다이 이젝팅 방법 및 장치 document_id 1020120158081

[청구항 6] 다이싱 테이프에 부착된 다이보다 작은 상부 영역과 상부가 개방된 챔버를 갖는 이젝팅 유닛 상기 이젝팅 유닛이 수직 방향으로 삽입되는 개구와 상기 개구 주위에 복수의 진공홀들이 구비된 후드 상기 후드 및 상기 이젝팅 유닛과 결합되며 상기 이젝팅 유닛을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동부를 포함하는 본체; 및 상기 챔버와 상기 진공홀들을 통해 상기 다이싱 테이프의 하부면에 음압을 제공하고 이어서 상기 챔버 내부에 양압을 제공하기 위한 압력 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치 [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 후드와 상기 이젝팅 유닛을 상기 다이싱 테이프의 하부면에 밀착시키기 위한제2구동부더포함하는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 8] 제6항에 있어서,상기 후드의 상부면에는 상기 진공홀들 중 상기 개구와 인접하는 일부 진공홀들을 서로 연결하는적어도하나의채널구비된것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 9] 제6항에 있어서,상기 후드는,상기 개구와 진공홀들이 구비된 상부 패널; 및상기 상부 패널의 가장자리로부터 하방으로 연장하며 상기 본체와 결합되는 하우징을 포함하며,상기 진공홀들은 상기 상부 패널과 상기 하우징에 의해 한정되는 제2 챔버와 연통되며, 상기 이젝팅 유닛은상기후드내부배치되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 개구는 상기 다이보다 작은 크기를 갖는 제1 개구와 상기 제1 개구와 연통되며 상기 제1 개구보다 큰 제2 개구를 포함하고,상기 이젝팅 유닛은 상기 제1 개구 내에 위치되는 제1 부재와 상기 제2 개구 내에 위치되는제2부재포함하는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 제2 개구의 내측 상부에는 상기 제1 개구에 인접하는 진공홀들을 다른 진공홀들과 서로 연결하기 위한그루브구비되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 제2 개구는 상기 제2 부재보다 크게 형성되며, 상기 제2 부재의 주위에는 상기 제2 개구와 대응하는 가이드 링이 구비되고, 상기 가이드 링에는 상기 진공홀들 중 일부와 상기 제2 챔버를 서로 연통시키기 위한제2진공홀들구비되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 13] 제6항에 있어서,상기 챔버 내부에 음압을 제공하는 동안 상기 다이싱 테이프 상에 위치된 상기 다이의 중앙 부위를 부분적으로 지지하기 위한 서포트 부재가상기챔버내부구비되는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치. [청구항 14] 제6항에 있어서,상기 압력 조절부는,진공 소스와 연결되며 상기 챔버 내부에 음압을 제공하기 위한 제1 배관;상기 제1 배관에 구비된 제1 밸브;상기 진공 소스와 연결되며 상기 진공홀들을 통하여 음압을 제공하기 위한 제2 배관;상기 제2 배관에 구비된 제2 밸브;압축 공기 소스와 연결되며 상기 챔버 내부에 양압을 제공하기 위하여 상기 제1 배관과 연결된 제3 배관; 및상기 제3 배관에 구비된제3밸브포함하는것을특징으로 하는다이 이젝팅 장치.