문맥 (context)
[청구항 1]
외부와 밀폐되게 형성되며, 내부의 압력을 측정하는 압력스위치가 구비되는 챔버
메인 공급 밸브에 연결되는 리저버 탱크, 상기 리저버 탱크에 연결되는 다수개의 공급 조절 밸브 및 상기 공급 조절 밸브들에 연결되고 상기 챔버의 일측에 연결되는 가스 분배기를 포함하며, 상기 챔버 내부로 특정한 가스를 공급하는 가스 공급부
상기 챔버의 타측에 연결되는 배기 영역, 상기 배기 영역에 연결되는 다수개의 배기 조절 밸브, 상기 배기 조절 밸브에 연결되는 배기 매니폴드, 상기 배기 매니폴드에 연결되는 메인 배기 밸브 및 상기 메인 배기 밸브에 연결되는 가스 배기 수단을 포함하며, 상기 챔버 내부의 가스를 배기하는 가스 배기부; 및
상기 압력스위치, 상기 다수개의 공급 조절 밸브 및 상기 다수개의 배기 조절 밸브에 연결되어 가스의 공급 및 배출을 제어하되, 상기 압력스위치에서 측정되는 압력에 따라 상기 공급 조절 밸브들 또는 상기 다수개의 배기 조절 밸브들을 순차적으로 개폐하여 상기 챔버 내부의 압력을 조절하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 치환 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 챔버는 특정압력 이상 및 이하일 때 개방되는저압릴리프밸브형성되는것을특징으로 하는가스 치환 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 가스 공급부는 메인 공급 밸브 전단에 압력조절을 위한 메인 레귤레이터가 설치되며, 상기 다수개의 공급 조절 밸브 전단에각각서브 레귤레이터설치되는것을특징으로 하는가스 치환 장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 리저버 탱크에는 특정압력 이상일 때 개방되는고압릴리프밸브형성되는것을특징으로 하는가스 치환 장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 가스 분배기는 상기 챔버의 일면 전체에 연결되도록결합되는것을특징으로 하는가스 치환 장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 가스 분배기는 내부에다층의다공판또는헤파필터구비되는것을특징으로 하는가스 치환 장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 가스 배기부의 배기 영역은 상기 챔버의 타면 전체에 연결되도록결합되는것을특징으로 하는가스 치환 장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 배기 매니폴드는 일측에 배기 가스 내의 산소 함량을 측정하는 산소 센서 또는 수분 함량을 측정하는수분센서설치되는것을특징으로 하는가스 치환 장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 챔버 내부로 유동되는 가스의 흐름이 층류 유동이 되도록, 가스의 공급량, 배기량,유속및공급압력선정되는것을특징으로 하는가스 치환 장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 챔버에 연결되어 챔버 내부의 가스에 포함된 특정 성분을 제거하는가스 정제 장치더포함하는것을특징으로 하는가스 치환 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
가스 치환 장치의 제어부는 챔버 내부의 압력을 조절하기 위해 어떤 구성 요소들의 상태를 확인하며, 이를 통해 무엇을 제어하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation가스 치환 장치의 제어부가 압력 조절을 위해 확인하는 구성 요소의 상태와 제어 대상을 찾는 것이다.
-
2정보 추출
information_extraction제어부는 압력스위치, 공급 조절 밸브, 배기 조절 밸브에 연결되어 있으며, 압력스위치의 측정값에 따라 밸브들을 제어한다.
- 상기 압력스위치, 상기 다수개의 공급 조절 밸브 및 상기 다수개의 배기 조절 밸브에 연결되어 가스의 공급 및 배출을 제어하되, 상기 압력스위치에서 측정되는 압력에 따라 상기 공급 조절 밸브들 또는 상기 다수개의 배기 조절 밸브들을 순차적으로 개폐하여 상기 챔버 내부의 압력을 조절하는 제어부
-
3근거 선택
evidence_selection제어부가 확인하는 상태(압력스위치의 압력)와 제어하는 대상(공급 조절 밸브들 또는 배기 조절 밸브들)에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 압력스위치에서 측정되는 압력에 따라 상기 공급 조절 밸브들 또는 상기 다수개의 배기 조절 밸브들을 순차적으로 개폐하여 상기 챔버 내부의 압력을 조절하는 제어부
-
4논리 통합
logical_integration제어부는 압력스위치에서 측정되는 압력 상태를 확인하고, 이를 바탕으로 공급 조절 밸브 또는 배기 조절 밸브를 개폐함으로써 챔버 내부 압력을 조절한다.
- 상기 압력스위치에서 측정되는 압력에 따라 상기 공급 조절 밸브들 또는 상기 다수개의 배기 조절 밸브들을 순차적으로 개폐하여 상기 챔버 내부의 압력을 조절하는 제어부
-
5결론 도출
conclusion_formulation제어부는 압력스위치에서 측정되는 압력을 확인하며, 이를 통해 공급 조절 밸브들 또는 배기 조절 밸브들을 순차적으로 개폐하여 챔버 내부의 압력을 제어한다.
- 상기 압력스위치에서 측정되는 압력에 따라 상기 공급 조절 밸브들 또는 상기 다수개의 배기 조절 밸브들을 순차적으로 개폐하여 상기 챔버 내부의 압력을 조절하는 제어부
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 답변을 구성한다.
- 상기 압력스위치에서 측정되는 압력에 따라 상기 공급 조절 밸브들 또는 상기 다수개의 배기 조절 밸브들을 순차적으로 개폐하여 상기 챔버 내부의 압력을 조절하는 제어부
최종 답변 (final_answer)
압력스위치에서 측정되는 압력을 확인하며, 이를 통해 상기 공급 조절 밸브들 또는 상기 다수개의 배기 조절 밸브들을 순차적으로 개폐하여 상기 챔버 내부의 압력을 제어한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 압력스위치를 통해 측정된 챔버 내부의 압력 상태에 따라 공급 및 배기 조절 밸브를 순차적으로 제어함으로써 챔버 내 압력을 정밀하게 조절하는 기술에 관한 것이다.