문맥 (context)
[청구항 1]
노광 빔을 조사하고 액체를 통하여 기재를 노광하는 액침 노광 장치의 부재 표면에 발액층을 형성하기 위한 조성물이며,
서로 인접하지 않는 2개 또는 3개의 에테르성 산소 원자를 환 구조 내에 포함하는 불소 함유 지방족환 구조를 갖는 반복 단위를 주쇄에 갖는 불소 함유 중합체를 함유하는, 액침 노광 장치용 코팅재 조성물
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 불소 함유 중합체가, 이하의 식 (b1)로 표시되는 불소 함유 화합물 또는 식 (b2)로 표시되는 불소 함유 화합물에서 유래하는 반복 단위를 포함하는 중합체인, 액침 노광 장치용 코팅재 조성물. (식 중, w1은 불소 원자 또는 탄소수 1 내지 3의 퍼플루오로알킬기 혹은 퍼플루오로알콕시기이다. w2 및 w3은 각각 독립적으로, 불소 원자 또는 산소 원자를 포함할 수 있는 탄소수 1 내지 6의 퍼플루오로알킬기이다. w2과 w3에 의해 환상 구조를 형성할 수 있다. w4 및 w5는 각각 독립적으로, 불소 원자 또는 산소 원자를 포함할 수 있는 탄소수 1 내지 8의 퍼플루오로알킬기이다. w4와 w5에 의해 환상 구조형성할 수있다.)
[청구항 3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 불소 함유 중합체를 용해하는 불소계 용매포함하는,액침 노광 장치용 코팅재 조성물.
[청구항 4]
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액체가 물이며, 상기 발액층이 발수층인,액침 노광 장치용 코팅재 조성물.
[청구항 5]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 노광 빔이 파장 193nm의 arf 엑시머레이저인,액침 노광 장치용 코팅재 조성물.
[청구항 6]
노광 빔을 조사하고 액체를 통하여 기재를 노광하는 액침 노광 장치의 부재 표면에 형성되는 적층체이며,
서로 인접하지 않는 2개 또는 3개의 에테르성 산소 원자를 환 구조 내에 포함하는 불소 함유 지방족환 구조를 갖는 반복 단위를 주쇄에 갖는 불소 함유 중합체를 함유하는 적층체
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 부재 표면에 형성된, 1종 이상의 관능기를 갖는 불소 함유 중합체를 함유하는 층을 추가구비하는적층체.
[청구항 8]
제6항 또는 제7항에 있어서,상기 불소 함유 지방족환 구조를 갖는 반복 단위를 주쇄에 갖는 불소 함유 중합체가, 이하의 식 (b1)로 표시되는 불소 함유 화합물 또는 식 (b2)로 표시되는 불소 함유 화합물에서 유래하는 반복 단위를 포함하는 중합체인 적층체. (식 중, w1은 불소 원자 또는 탄소수 1 내지 3의 퍼플루오로알킬기 혹은 퍼플루오로알콕시기이다. w2 및 w3은 각각 독립적으로, 불소 원자 또는 산소 원자를 포함할 수 있는 탄소수 1 내지 6의 퍼플루오로알킬기이다. w2과 w3에 의해 환상 구조를 형성할 수 있다. w4 및 w5은 각각 독립적으로, 불소 원자 또는 산소 원자를 포함할 수 있는 탄소수 1 내지 8의 퍼플루오로알킬기이다. w4와 w5에 의해 환상 구조형성할 수있다.)
[청구항 9]
제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액체가물인적층체.
[청구항 10]
제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 노광 빔이 파장 193nm의 arf 엑시머레이저인적층체.
[청구항 12]
노광 빔을 조사하고 액체를 통하여 기재를 노광하는 장치이며,
부재 표면에 제6항 내지 제10항 중 어느 한 항에 기재된 적층체를 갖는 액침 노광 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
액침 노광 장치용 코팅재 조성물에서 주쇄에 불소 함유 중합체를 포함할 때, 해당 중합체의 불소 함유 지방족환 구조 내에 포함되는 에테르성 산소 원자의 개수와 그 배치 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation액침 노광 장치용 코팅재 조성물 내 불소 함유 중합체의 지방족환 구조에 포함된 에테르성 산소 원자의 개수와 배치 조건을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 불소 함유 중합체의 주쇄에 있는 불소 함유 지방족환 구조에 대한 정보를 추출한다.
- 서로 인접하지 않는 2개 또는 3개의 에테르성 산소 원자를 환 구조 내에 포함하는 불소 함유 지방족환 구조를 갖는 반복 단위를 주쇄에 갖는 불소 함유 중합체
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 에테르성 산소 원자의 개수와 배치 조건이 명시된 구절을 선택한다.
- 서로 인접하지 않는 2개 또는 3개의 에테르성 산소 원자를 환 구조 내에 포함하는
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 결합하여 산소 원자의 개수는 2개 또는 3개이며, 이들은 서로 인접하지 않아야 한다는 조건을 도출한다.
- 서로 인접하지 않는 2개 또는 3개의 에테르성 산소 원자
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변을 구성한다. 산소 원자의 개수는 2개 또는 3개이고, 배치 조건은 서로 인접하지 않는 것이다.
- 서로 인접하지 않는 2개 또는 3개의 에테르성 산소 원자
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 추출 형식에 맞춰 작성한다.
- 서로 인접하지 않는 2개 또는 3개의 에테르성 산소 원자
최종 답변 (final_answer)
에테르성 산소 원자의 개수는 2개 또는 3개이며, 배치 조건은 서로 인접하지 않는 것이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 액침 노광 장치용 코팅재 조성물에서 불소 함유 중합체의 지방족환 구조 내에 서로 인접하지 않는 2개 또는 3개의 에테르성 산소 원자를 포함함으로써 특정 화학적 구조를 정의한다.