기판처리장치 document_id 1020120155864

[청구항 1] 밀폐된 내부공간을 형성하는 공정챔버와 상기 공정챔버에 설치되어 기판을 선형이동시키는 셔틀과 상기 공정챔버에 설치되어 상기 셔틀에 의하여 이송되는 기판의 이송경로의 상부에 위치되어 기판처리를 위한 가스를 분사하는 가스분사부를 포함하며, 상기 셔틀은 기판이 안착되는 기판안착부와, 그 이동방향을 기준으로 상기 기판안착부의 전방 및 후방에 설치되는 한 쌍의 윙부들을 가지며, 상기 윙부는 적어도 일부에서 상기 가스분사부에 의하여 분사되는 가스가 하측으로 관통되어 흐르도록 복수의 관통공들이 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 윙부는, 상기 기판안착부로부터 순차적으로 설치되는 복수의 윙플레이트들을 포함하며,상기 복수의 윙플레이트들 중 기판안착부에 인접한 윙플레이트를 제외한 나머지 윙플레이트에상기관통공들형성된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기 공정챔버는, 저면에 진공펌프와 연결되는하나이상의배기구형성된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 4] 청구항 3에 있어서,상기 하나 이상의 배기구는, 상기 가스공급부에 대응되는위치형성된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 5] 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 공정챔버는, 상기 가스분사부와 상기 셔틀 사이의 공간으로 퍼지가스를 분사하는 퍼지가스분사부가추가설치된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 6] 청구항 5에 있어서,상기 가스분사부는, 상기 셔틀의 이동방향과 수평을 이루는 양측면을 가지며,상기 퍼지가스분사부는, 상기 가스분사부의 양측면결합된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 7] 청구항 5에 있어서,상기 퍼지가스분사부는, 상기 셔틀 중 상기 윙부가 상기 퍼지가스분사부에 대응되는 위치에 위치되었을 때만 퍼지가스를 분사하도록작동되는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 8] 청구항 5에 있어서,상기 셔틀은, 상기 퍼지가스분사부에 의하여 분사되는 퍼지가스가 상기 기판안착부에 안착된 기판으로 분사되는 것을 차단하기 위한 블록킹부재가추가설치된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 9] 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 윙부는 그 저면에 결합되어 상기 관통공을 통과한 가스를 상기 공정챔버의 저면 쪽으로 유도하는 가스유도부가추가설치된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 10] 청구항 9에 있어서,상기 가스유도부는, 상기 윙부의 저면과 함께 공간을 형성하며 하단에 상기 관통공을 통과한 가스가 상기 공정챔버의 저면 쪽으로 배출되는하나이상의배출구형성된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 11] 청구항 9에 있어서,상기 공정챔버는, 상기 셔틀의 선형이동을 위하여, 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라서 상기 셔틀을 선형이동시키기 위한 선형구동부가 설치되며,상기 가스유도부는, 상기 가이드레일 및 상기 선형구동부 중 적어도 어느 하나로 상기 관통공을 통과한 가스가 흐르는 것을 방지하기 위한하나이상의차단부형성된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 12] 청구항 11에 있어서,상기 가이드레일 및 상기 선형구동부는 그 길이방향을 따라서 파티클의 유입을 방지하기 위한 실드부재가 설치되며,상기 실드부재의 상단은상기가스유도부의차단부의하단설치된것을특징으로 하는기판처리장치.