전기 또는 전자 부품을 핸들링하기 위한 마운팅 헤드 document_id 1020127011684

[청구항 1] 전기 또는 전자 부품을 핸들링하기 위한 마운팅 헤드로서, - 삽입 및 고정될 전기 또는 전자 부품(8)에 흡입 효과를 제공하기 위해 흡입 노즐(7)을 구비한 핸들링 요소(6) - 상기 핸들링 요소(6)를 위한 리테이너(4; 204) 및, - 상기 리테이너(4; 204)를 제1축(z)을 따라 병진 운동시키는 하나 이상의 구동 장치 를 구비하며, - 상기 리테이너(4; 204)에는, 제1축(z)에 대해 동축으로 뻗어 있으며 실린더(5; 205)를 형성하는 실린더 보어(50; 250)가 제공되고 - 상기 핸들링 요소(6)는 유체 베어링으로서 형성된 하나 이상의 레이디얼 베어링(68', 69'; 268', 269')을 통해 실린더(5; 205)에서 제1축(z)을 따라 이동하도록 설치되어 있는 피스톤(60; 260)을 구비하며 - 상기 실린더(5; 205)에 압력 챔버(9; 209)가 형성되어 있고, - 상기 피스톤(60; 206)에 상기 압력 챔버(9, 209)에서 작용하는 유체 압축력(f; f' f'')이 축방향으로 가해져서, 상기 피스톤은 상기 실린더(5; 205)로부터 나오는 방향으로 리테이너(4; 204)의 정지부(52; 252)에 대하여 선응력을 받는, 마운팅 헤드에 있어서, 상기 피스톤(60; 260)의 외주 벽에는 복수의 액체 배출구(68, 69; 268, 269)가 배열되고, 상기 액체 배출구는 하나 이상의 레이디얼 베어링(68', 69'; 268', 269')을 형성하며, 유체 압축력(f; f'; f'')을 생성하는 유체 압력은 레이디얼 베어링(68', 69'; 268', 269')에 유입된 유체 압력 또는 레이디얼 베어링(68', 69'; 268', 269')에 공급을 위해 피스톤에 유입된 유체 압력에 의해 발생되는 것을 특징으로 하는 마운팅 헤드 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 피스톤 벽의 축 방향을 따라 상기 피스톤(60; 260)의 외주면에 복수의 열의 액체 배출구(68, 69; 268, 269)가 배열되는 것을 특징있는마운팅 헤드. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 액체 배출구(68, 69; 268, 269)는 원주 방향으로 배열되는 것을 특징있는마운팅 헤드. [청구항 4] 제1항에 있어서,유체 압축력(f; f'; f'')을 생성하기 위해 상기 레이디얼 베어링(68', 69'; 268', 269')에 공급된 유체 압력이 추가로압력챔버유입되는것을특징으로 하는마운팅 헤드. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 피스톤(260)은 축 방향으로 서로 간격을 두고 있으며, 서로 다른 외부 지름을 갖는 적어도 두 개의 원통형 피스톤 부품(260'', 260''')을 구비하며, 상기 피스톤의 외부 지름은 상기 액체 압력축(f'')의 작용 방향으로 증가하고,- 상기 압력 챔버(209)는 두 피스톤 부품(260'', 260''') 사이의 전이 영역에 있는실린더형성되어있는것을특징으로 하는마운팅 헤드. [청구항 6] 제5항에 있어서,개의 피스톤 부품 사이의 전이 영역에 있는 피스톤의 외주는 적어도 구간별로원추형형성되어있는것을특징으로 하는마운팅 헤드. [청구항 7] 제5항에 있어서,개의 피스톤 부품(260'', 260''') 사이의 전이 영역에 있는 피스톤(260)의 외부 지름은 계단 형태로 증가하며, 더 작은 외부 지름을 갖는 피스톤 부품(260'')과 더 큰 외부 지름을 갖는 피스톤 부품(260''') 사이에 상기 유체 압축력(f'')에 반대로 작용하는링형태형성되어있는것을특징으로 하는마운팅 헤드. [청구항 8] 제7항에 있어서,링 형태의 지지면(261')은 상기 압력 챔버(209)를 위한축방향경계벽의적어도일부분형성하는것을특징으로 하는마운팅 헤드. [청구항 9] 제1항에 있어서,실린더(205) 벽에 하나 이상의 액체 배출구(249)가 구비되어 있으며, 상기 액체 배출구를 통해 액체가 상기 실린더(205)로부터 배출될 수있는것을특징으로 하는마운팅 헤드. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 액체 배출구(249)에는스로틀구비되는것을특징으로 하는마운팅 헤드. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 실린더의 내주 벽에는 복수의 액체 배출구가 배열되고, 상기 액체 배출구는하나이상의레이디얼베어링형성하는것을특징으로 하는마운팅 헤드. [청구항 12] 제9항에 있어서,실린더 벽의 축 방향을 따라 상기 실린더의 내주면에복수의열의액체배출구배열되는것을특징으로 하는마운팅 헤드. [청구항 13] 제10항에 있어서,상기 액체 배출구는원주방향배열되는것을특징으로 하는마운팅 헤드. [청구항 14] 제1항에 있어서,축 방향으로 서로 간격을 두고 있는 두 개 이상의 레이디얼 베어링(68', 69'; 268', 269')이 구비되어 있으며, 각각의 레이디얼 베어링은 유체 압력 공급부(44) 및 원주 방향으로 베어링 표면에 분포되어 배열된복수의액체배출구포함하는것을특징으로 하는마운팅 헤드. [청구항 15] 제1항에 있어서,유체 베어링으로서 형성된 각각의 레이디얼 베어링(68', 69'; 268', 269')은가스압력베어링인것을특징으로 하는마운팅 헤드. [청구항 16] 제1항에 있어서,상기 압력 챔버(209)는 두개의레이디얼베어링사이배열되어있는것을특징으로 하는마운팅 헤드. [청구항 17] 제10항에 있어서,상기 액체 배출구(249)에 제공된 스로틀(249'')은조절가능한것을특징으로 하는마운팅 헤드. [청구항 18] 제1항에 있어서,유체 베어링으로서 형성된 각각의 레이디얼 베어링(68', 69'; 268', 269')은공기베어링인것을특징으로 하는마운팅 헤드.