기판 반송 디바이스, 기판 반송 방법, 기판 지지 부재, 기판 유지 디바이스, 노광 장치, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 document_id 1020127016666

[청구항 1] 기판을 제 1 경로에서 반송함으로써 상기 기판을 소정의 기판 유지 디바이스로 반입하는 반입 디바이스; 및 기판을 상기 제 1 경로와는 상이한 제 2 경로에서 반송함으로써, 상기 기판 유지 디바이스에 의해 유지된 상기 기판을 상기 기판 유지 디바이스로부터 반출하는 반출 디바이스를 포함하는, 기판 반송 디바이스 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 반입 디바이스는 상기 기판을 상기 기판 유지 디바이스의 위에서부터 하강시킴으로써 상기 기판을 상기 기판 유지 디바이스로 반입하고, 상기 반출 디바이스는 상기 기판을 상기 기판 유지 디바이스에 대해 수평면에 평행한 1 축 방향의 일측으로 상대적으로 이동시킴으로써 상기 기판을 상기 기판 유지 디바이스반출하는,기판 반송 디바이스. [청구항 3] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 기판은 소정의 기판 지지 부재 상에 탑재된 상태에서상기반입디바이스및상기반출디바이스에의해반송되는,기판 반송 디바이스. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 반입 디바이스 및 상기 반출 디바이스 중 적어도 일방은, 상기 기판 지지 부재의 1 축 방향의 일단 측을 홀딩 (holding) 하는 제 1 홀딩 부재, 및 상기 기판 지지 부재의 타단 측을 홀딩하는 제 2 홀딩 부재를 포함하고, 상기 제 1 홀딩 부재 및 상기 제 2 홀딩 부재는 서로 상호연결되고공통액츄에이터에의해구동되는,기판 반송 디바이스. [청구항 5] 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 기판이 상기 반출 디바이스에 의해 상기 기판 유지 디바이스로부터 상기 기판 지지 부재와 함께 반출된 후에, 다른 기판이 상기 기판 지지 부재 상에 탑재되고,상기 반입 디바이스는 상기 다른 기판이 탑재된 상기 기판 지지 부재를 상기 기판 유지 디바이스반송하는,기판 반송 디바이스. [청구항 6] 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,기판 유지 디바이스를 더 포함하고,상기 기판 유지 디바이스는, 수평면에 평행한 유지 면을 갖는 유지 부재를 포함하고, 상기 유지 면 상에 기판탑재되는,기판 반송 디바이스. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 반입 디바이스는, 상기 기판 지지 부재로부터 상기 기판을 반송하고, 상기 기판 유지 디바이스의 상기 유지 면에 형성된 홈부 (groove section) 내로 상기 기판 지지 부재를 삽입함으로써 상기 기판 유지 디바이스 상으로 상기 기판탑재하는,기판 반송 디바이스. [청구항 8] 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 기판 지지 부재는, 수평면에 평행한 제 1 방향으로 연장되고 상기 수평면 내의 상기 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향으로 소정의 거리를 두고 배열된 복수의 바(bar)-형상 부재들로 이루어지고 상기 기판을 아래로부터 지지하는 지지부를 가지고, 상기 지지부는 상기 유지 면에 형성된 홈부 내수용되는,기판 반송 디바이스. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 기판 지지 부재는, 상기 복수의 바-형상 부재들의 길이 방향의 한쪽 단부들을 서로 연결하는 연결부더 갖는,기판 반송 디바이스. [청구항 10] 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 반입 디바이스는, 상기 기판 지지 부재를 상기 홈부 내로 삽입하는 동작과 함께, 상기 기판을 상기 기판 지지 부재로부터 상기 기판 유지 디바이스 상전달하는,기판 반송 디바이스. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 기판 지지 부재는, 상기 기판 유지 디바이스의 상기 유지 면 상에 상기 기판이 탑재된 상태에서 상기 기판의 하부 면분리되는,기판 반송 디바이스. [청구항 12] 제 8 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지부는, 상기 기판의 상기 제 2 방향에서의 일측 상의 영역을 지지하는 제 1 지지부, 및 상기 기판의 상기 제 2 방향에서의 타측 상의 영역을 지지하는 제 2 지지부를 포함하고,상기 반입 디바이스 및 상기 반출 디바이스 중 적어도 일방은, 상기 제 1 및 제 2 지지부들의 상기 제 1 방향에서의 위치들을 제어함으로써, 상기 수평면에 수직인 축 주위의 상기 기판의 위치제어하는,기판 반송 디바이스. [청구항 13] 제 8 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 지지 부재는, 상기 지지부에 의해 지지되는 상기 기판의 떨어짐을 방지하는 추락 방지 부재더 가지는,기판 반송 디바이스. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 추락 방지 부재는, 상기 바-형상 부재들로부터 상방으로 돌출한 복수의 돌출 부재들이루어진,기판 반송 디바이스. [청구항 15] 제 8 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지부는 상기 기판을 흡착에 의해 유지하는흡착부를갖는,기판 반송 디바이스. [청구항 16] 제 8 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,적어도 상기 지지부에, 광의 반사를 억제하기 위한 표면 처리적용되는,기판 반송 디바이스. [청구항 17] 제 8 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,적어도 상기 지지부에, 가스 방출의 발생을 억제하기 위한 표면 처리적용되는,기판 반송 디바이스. [청구항 18] 제 8 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 지지 부재는, 서로 인접한 상기 바-형상 부재들의, 길이 방향으로 중간 부분들의 상단부들 사이에 설치된 강성화 (stiffening) 부재더 갖는,기판 반송 디바이스. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,상기 강성화 부재는, 상기 기판 유지 디바이스의 상기 유지 면에 형성된 오목부수용되는,기판 반송 디바이스. [청구항 20] 제 8 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 지지 부재는, 상기 수평면에 평행하게 이동할 때 상기 지지부에 대해 수직 방향의 하방 리프트력 (lift force) 이 작용하게 하는 공기 힘 (air force) 부재더 갖는,기판 반송 디바이스. [청구항 21] 제 8 항 내지 제 20 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 지지 부재에서, 상기 기판을 외부 디바이스로부터 상기 지지부 상으로 전달하는 기판 전달 부재가, 서로 인접한 상기 바-형상부재들사이삽입될수있는,기판 반송 디바이스. [청구항 22] 제 8 항 내지 제 21 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반출 디바이스는, 상기 기판 지지 부재의 적어도 일부가 상기 홈부 내에 수용된 상태에서 상기 기판 지지 부재를 상기 기판 유지 디바이스에 대해 상대적으로 이동시킴으로써, 상기 기판 유지 디바이스로부터 상기 기판반출하는,기판 반송 디바이스. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,상기 기판 유지 디바이스는, 상기 홈부 내에 수용된 상기 기판 지지 부재를 아래로부터 지지하고 상기 기판 지지 부재를 상방으로 이동시킴으로써 상기 기판을 상기 유지 면으로부터 떨어지게 이동시키는 리프트 (lift) 디바이스를 가지며,상기 반출 디바이스는, 상기 리프트 디바이스에 의해 지지된 상기 기판 지지 부재를 상기 기판 유지 디바이스에 대해 상대적이동시키는,기판 반송 디바이스. [청구항 24] 제 23 항에 있어서,상기 리프트 디바이스는 상기 기판 지지 부재를 상기 제 2 경로 내로 안내하는가이드부를갖는,기판 반송 디바이스. [청구항 25] 제 23 항 또는 제 24 항에 있어서,상기 리프트 디바이스는 상기 유지 부재배열되는,기판 반송 디바이스. [청구항 26] 제 23 항 또는 제 24 항에 있어서,상기 기판 유지 디바이스는, 상기 유지 부재 아래에 배치되고 적어도 상기 수평면에 평행한 방향으로 소정 스트로크 (stroke) 들로 상기 유지 부재를 안내하는 스테이지 디바이스를 가지며,상기 리프트 디바이스는 상기 스테이지 디바이스배열되는,기판 반송 디바이스. [청구항 27] 제 26 항에 있어서,상기 수직 방향으로 관통하는 스루-홀 (through-hole) 이 상기 유지 부재에 형성되고,상기 리프트 디바이스의 일부가 상기 스루-홀통해삽입되는,기판 반송 디바이스. [청구항 28] 제 6 항 내지 제 27 항 중 어느 한 항에 있어서,복수의 기판 지지 부재들이 제공되고,상기 반출 디바이스가 반출 대상이 되는 기판을 상기 기판 지지 부재들 중 하나와 함께 상기 기판 유지 디바이스로부터 반출할 때, 상기 반입 디바이스는 반입 대상이 되는 기판을 지지하는 상기 기판 지지 부재들 중의 다른 하나를 상기 기판 유지 디바이스 위위치시키는,기판 반송 디바이스. [청구항 29] 노광 장치로서, 제 6 항 내지 제 28 항 중 어느 한 항에 기재된 기판 반송 디바이스; 및 에너지 빔을 이용하여 기판을 노광함으로써 상기 기판 유지 디바이스 상에 탑재된 상기 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 패턴 형성 디바이스를 포함하는, 노광 장치 [청구항 30] 노광 장치로서, 수평면에 평행한 유지 면을 갖는 유지 부재를 포함하는 기판 유지 디바이스로서, 상기 유지 면 상에 기판이 탑재되는, 상기 기판 유지 디바이스 기판을 제 1 경로에서 반송함으로써 상기 기판을 상기 기판 유지 디바이스로 반입하는 반입 디바이스 기판을 상기 제 1 경로와는 상이한 제 2 경로에서 반송함으로써, 상기 기판 유지 디바이스에 의해 유지된 상기 기판을 상기 기판 유지 디바이스로부터 반출하는 반출 디바이스; 및 에너지 빔으로 상기 기판 유지 디바이스 상에 유지된 상기 기판을 노광하는 노광 시스템을 포함하는, 노광 장치 [청구항 31] 제 30 항에 있어서,상기 반입 디바이스는 상기 기판을 상기 기판 유지 디바이스의 위에서부터 하강시킴으로써 상기 기판을 상기 기판 유지 디바이스로 반입하고, 상기 반출 디바이스는 상기 기판을 상기 기판 유지 디바이스에 대해 수평면에 평행한 1 축 방향의 일측으로 상대적으로 이동시킴으로써 상기 기판을 상기 기판 유지 디바이스반출하는,노광 장치. [청구항 32] 제 30 항 또는 제 31 항에 있어서,상기 기판은 소정의 기판 지지 부재 상에 탑재된 상태에서상기반입디바이스및상기반출디바이스에의해반송되는,노광 장치. [청구항 33] 제 32 항에 있어서,상기 기판이 상기 반출 디바이스에 의해 상기 기판 유지 디바이스로부터 상기 기판 지지 부재와 함께 반출된 후에, 다른 기판이 상기 기판 지지 부재 상에 탑재되고,상기 반입 디바이스는 상기 다른 기판이 탑재된 상기 기판 지지 부재를 상기 기판 유지 디바이스반송하는,노광 장치. [청구항 34] 제 32 항 또는 제 33 항에 있어서,상기 반입 디바이스는, 상기 기판 지지 부재로부터 상기 기판을 반송하고, 상기 기판 유지 디바이스의 상기 유지 면에 형성된 홈부 (groove section) 내로 상기 기판 지지 부재를 삽입함으로써 상기 기판 유지 디바이스 상에 상기 기판탑재하는,노광 장치. [청구항 35] 제 29 항 내지 제 34 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판은 평판 디스플레이 디바이스사용되는,노광 장치. [청구항 36] 제 29 항 내지 제 35 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판은 적어도 500mm 이상의 길이를 갖는 한 변갖는,노광 장치. [청구항 45] 기판 지지 부재로서, 수평면에 평행한 제 1 방향으로 연장되고 상기 수평면 내의 상기 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향으로 소정의 거리를 두고 배열된 복수의 바(bar)-형상 부재들로 이루어지고 기판을 아래로부터 지지하는 지지부; 및 상기 지지부에 연결되고, 소정의 반송 디바이스와 맞물릴 수 있는 맞물림부 (engagement section) 를 포함하고, 상기 기판 지지 부재는 상기 반송 디바이스에 의해, 상기 수평면에 평행한 기판 탑재 면을 갖는 기판 유지 디바이스로 상기 기판과 함께 반송되며, 상기 지지부의 적어도 일부는 상기 기판 탑재 면에 형성된 홈부 (groove section) 내에 수용되며, 상기 기판 지지 부재는 상기 기판 유지 디바이스에 대해 상기 제 1 방향의 일측으로 상대적으로 이동함으로써 상기 기판과 함께 상기 홈부의 내부로부터 제거되는, 기판 지지 부재 [청구항 46] 제 45 항에 있어서,상기 복수의 바-형상 부재들의, 상기 제 1 방향에서의 상기 일측 상의 단부들을 서로 연결하는 연결부더 포함하는,기판 지지 부재. [청구항 47] 제 45 항 또는 제 46 항에 있어서,상기 기판 지지 부재는, 상기 기판 유지 디바이스의 상기 홈부 내로 삽입되는 동작과 함께 상기 기판을 상기 기판 유지 디바이스전달하는,기판 지지 부재. [청구항 48] 제 45 항 내지 제 47 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 지지 부재는, 상기 기판 유지 디바이스의 상기 홈부 내에 삽입된 상태에서 상기 기판의 하부 면분리되는,기판 지지 부재. [청구항 49] 제 45 항 내지 제 48 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지부에 의해 지지되는 상기 기판의 떨어짐을 방지하는추락방지부를더 포함하는,기판 지지 부재. [청구항 50] 제 49 항에 있어서,상기 추락 방지부는, 상기 바-형상 부재들로부터 상방으로 돌출한 복수의 돌출 부재들이루어진,기판 지지 부재. [청구항 51] 제 45 항 내지 제 50 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지부는 상기 기판을 흡착에 의해 유지하는흡착부를갖는,기판 지지 부재. [청구항 52] 제 45 항 내지 제 51 항 중 어느 한 항에 있어서,적어도 상기 지지부에, 광의 반사를 억제하기 위한 표면 처리적용되는,기판 지지 부재. [청구항 53] 제 45 항 내지 제 52 항 중 어느 한 항에 있어서,적어도 상기 지지부에, 가스 방출의 발생을 억제하기 위한 표면 처리적용되는,기판 지지 부재. [청구항 54] 제 45 항 내지 제 53 항 중 어느 한 항에 있어서,서로 인접한 상기 바-형상 부재들의, 길이 방향으로 중간 부분들의 상단부들 사이에 설치된 강성화 (stiffening) 부재더 포함하는,기판 지지 부재. [청구항 55] 제 54 항에 있어서,상기 강성화 부재는, 상기 기판 유지 디바이스의 상기 기판 탑재 면에 형성된 오목부수용되는,기판 지지 부재. [청구항 56] 제 45 항 내지 제 55 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 지지 부재가 상기 수평면에 평행하게 이동할 때 상기 지지부에 대해 수직 방향의 하방 리프트력 (lift force) 이 작용하게 하는 공기 힘 (air force) 부재더 포함하는,기판 지지 부재. [청구항 57] 제 45 항 내지 제 56 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판을 외부 디바이스로부터 상기 지지부 상으로 전달하는 기판 전달 부재가, 서로 인접한 상기 바-형상부재들사이삽입될수있는,기판 지지 부재. [청구항 58] 제 45 항 내지 제 57 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 지지 부재는 상기 기판 유지 디바이스의 상기 홈부 내에 수용된 상태에서 상기 기판과 함께 소정의 노광 위치로 반송되고, 상기 노광 위치에서 상기 기판에 대해 노광 동작수행되는,기판 지지 부재. [청구항 60] 제 59 항에 있어서,상기 기판 지지 부재는, 상기 제 1 방향으로 연장되고 상기 수평면 내의 상기 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향으로 소정의 거리를 두고 배열된 복수의 바(bar)-형상 부재들을 가지며, 상기 복수의 바-형상 부재들을 이용하여 상기 기판을 아래로부터 지지하고,상기 복수의 바-형상 부재들은상기복수의홈부들내수용될수있는,기판 유지 디바이스. [청구항 61] 제 60 항에 있어서,상기 홈부들의 각각의 깊이는, 상기 유지 면 상에 상기 기판이 탑재된 상태에서 상기 기판과 상기 복수의 바-형상부재들분리되도록설정되는,기판 유지 디바이스. [청구항 62] 제 60 항 또는 제 61 항에 있어서,상기 유지 부재는, 상기 기판 지지 부재가 상기 제 1 방향의 일측으로 상대적으로 이동할 때 상기 복수의 바-형상 부재들을 상기 제 1 방향으로 안내하는 가이드 부재갖는,기판 유지 디바이스. [청구항 63] 제 62 항에 있어서,상기 가이드 부재는, 상기 바-형상 부재들이 상기 홈부들 내에 수용된 상태에서 상기 바-형상 부재들을 아래지지하는,기판 유지 디바이스. [청구항 64] 제 63 항에 있어서,상기 가이드 부재는 상기 바-형상 부재들을 미세한갭통해부상시키는,기판 유지 디바이스. [청구항 65] 제 63 항 또는 제 64 항에 있어서,상기 가이드 부재는 상기 바-형상부재들흡착에의해유지하는,기판 유지 디바이스. [청구항 66] 제 62 항 내지 제 65 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가이드 부재를 수직 방향으로 소정의 스트로크 (stroke) 들로 수직으로 이동시키는 리프트 (lift) 디바이스를 더 포함하고, 상기 리프트 디바이스에 의해, 상기 가이드 부재가 상승되고, 이에 의해, 상기 기판이 상기 유지 면이동되는,기판 유지 디바이스. [청구항 67] 제 66 항에 있어서,상기 유지 부재 아래에 배치되고, 상기 유지 부재를 적어도 상기 수평면에 평행한 방향으로 소정의 스트로크들로 가이드하는 스테이지 디바이스를 더 포함하고,상기 리프트 디바이스는 상기 스테이지 디바이스배열되는,기판 유지 디바이스. [청구항 68] 제 67 항에 있어서,상기 유지 부재에는, 상기 수직 방향으로 관통하는 스루-홀 (through-hole) 이 형성되고, 상기 리프트 디바이스의 일부가 상기 스루-홀통해삽입되는,기판 유지 디바이스. [청구항 69] 노광 장치로서, 제 59 항 내지 제 68 항 중 어느 한 항에 기재된 기판 유지 디바이스; 및 에너지 빔을 이용하여 기판을 노광함으로써 상기 기판 유지 디바이스 상에 탑재된 상기 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 패턴 형성 디바이스를 포함하는, 노광 장치 [청구항 71] 제 70 항에 있어서,상기 기판 지지 부재는, 상기 제 1 방향으로 연장되고 상기 수평면 내의 상기 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향으로 소정의 거리를 두고 배열된 복수의 바(bar)-형상 부재들을 가지며, 상기 복수의 바-형상 부재들을 이용하여 상기 기판을 아래로부터 지지하고,상기 복수의 바-형상 부재들은상기복수의홈부들내수용될수있는,노광 장치. [청구항 72] 제 70 항 또는 제 71 항에 있어서,상기 기판은 평판 디스플레이 디바이스사용되는,노광 장치. [청구항 73] 제 70 항 내지 제 72 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판은 적어도 500mm 이상의 길이를 갖는 한 변갖는,노광 장치. [청구항 81] 제 80 항에 있어서,상기 기판 지지 부재에 대한 상기 기판의 위치의 시프트의 상기 억제 또는 방지는, 상기 기판 지지 부재로상기기판을진공흡착함수행되는,노광 장치. [청구항 82] 제 80 항 또는 제 81 항에 있어서,상기 기판 지지 부재에 대한 상기 기판의 위치의 시프트의 상기 억제 또는 방지는, 복수의 고정부 (fixing section) 들로 상기 기판의 측면 측들로부터 상기 기판을 샌드위치수행되는,노광 장치. [청구항 83] 제 82 항에 있어서,상기 복수의 고정부들의 적어도 하나는가동인,노광 장치.