문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 층은 상기 제 1 가스 및 상기 제 2 가스를 상기 내부 영역의 외부로 전달하는 배기 채널을 규정하고,상기 내부 영역은 타원형인,퍼지 링.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 제 1 배플은 상기 제 2 배플에 인접하게 위치되고,상기 제 1 배플 및 상기 제 2 배플은 상기 내부 영역의 둘레에 180 보다 크게 배열되고, 상기 배기 채널은 상기 내부 영역의 둘레배열되는,퍼지 링.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기 제 1 배플은 상기 제 1 층을 포함하는 제 1 평면에 대해 소정 각도로 상기 가스하는,퍼지 링.
[청구항 5]
제 2 항에 있어서,상기 제 1 배플 및 상기 제 2 배플은 상기 제 1 층을 포함하는 제 1 평면에 대해 각각 제 1 각도 및 제 2 각도로 상기 제 1 가스 및 상기 제 2 가스하는,퍼지 링.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 가스는 퍼지가스인,퍼지 링.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 퍼지 가스는 아르곤, 산소 및 질소를 포함하는 그룹선택되는,퍼지 링.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 제 2 가스는 클리닝가스인,퍼지 링.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 클리닝 가스는 원격 플라즈마 클리닝 (remote plasma cleaning: rpc) 가스포함하는,퍼지 링.
[청구항 10]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 가스는 퍼지 가스이고,상기 제 2 가스는 클리닝 가스이고,상기 제 2 배플의 상기 제 1 폭은 상기 제 1 배플의 상기 제 2 폭적어도 2 배인,퍼지링.
[청구항 11]
제 1 항에 있어서,상기 제 3 층은 상기 제 2 층과 상기 제 3 층 사이에 배열된 라이너더 포함하는,퍼지 링.
[청구항 12]
제 2 항에 있어서,상기 제 1 층, 상기 제 2 층 및 상기 제 3 층 중 적어도 하나는 상기 배기 채널에 배열된 히터포함하는,퍼지 링.
[청구항 13]
제 1 항에 있어서,상기 제 3 층은 상기 제 1 층 및 상기 제 2 층 중 적어도 하나에 탈착 가능하게 부착되어, 선택적으로, 상기 제 3 층이 제거될 때 제한 없이 상기 제 2 가스하는,퍼지 링.
[청구항 15]
제 14 항에 있어서,상기 램프는 자외선램프인,광자 온도 프로세싱 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
퍼지 링의 제 1 층에 형성된 배기 채널의 형상과 해당 채널이 수행하는 기능은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation퍼지 링의 제 1 층에 형성된 배기 채널의 형상과 그 기능을 추출하는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 제 1 층이 배기 채널을 규정하며, 내부 영역이 타원형이라는 점과 가스를 외부로 전달한다는 기능을 확인한다.
- 상기 제 1 층은 상기 제 1 가스 및 상기 제 2 가스를 상기 내부 영역의 외부로 전달하는 배기 채널을 규정하고,상기 내부 영역은 타원형인
-
3근거 선택
evidence_selection배기 채널의 형상(내부 영역의 타원형)과 기능(제 1 가스 및 제 2 가스를 내부 영역의 외부로 전달)에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 제 1 층은 상기 제 1 가스 및 상기 제 2 가스를 상기 내부 영역의 외부로 전달하는 배기 채널을 규정하고,상기 내부 영역은 타원형인
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4논리 통합
logical_integration배기 채널이 규정하는 내부 영역이 타원형이므로 채널의 형상은 타원형이며, 기능은 가스를 외부로 전달하는 것이다.
- 상기 제 1 층은 상기 제 1 가스 및 상기 제 2 가스를 상기 내부 영역의 외부로 전달하는 배기 채널을 규정하고,상기 내부 영역은 타원형인
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5결론 도출
conclusion_formulation배기 채널의 형상은 타원형이며, 기능은 제 1 가스 및 제 2 가스를 내부 영역의 외부로 전달하는 것이다.
- 상기 제 1 층은 상기 제 1 가스 및 상기 제 2 가스를 상기 내부 영역의 외부로 전달하는 배기 채널을 규정하고,상기 내부 영역은 타원형인
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
- 상기 제 1 층은 상기 제 1 가스 및 상기 제 2 가스를 상기 내부 영역의 외부로 전달하는 배기 채널을 규정하고,상기 내부 영역은 타원형인
최종 답변 (final_answer)
배기 채널의 형상은 타원형인 내부 영역을 규정하며, 기능은 상기 제 1 가스 및 상기 제 2 가스를 상기 내부 영역의 외부로 전달하는 것이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
퍼지 링의 제 1 층에 형성된 타원형 내부 영역의 배기 채널을 통해 제 1 가스와 제 2 가스를 외부로 배출하는 구조를 정의함.