문맥 (context)
[청구항 15]
제 14 항에 있어서,기판 홀더와 적어도 하나의 플라즈마 전극 간의 간격을 변경하기 위해, 상관 관계를 변경하기 위한 수단은 상기 기판 홀더와 적어도 하나의 플라즈마 전극을 이동시키기 위한 이동 유닛을 구비하는,기판상에 유전체 층형성하기 위한장치.
[청구항 16]
제 14 항에 있어서,상기 상관 관계를 변경하기 위한 수단은 도전 재료로 이루어지고 플라즈마 전극과 기판 홀더 사이에 놓여 있는 격자, 그리고 상기 격자의 전기적인 초기 응력을 조절하기 위한 제어 유닛을 구비하는 기판상에 유전체 층형성하기 위한장치.
[청구항 17]
제 13 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,적어도 하나의 기판 홀더가 운송 경로를 따라 프로세스 챔버를 관통해서, 기판을 운송하기 위한 적어도 하나의 컨베이어 유닛을 구비하는, 기판상에 유전체 층형성하기 위한장치.
[청구항 18]
제 17 항에 있어서,적어도 부분적으로 기판 운송 경로에 대하여 상이한 간격으로 배치되는 다수의 플라즈마 전극이 제공되는,기판상에 유전체 층형성하기 위한장치.
[청구항 19]
제 18 항에 있어서,기판 운송 방향으로 전방에 놓인 적어도 하나의 플라즈마 전극은 기판 운송 방향으로 그 뒤에 놓인 플라즈마 전극보다 기판 운송 경로에 대하여 더 큰 간격을 갖는,기판상에 유전체 층형성하기 위한장치.
[청구항 20]
제 13 항 내지 제 19 항에 있어서,유전 층을 형성하는 동안에 적어도 하나의 플라즈마 전극과 기판을 위한 수용 영역 사이의 간격을 제어하고 그리고 플라즈마 전극에 공급되는 에너지, 공정 가스의 압력 및/또는 조성, 플라즈마와 무관한 적어도 하나의 열원을 통해서 사전에 결정된 온도로 가열되는 기판 온도와 같은 프로세스 파라미터들 중에 적어도 하나의 추가 프로세스 파라미터를 제어하기 위한 적어도 하나의 제어 유닛을 구비하는,기판상에 유전체 층형성하기 위한장치.
[청구항 21]
제 13 항 내지 제 20 항 중 어느 한 항에 있어서,적어도 하나의 플라즈마 전극이 마이크로파 어플리케이터 및/또는 적어도 하나의 hf-전극을 구비하는,기판상에 유전체 층형성하기 위한장치.
[청구항 22]
제 13 항 내지 제 21 항 중 어느 한 항에 있어서,적어도 하나의 플라즈마 전극과 기판을 위한 수용 영역 사이에 적어도 하나의 격자가 제공되고, 상기 격자는 상기 기판을 위한 수용 영역으로의 전자 흐름에 영향을 미치기에 적합한,기판상에 유전체 층형성하기 위한장치.
[청구항 23]
제 13 항 내지 제 22 항 중 어느 한 항에 있어서,프로세스 챔버 내부에서 기판을 가열하기 위한 적어도 하나의 가열 유닛을 구비하며, 이때 상기 적어도 하나의 가열 유닛은 기판을 위한 수용 영역이 상기 적어도 하나의 플라즈마 전극과 상기 적어도 하나의 가열 유닛 사이에 놓이도록 배치된,기판상에 유전체 층형성하기 위한장치.
[청구항 24]
제 14 항에 있어서,기판을 위한 수용 영역과 상기 적어도 하나의 가열 유닛의 간격을 변경하기 위한 수단을 구비하는,기판상에 유전체 층형성하기 위한장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 구성요소 사이의 연결 및 상호작용을 분석하여 질문에 답하라. 문맥에 제시된 표현을 중심으로 답하라.
질문 (question)
기판상에 유전체 층을 형성하기 위한 장치에서, 기판 운송 방향에 따라 배치된 다수의 플라즈마 전극들의 간격은 어떠한 관계를 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판 운송 방향에 따른 다수의 플라즈마 전극들 사이의 간격 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 18과 19에서 플라즈마 전극의 배치 및 간격에 관한 정보를 추출한다.
- 적어도 부분적으로 기판 운송 경로에 대하여 상이한 간격으로 배치되는 다수의 플라즈마 전극, 기판 운송 방향으로 전방에 놓인 적어도 하나의 플라즈마 전극은 기판 운송 방향으로 그 뒤에 놓인 플라즈마 전극보다 기판 운송 경로에 대하여 더 큰 간격을 갖는
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3근거 선택
evidence_selection전극 간의 간격 관계를 직접적으로 설명하는 청구항 19의 구절을 선택한다.
- 기판 운송 방향으로 전방에 놓인 적어도 하나의 플라즈마 전극은 기판 운송 방향으로 그 뒤에 놓인 플라즈마 전극보다 기판 운송 경로에 대하여 더 큰 간격을 갖는
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4논리 통합
logical_integration전방에 위치한 전극이 후방에 위치한 전극보다 기판 운송 경로에 대해 더 큰 간격을 가진다는 관계를 도출한다.
- 기판 운송 방향으로 전방에 놓인 적어도 하나의 플라즈마 전극은 기판 운송 방향으로 그 뒤에 놓인 플라즈마 전극보다 기판 운송 경로에 대하여 더 큰 간격을 갖는
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5결론 도출
conclusion_formulation기판 운송 방향의 전방 전극이 후방 전극보다 더 큰 간격을 갖는다는 결론을 내린다.
- 기판 운송 방향으로 전방에 놓인 적어도 하나의 플라즈마 전극은 기판 운송 방향으로 그 뒤에 놓인 플라즈마 전극보다 기판 운송 경로에 대하여 더 큰 간격을 갖는
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 문구로 답변을 생성한다.
- 기판 운송 방향으로 전방에 놓인 적어도 하나의 플라즈마 전극은 기판 운송 방향으로 그 뒤에 놓인 플라즈마 전극보다 기판 운송 경로에 대하여 더 큰 간격을 갖는
최종 답변 (final_answer)
기판 운송 방향으로 전방에 놓인 적어도 하나의 플라즈마 전극은 기판 운송 방향으로 그 뒤에 놓인 플라즈마 전극보다 기판 운송 경로에 대하여 더 큰 간격을 갖는다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 운송 경로를 따라 배치된 플라즈마 전극들의 간격을 위치에 따라 다르게 설정하여, 전방 전극이 후방 전극보다 더 큰 간격을 갖도록 구성하는 기술적 특징을 포함한다.