기판 보유지지구 및 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치 document_id 1020127020462

[청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 돌기부에 스프링 부재갖는기판 보유지지구. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 스프링 부재는, 상기 반송체의 재치면에 대하여 수직인 방향으로 탄성적으로변형가능하게부착되는기판 보유지지구. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 스프링 부재 중 적어도 기단부(基端部)는, 상기 패드 본체 중있는기판 보유지지구. [청구항 6] 제3항에 있어서,상기 돌기부가, 상기 스프링 부재의 상단부를 덮는 캡부갖는기판 보유지지구. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 캡부는, 상기 스프링 부재의 중간부를 덮는 통부갖는기판 보유지지구. [청구항 8] 제6항에 있어서,상기 캡부는수지로 이루어지는기판 보유지지구. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 캡부는, 도전체로 이루어지고, 전기적접지되는기판 보유지지구. [청구항 10] 제6항에 있어서,상기 패드 본체에, 상기 캡부를 상기 반송체의 재치면에 대하여 수직인 방향으로 안내하기 위한 통 형상 안내부가설치되어 있는기판 보유지지구. [청구항 11] 제6항에 있어서,상기 캡부는, 상기 반송체의 재치면에 대하여 평행한 방향으로변위가능하게설치되어 있는기판 보유지지구. [청구항 12] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 패드 본체가, 상기 반송체의 재치면에 형성되어 있는 오목부의 안부착되는기판 보유지지구. [청구항 13] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 패드 본체가, 상기 반송체일체 형성되어 있는기판 보유지지구. [청구항 14] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 패드 본체 상에서, 정점(頂点)이 상기 반송체 전체의 재치면 중심점을 향하는 v자의 라인 상에 상기 돌기부를 일정한 간격으로 복수배치하는기판 보유지지구. [청구항 15] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 돌기부가 잔디 형상 또는 소박편(小薄片) 형상형성되어 있는기판 보유지지구. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 돌기부가 비늘 형상형성되어 있는기판 보유지지구. [청구항 17] 제15항에 있어서,상기 돌기부의 선단부(先端部)는, 상기 반송체의 재치면과 직교하는방향기울어져있는기판 보유지지구. [청구항 18] 제15항에 있어서,상기 돌기부는, 그의 선단부가 상기 반송체에 올려놓여지는 상기 기판의 윤곽의 내측형성되어 있는기판 보유지지구. [청구항 19] 제15항에 있어서,상기 돌기부의 탄성은, 상기 기판으로부터 받는 힘에 대하여, 상기 기판의 판면과 수직인 방향에 있어서의 탄성률보다도 상기 기판의 판면평행한방향에 있어서의 탄성률 쪽이 큰 기판 보유지지구. [청구항 20] 제15항에 있어서,상기 돌기부의 기부(基部)가 상기 패드 본체있는기판 보유지지구. [청구항 21] 제15항에 있어서,상기 돌기부가, 상기 패드 본체와 일체 성형형성되어 있는기판 보유지지구. [청구항 22] 제15항에 있어서,상기 돌기부가 고무 형상탄성체로 이루어지는기판 보유지지구. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 돌기부가 불소고무로 이루어지는기판 보유지지구. [청구항 24] 제15항에 있어서,상기 돌기부가nan수지로 이루어지는기판 보유지지구. [청구항 25] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기판의 이면과 접촉하는 상기 돌기부의 탄성 변위에 의해 상기 기판가라앉는깊이는 상기 기판의 두께보다도 작은 기판 보유지지구. [청구항 26] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 패드 본체는, 상기 기판의 주연부를 보유지지할 때에, 상기 복수의 돌기부의 일부가 상기 기판의 아래에 숨고, 상기 복수의 돌기부의 나머지는 상기 기판의 밖으로 노출되도록, 상기 반송체의 소정의 개소배치되는기판 보유지지구. [청구항 28] 제27항에 있어서,상기 반송 아암은, 수평면 내에서 선회 운동할 수 있음과 함께, 선회원의 반경과 평행한 방향에서진퇴이동할수구성되어 있는기판 반송 장치. [청구항 29] 제27항에 있어서,상기 기판 보유지지구는,상기반송아암착탈가능하게부착되는기판 반송 장치. [청구항 31] 제30항에 있어서,상기 기판 보유지지구는,상기반송아암착탈가능하게부착되는기판 처리 장치.