ＲＦ 에너지가 중심에 공급되는 물리적 기상 증착용 장치 document_id 1020127027934

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 본체는 상기 rf 에너지가 상기 소스 분배 플레이트에 실질적으로 균일하게 제공되도록 상기 공급 구조체의 둘레 주위에 상기 rf 에너지를 분배하기에 충분한 길이갖는공급 구조체. [청구항 4] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 부재는,상기 제1 요소로부터 연장되는 하나 또는 복수의 외팔보 아암들로서, 각각의 외팔보 아암에 상기 하나 또는 복수의 단자들 중 하나의 단자가 배치되는, 하나 또는 복수의 외팔보 아암들과, 그리고상기 제1 요소에 배치되는 하나 또는 복수의 슬롯들을 더 포함하고,상기 하나 또는 복수의 슬롯들 중 적어도 하나의 슬롯은 상기 본체와 상기 하나 또는 복수의 단자들 중 적어도 하나의 단자 사이에 배치되어, 상기 하나 또는 복수의 슬롯들 주위에서 상기 적어도 하나의 단자로부터 상기 본체로 에너지지향시키는공급 구조체. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 하나 또는 복수의 외팔보아암들은,2개 또는 그 초과의 외팔보 아암들을 더 포함하고, 상기 2개 또는 그 초과의 외팔보 아암들은 상기 제1 요소 주위에 대칭적배치되는공급 구조체. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 하나 또는 복수의 슬롯들은 단일 슬롯으로 이루어지고, 상기 단일 슬롯은 180도 내지 360도 미만의 호 길이갖는공급 구조체. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 하나 또는 복수의 외팔보아암들은 상기 제1 요소로부터 연장되는 하나의 외팔보 아암으로 이루어지고, 상기 단자는 상기 제1 요소에 대향하는 상기 하나의 외팔보 아암의 단부배치되는공급 구조체. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 본체는 상기 rf 에너지가 상기 소스 분배 플레이트에 실질적으로 균일하게 제공되도록 상기 본체의 둘레 주위에 상기 rf 에너지를 분배하기에 충분한 길이갖는물리적 기상 증착용 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 본체의 길이 대 상기 본체의 외경의 비인물리적 기상 증착용 장치. [청구항 11] 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,자석 및 상기 자석을 상기 타겟의 배면 근처에서 회전시키기 위한 샤프트를 포함하는 회전 마그네트론 조립체를 더 포함하고, 상기 샤프트는 상기 타겟으로부터 직교하는 방향으로 연장되는 중심 축선에 대해 동축을 이루고, 상기 샤프트는 상기 본체의 상기 중심 개구와 상기 소스 분배 플레이트를 관통하여 배치되는대응구멍관통하여배치되는물리적 기상 증착용 장치. [청구항 12] 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 부재는,상기 제1 요소로부터 연장되는 하나 또는 복수의 외팔보 아암들로서, 상기 하나 또는 복수의 단자들 중 하나의 단자가 상기 하나 또는 복수의 외팔보 아암들 중 각각의 외팔보 아암에 배치되는, 상기 하나 또는 복수의 외팔보 아암들과, 그리고상기 제1 요소에 배치되는 하나 또는 복수의 슬롯들을 더 포함하고,상기 하나 또는 복수의 슬롯들 중 적어도 하나의 슬롯은 상기 본체와 상기 하나 또는 복수의 단자들 중 적어도 하나의 단자 사이에 배치되어, 상기 하나 또는 복수의 슬롯들 주위에서, 상기 적어도 하나의 단자로부터 상기 본체로 에너지지향시키는물리적 기상 증착용 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 하나 또는 복수의 외팔보아암들은,2개 또는 그 초과의 외팔보 아암들을 더 포함하고, 상기 2개 또는 그 초과의 외팔보 아암들은 상기 제1 요소 주위에 대칭적배치되는물리적 기상 증착용 장치. [청구항 14] 제12항에 있어서,상기 하나 또는 복수의 슬롯들은 단일 슬롯으로 이루어지고, 상기 단일 슬롯은 180도 내지 360도 미만의 호 길이갖는물리적 기상 증착용 장치. [청구항 15] 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,에너지를 제공하기 위한 dc 전력 소스를 더 포함하고, 상기 dc 전력 소스는상기제1 부재의상기하나또는복수의단자들중하나의단자통해결합되는물리적 기상 증착용 장치.