프로브 카드 document_id 1020127011210

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 접촉자는 탄성을 구비한 접촉자 지지판에 의해 지지되고, 상기 접촉자 지지판은 상기 도전부의 아래쪽마련되어 있는프로브 카드. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 도전부는 유연성을 갖는 절연층과 상기 절연층에 형성된 배선층갖는프로브 카드. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 가압부는, 상기 도전부와, 상기 도전부의 바깥둘레 가장자리부에 기밀하게 접속된 탄성 부재와, 상기 테스터 칩의 위쪽에 마련된 지지 부재를 접합해서 구성되고, 상기 가압부의 내부에는 유체를 봉입 가능하고, 상기 테스터 칩은 상기 가압부의 내부수용되어 있는프로브 카드. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 테스터 칩을 실장하는 평판 형상의 실장용 기판을 더 포함하고, 상기 실장용 기판은 상기 도전부 상이고, 또한 상기 접촉자에 대응하는 위치의 위쪽에 세워 마련되고, 상기 실장용 기판과 상기 도전부는 전기적접속되어 있는프로브 카드. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 도전부의 상면에는 상기 실장용 기판을 탈착 자유로운 접속용 부재가 마련되고, 상기 실장용 기판과 상기 도전부는 상기 접속용 부재를 거쳐서 전기적접속되어 있는프로브 카드. [청구항 7] 제 4 항에 있어서,상기 가압부에는 그 내부에 유체를 공급하는 유체 공급구와, 그 내부로부터 유체를 배출하는 유체 배출구마련되어 있는프로브 카드. [청구항 8] 제 5 항에 있어서,상기 가압부에는 그 내부에 유체를 공급하는 유체 공급구와, 그 내부로부터 유체를 배출하는 유체 배출구가 마련되고, 상기 실장용 기판은 상기 유체 공급구와 상기 유체 배출구에 의해 상기 가압부의 내부에 형성되는유체의흐름평행하게배치되어 있는프로브 카드. [청구항 9] 제 4 항에 있어서,상기 도전부에는 상기 테스터 칩에의 전원 공급과, 검사시에 필요한 제어 신호 및 검사 데이터의 송수신을 실행하는 제어 장치가 전기적접속되어 있는프로브 카드. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 도전부는 상기 복수의 접촉자와 상기 복수의 테스터 칩을 전기적으로 접속하는 복수의 접촉자 배선부와, 상기 복수의 테스터 칩과 상기 제어 장치를 전기적으로 접속하는 외부 배선부를 갖고, 상기 복수의 접촉자 배선부는 상기 접촉자 지지판의 상면이고 상기 복수의 테스터 칩에 대응하는 위치의 아래쪽에 적층해서 마련되고, 상기 외부 배선부는 상기 복수의 접촉자 배선부의 상면마련되어 있는프로브 카드. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 가압부와 상기 접촉자 지지판의 사이에는 상기 가압부의 가압력을 상기 접촉자 지지판에 전달하는 가압력 전달 부재가 마련되고, 상기 가압력 전달 부재는 상기 회로 기판의 관통 구멍을 삽입 통과마련되어 있는프로브 카드. [청구항 13] 제 11 항에 있어서,상기 가압부는 내부에 유체를 봉입 가능한, 가요성을 갖는유체챔버에의해형성되어 있는프로브 카드. [청구항 14] 제 11 항에 있어서,상기 접촉자와 상기 회로 기판은 탄성을 갖는 탄성 도체에 의해 전기적접속되어 있는프로브 카드. [청구항 15] 제 11 항에 있어서,상기 회로 기판은 상기 회로 기판의 바깥둘레부를 유지하는 유지 부재를 거쳐, 상기 가압부의 상면에 마련된 지지판에 지지되고, 상기 접촉자 지지판은 상기 유지 부재에 지지된 탄성 부재를 거쳐서 상기 유지 부재지지되어 있는프로브 카드.