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임프린트용 경화성 조성물, 패터닝 방법 및 패턴 document_id 1020127014745

출원번호
1020127014745
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] (a) 중합성 화합물 및 (b) 광중합 개시제를 포함하는 임프린트용 경화성 조성물로서 상기 (a) 중합성 화합물은 (a1) 불소원자와 실리콘원자 중 적어도 하나를 갖는 중합성 화합물 및 (a2) 방향족기를 갖는 중합성 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린트용 경화성 조성물 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기(a) 중합성 화합물의 50질량% 이상은 분자 중에 중합성 관능기를 2개 이상 갖는다관능중합성화합물인것을특징으로 하는임프린트용 경화성 조성물. [청구항 3] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기(a) 중합성 화합물의 20질량% 이상은 분자 중에 2개 이상의 중합성 관능기 및 방향족기를 갖는다관능중합성화합물인것을특징으로 하는임프린트용 경화성 조성물. [청구항 4] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기(a) 중합성 화합물의 90질량% 초과는 점도 300mpa·s이하의중합성화합물인것을특징으로 하는임프린트용 경화성 조성물. [청구항 5] 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기(a) 중합성 화합물의 80질량% 이상은 방향족기를 갖는모노머인것을특징으로 하는임프린트용 경화성 조성물. [청구항 6] 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기(a1) 불소원자와 실리콘원자 중 적어도 하나를 갖는 중합성 화합물은 트리플루오로메틸기 구조를 갖는중합성화합물인것을특징으로 하는임프린트용 경화성 조성물. [청구항 7] 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기(a1) 불소원자와 실리콘원자 중 적어도 하나를 갖는 중합성 화합물은 분자 중에 불소 함유기를 2개 이상 갖는중합성화합물인것을특징으로 하는임프린트용 경화성 조성물. [청구항 8] 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기(a1) 불소원자와 실리콘원자 중 적어도 하나를 갖는 중합성 화합물은 불소 함유율이 20~60%인중합성화합물인것을특징으로 하는임프린트용 경화성 조성물. [청구항 9] 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기(a1) 불소원자와 실리콘원자 중 적어도 하나를 갖는 중합성 화합물은 중량 평균 분자량 2000~100000의 불소원자를 갖는폴리머인것을특징으로 하는임프린트용 경화성 조성물. [청구항 10] 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기(a1) 불소원자와 실리콘원자 중 적어도 하나를 갖는 중합성 화합물은 실리콘원자를 갖는모노머인것을특징으로 하는임프린트용 경화성 조성물. [청구항 11] 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기(a2) 방향족기를 갖는 중합성 화합물은아크릴레이트또는메타크릴레이트인것을특징으로 하는임프린트용 경화성 조성물. [청구항 12] 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,상기(a2) 방향족기를 갖는중합성화합물의분자량인것을특징으로 하는임프린트용 경화성 조성물. [청구항 13] 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,상기(a2) 방향족기를 갖는중합성화합물의점도인것을특징으로 하는임프린트용 경화성 조성물. [청구항 14] 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,상기(a2) 방향족기를 갖는 중합성 화합물의 함유량은 상기 임프린트용 경화성 조성물에 포함되는전체중합성화합물중80질량이상인것을특징으로 하는임프린트용 경화성 조성물.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
임프린트용 경화성 조성물에 포함되는 중합성 화합물(a) 중, 2개 이상의 중합성 관능기와 방향족기를 동시에 갖는 관능중합성화합물의 함량 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    임프린트용 경화성 조성물의 중합성 화합물(a) 중, 2개 이상의 중합성 관능기와 방향족기를 동시에 갖는 화합물의 함량 조건을 찾는 것이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 3에서 '2개 이상의 중합성 관능기 및 방향족기를 갖는다관능중합성화합물'에 대한 함량 조건이 언급되어 있다.

    • 상기(a) 중합성 화합물의 20질량% 이상은 분자 중에 2개 이상의 중합성 관능기 및 방향족기를 갖는다관능중합성화합물인것을특징으로 하는임프린트용 경화성 조성물.
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에서 요구하는 '2개 이상의 중합성 관능기'와 '방향족기'를 모두 포함하는 조건을 명시한 청구항 3의 구절을 선택한다.

    • 상기(a) 중합성 화합물의 20질량% 이상은 분자 중에 2개 이상의 중합성 관능기 및 방향족기를 갖는다관능중합성화합물
  4. 4논리 통합logical_integration

    청구항 3에 따르면, 해당 화합물의 함량은 중합성 화합물(a)의 20질량% 이상이어야 함을 알 수 있다.

    • 상기(a) 중합성 화합물의 20질량% 이상은 분자 중에 2개 이상의 중합성 관능기 및 방향족기를 갖는다관능중합성화합물
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에 대한 답변으로 '상기 (a) 중합성 화합물의 20질량% 이상'이라는 조건을 도출한다.

    • 상기(a) 중합성 화합물의 20질량% 이상은 분자 중에 2개 이상의 중합성 관능기 및 방향족기를 갖는다관능중합성화합물
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 함량 조건을 바탕으로 최종 답변을 작성한다.

    • 상기(a) 중합성 화합물의 20질량% 이상은 분자 중에 2개 이상의 중합성 관능기 및 방향족기를 갖는다관능중합성화합물
최종 답변 (final_answer)
상기 (a) 중합성 화합물의 20질량% 이상
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 임프린트용 경화성 조성물 내에서 특정 관능기(2개 이상의 중합성 관능기)와 방향족기를 동시에 보유한 중합성 화합물의 함량을 조절하여 조성물의 특성을 정의한다.