기 가스노즐부들 중 적어도 일부의 가스노즐부의 직하방에 상기 윙부가 통과할 때 해당 가스노즐부의 상기 윙부에 대한 가스분사가 차단되도록 상기 가스분사부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 가스분사부는, 소스가스를 분사하는 소스가스노즐부와, 상기 반응가스를 분사하는 반응가스노즐부와, 상기 소스가스노즐부 및 상기 반응가스노즐부 사이에 설치되어 퍼지가스를 분사하는 퍼지가스노즐부를 포함하는 하나 이상의 가스노즐군을 포함하며,상기 가스노즐군을 이루는 상기 가스노즐부들의 사이들 중 적어도 하나에는 가스를 흡입하여 배기하는상부배기부설치된것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 3]
청구항 2에 있어서,상기 제어부는, 상기 셔틀의 이동에 의하여 직하방에 상기 윙부가 통과할 때 소스가스의 분사가 차단되도록상기소스가스노즐부제어하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 4]
청구항 1에 있어서,상기 가스노즐부에 가스를 공급하는 가스공급장치와 연결되는 가스공급관에는 바이패스배관이 연결된 바이패스밸브가 설치되며,상기 제어부는, 상기 가스공급장치로부터 공급되는 가스를 상기 바이패스관으로 흐르도록 상기 바이패스밸브를 제어하여 상기 윙부가 상기 가스노즐부의 직하방을 통과할때가스의분사차단하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 5]
청구항 1에 있어서,상기 가스노즐부에 의한 가스의 분사 및 차단이 용이하도록 상기 가스노즐부에 가스를 공급하는 가스공급장치와 연결되는 가스공급관에는 상기 가스공급장치로부터 공급된 가스가 임시로 저장되는가스버퍼부가설치된것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 6]
청구항 2에 있어서,상기 가스분사부는, 상기 셔틀의 이동방향을 따라서 2개 이상의 상기 가스노즐군이 순차적으로 설치되며,상기 가스노즐군들 사이에는 가스를 흡입하여 배기하는 상부배기부가 사이에 설치되는 한 쌍의 퍼지가스노즐부들을 포함하는제1보조노즐군설치된것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 7]
청구항 2에 있어서,상기 가스분사부는, 상기 셔틀의 이동방향을 기준으로 상기 가스노즐군의 반응가스노즐부에 인접하여 설치되는 소스가스노즐부를 포함하는 제2보조노즐군이추가설치된것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 8]
청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 공정챔버 및 상기 셔틀 중적어도 어느 하나는, 상기 가스분사부에 대한 상기 윙부의 상대위치를 감지하는 위치감지부가 추가로 설치되며,상기 제어부는, 상기 위치감지부에 의하여 감지된 상기 윙부의 상대위치의 감지신호에 따라서상기가스분사부제어하는것을특징으로 하는기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리장치에서 셔틀의 윙부가 가스노즐부의 직하방을 통과할 때 가스 분사를 차단하기 위해 제어부가 수행하는 구체적인 방법은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation셔틀의 윙부가 가스노즐부 직하방을 통과할 때 제어부가 가스 분사를 차단하는 구체적인 메커니즘을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 가스공급관에 연결된 바이패스밸브와 바이패스배관, 그리고 제어부의 역할을 추출한다.
- 가스공급관에는 바이패스배관이 연결된 바이패스밸브가 설치되며,상기 제어부는, 상기 가스공급장치로부터 공급되는 가스를 상기 바이패스관으로 흐르도록 상기 바이패스밸브를 제어하여
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3근거 선택
evidence_selection가스 분사를 차단하기 위해 제어부가 바이패스밸브를 조작하여 가스의 흐름을 바이패스관으로 유도한다는 핵심 구절을 선택한다.
- 상기 가스공급장치로부터 공급되는 가스를 상기 바이패스관으로 흐르도록 상기 바이패스밸브를 제어하여 상기 윙부가 상기 가스노즐부의 직하방을 통과할때가스의분사차단하는것을특징으로 하는
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4논리 통합
logical_integration제어부가 바이패스밸브를 제어하여 가스를 가스노즐부가 아닌 바이패스관으로 흐르게 함으로써, 윙부 통과 시 노즐에서의 직접적인 가스 분사를 차단하는 논리 구조를 형성한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation제어부는 가스공급장치로부터 공급되는 가스가 바이패스관으로 흐르도록 바이패스밸브를 제어함으로써 가스 분사를 차단한다.
- 상기 가스공급장치로부터 공급되는 가스를 상기 바이패스관으로 흐르도록 상기 바이패스밸브를 제어하여
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 바이패스밸브 제어를 통한 가스 흐름 유도 방식을 중심으로 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
제어부는 가스공급장치로부터 공급되는 가스가 바이패스관으로 흐르도록 바이패스밸브를 제어함으로써, 셔틀의 윙부가 가스노즐부의 직하방을 통과할 때 가스 분사를 차단한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
셔틀의 윙부가 가스노즐부 하단을 통과할 때 발생할 수 있는 오염이나 간섭을 방지하기 위해, 바이패스밸브를 제어하여 가스 흐름을 바이패스관으로 유도함으로써 분사를 차단하는 기술이다.