문맥 (context)
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,필드에 관한 필드 스크라이브를 더 포함하고, 각 필드 스크라이브의 적어도 하나의 측면은 코너 등록 마크들 및 상기 코너 등록 마크들 사이의 중간 등록 마크들 모두를 포함하고, 하나의 필드의 상기 코너 등록 마크들 및 중간 등록 마크들의 서브-세트는 다른 이웃하는 필드의 상기 코너 등록 마크들 및 중간 등록 마크들의 서브-세트정렬하는반도체 웨이퍼.
[청구항 9]
제 7 항에 있어서,상기 웨이퍼는 그 위에 형성된 하나의 다이 타입갖는반도체 웨이퍼.
[청구항 10]
제 7 항에 있어서,상기 웨이퍼는 웨이퍼 사이즈 및 필드 사이즈에서 상기 웨이퍼와 동일한 제 2 웨이퍼에 비해 보다 많은 수의 필드들을 갖고, 필드들의 로우들 및 컬럼들의 카테시안 그리드갖는반도체 웨이퍼.
[청구항 11]
제 7 항에 있어서,상기 복수의 로우들은서로 오프셋되는반도체 웨이퍼.
[청구항 12]
제 7 항에 있어서,상기 복수의 컬럼들은서로 오프셋되는반도체 웨이퍼.
[청구항 13]
제 7 항에 있어서,상기 그리드 전체에서 필드 사이즈일정한반도체 웨이퍼.
[청구항 14]
제 7 항에 있어서,웨이퍼는벌크 웨이퍼인반도체 웨이퍼.
[청구항 15]
제 7 항에 있어서,웨이퍼는 반도체 온 인슐레이터구성인반도체 웨이퍼.
[청구항 17]
제 16 항에 있어서,상기 복수의 로우들은서로 오프셋되는반도체 웨이퍼.
[청구항 18]
제 16 항에 있어서,상기 복수의 컬럼들은서로 오프셋되는반도체 웨이퍼.
[청구항 19]
제 16 항에 있어서,웨이퍼는벌크 웨이퍼인반도체 웨이퍼.
[청구항 20]
제 16 항에 있어서,웨이퍼는 반도체 온 인슐레이터구성인반도체 웨이퍼.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제7항을 인용하는 반도체 웨이퍼에서, 필드 스크라이브의 측면이 포함하는 등록 마크의 종류와 이를 통해 수행되는 정렬 대상은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제7항을 인용하는 청구항 8항을 바탕으로 필드 스크라이브 측면의 등록 마크 종류와 정렬 대상을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8항에서 필드 스크라이브의 측면이 포함하는 마크는 코너 등록 마크들과 중간 등록 마크들이며, 정렬 대상은 이웃하는 필드의 마크 서브-세트이다.
- 각 필드 스크라이브의 적어도 하나의 측면은 코너 등록 마크들 및 상기 코너 등록 마크들 사이의 중간 등록 마크들 모두를 포함하고, 하나의 필드의 상기 코너 등록 마크들 및 중간 등록 마크들의 서브-세트는 다른 이웃하는 필드의 상기 코너 등록 마크들 및 중간 등록 마크들의 서브-세트정렬하는
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 등록 마크의 종류와 정렬 동작에 관한 구절을 선택한다.
- 코너 등록 마크들 및 상기 코너 등록 마크들 사이의 중간 등록 마크들 모두를 포함하고, 하나의 필드의 상기 코너 등록 마크들 및 중간 등록 마크들의 서브-세트는 다른 이웃하는 필드의 상기 코너 등록 마크들 및 중간 등록 마크들의 서브-세트정렬하는
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4논리 통합
logical_integration등록 마크의 종류는 '코너 등록 마크들 및 중간 등록 마크들'이며, 이를 통해 '하나의 필드의 마크 서브-세트'를 '다른 이웃하는 필드의 마크 서브-세트'와 정렬한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구한 두 가지 요소(마크 종류, 정렬 대상)를 결합하여 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
등록 마크의 종류는 코너 등록 마크들 및 코너 등록 마크들 사이의 중간 등록 마크들이며, 이를 통해 수행되는 정렬 대상은 하나의 필드의 코너 등록 마크들 및 중간 등록 마크들의 서브-세트를 다른 이웃하는 필드의 코너 등록 마크들 및 중간 등록 마크들의 서브-세트와 정렬하는 것이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
필드 스크라이브 측면에 배치된 코너 및 중간 등록 마크들을 이용하여 인접한 필드 간의 마크 서브-세트를 정렬함으로써 웨이퍼의 정밀한 레이아웃을 구현하는 기술이다.