문맥 (context)
[청구항 1]
체적 음향 공진기들을 포함하고,
상기 체적 음향 공진기들은 직렬로 연결된 제1 체적 음향 공진기들 및 병렬로 연결된 제2 체적 음향 공진기들 중 적어도 하나
를 포함하는 무선 주파수 필터
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 체적 음향 공진기들각각은제1 기판;상기 제1 기판의 상부에 위치하는 공기 공동;상기 공기 공동의 상부에 위치하는 멤브레인;상기 멤브레인의 상부에 위치하는 제1 전극;상기 제1 전극의 상부에 위치하는 압전층; 및상기 압전층의 상부에 위치하는 제2 전극포함하는무선 주파수 필터.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 체적 음향 공진기들각각은상기 제1 전극, 상기 압전층 및 상기 제2 전극의 온도계수를 보상하는 온도계수 보상층더 포함하는무선 주파수 필터.
[청구항 4]
제2항에 있어서,상기 체적 음향 공진기들각각은상기 제2 전극의 상부에 위치하여, 상기 제2 전극을 외부 환경으로부터 보호하는 보호층더 포함하는무선 주파수 필터.
[청구항 5]
제3항에 있어서,상기 온도계수 보상층은상기 압전층의 상부 및 상기 제2 전극 사이에 위치하고, 상기 온도계수 보상층의 면적은 상기 압전층 및 상기 제2 전극 중 적어도 하나의 면적보다 동일하거나 작은 면적가지는무선 주파수 필터.
[청구항 6]
제3항에 있어서,상기 온도계수 보상층은상기 압전층의 하부 및 상기 제1 전극 사이에 위치하고, 상기 온도계수 보상층의 면적은 상기 압전층 및 상기 제1 전극 중 적어도 하나의 면적보다 동일하거나 작은 면적가지는무선 주파수 필터.
[청구항 7]
제3항에 있어서,상기 온도계수 보상층은상기 제1 전극의 하부 및 상기 멤브레인 사이에 위치하고, 상기 온도계수 보상층의 면적은 상기 제1 전극 및 상기 멤브레인 중 적어도 하나의 면적보다 동일하거나 작은 면적가지는무선 주파수 필터.
[청구항 8]
제3항에 있어서,상기 온도계수 보상층은상기 제2 전극의 상부 및 보호층 사이에 위치하고, 상기 온도계수 보상층의 면적은 상기 압전층 및 상기 보호층 중 적어도 하나의 면적보다 동일하거나 작은 면적가지는무선 주파수 필터.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 제1 체적 음향 공진기들각각은상기 제1 체적 음향 공진기들 각각의 온도계수를 보상하는 온도계수 보상층포함하는무선 주파수 필터.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 제2 체적 음향 공진기들각각은상기 제2 체적 음향 공진기들 각각의 온도계수를 보상하는 온도계수 보상층포함하는무선 주파수 필터.
[청구항 11]
제1항에 있어서,상기 제1 체적 음향 공진기들 중 적어도 하나는상기 제1 체적 음향 공진기들 중 적어도 하나의 온도계수를 보상하는 온도계수 보상층포함하는무선 주파수 필터.
[청구항 12]
제1항에 있어서,상기 제2 체적 음향 공진기들 중 적어도 하나는상기 제2 체적 음향 공진기들 중 적어도 하나의 온도계수를 보상하는 온도계수 보상층포함하는무선 주파수 필터.
[청구항 13]
제2항에 있어서,하면의 소정 영역에 형성된 공기 공동을 포함하고, 상기 제1 기판과 접합되는 제2 기판더 포함하는무선 주파수 필터.
[청구항 14]
제1항에 있어서,상기 제1 체적 음향 공진기들 적어도 하나는 무선 주파수 필터의 대역폭에서 높은 대역의 온도변화에 따른 변화를 둔감하게 하기 위해 온도계수 보상층을 포함하고, 상기 제2 체적 음향 공진기들 중 적어도 하나는 상기 무선 주파수 필터의 대역폭에서 낮은 대역의 온도변화에 따른 변화를 둔감하게 하기 위해 온도계수 보상층포함하는무선 주파수 필터.
[청구항 15]
제3항에 있어서,상기 온도계수 보상층은실리콘 옥사이드 계열, 실리콘 나이트라이드 계열, 고분자, 탄소 소재, 금속 및 금속 산화물질 중 적어도 하나의 물질포함하는무선 주파수 필터.
[청구항 16]
제2항에 있어서,상기 제1 체적 음향 공진기들 각각의 제2 전극은 상기 제2 체적 음향 공진기들 각각의 제2 전극연결된무선 주파수 필터.
[청구항 17]
제2항에 있어서,상기 제1 체적 음향 공진기들 각각의 제2 전극은 상기 제2 체적 음향 공진기들 각각의 제1 전극연결된무선 주파수 필터.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
무선 주파수 필터 내의 제1 체적 음향 공진기들과 제2 체적 음향 공진기들이 각각 온도계수 보상층을 포함할 때, 각 공진기들의 보상층은 필터의 대역폭 중 어느 영역의 온도 변화에 대한 민감도를 조절하기 위한 것인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제1 체적 음향 공진기와 제2 체적 음향 공진기가 포함하는 온도계수 보상층이 필터 대역폭의 어느 영역에 대한 온도 변화 민감도를 조절하는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 14에서 제1 체적 음향 공진기와 제2 체적 음향 공진기의 온도계수 보상층의 기능이 각각 명시되어 있다.
- 상기 제1 체적 음향 공진기들 적어도 하나는 무선 주파수 필터의 대역폭에서 높은 대역의 온도변화에 따른 변화를 둔감하게 하기 위해 온도계수 보상층을 포함하고, 상기 제2 체적 음향 공진기들 중 적어도 하나는 상기 무선 주파수 필터의 대역폭에서 낮은 대역의 온도변화에 따른 변화를 둔감하게 하기 위해 온도계수 보상층포함하는
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3근거 선택
evidence_selection제1 체적 음향 공진기는 '높은 대역'의 온도 변화를, 제2 체적 음향 공진기는 '낮은 대역'의 온도 변화를 조절한다는 구절을 선택한다.
- 상기 제1 체적 음향 공진기들 적어도 하나는 무선 주파수 필터의 대역폭에서 높은 대역의 온도변화에 따른 변화를 둔감하게 하기 위해 온도계수 보상층을 포함하고, 상기 제2 체적 음향 공진기들 중 적어도 하나는 상기 무선 주파수 필터의 대역폭에서 낮은 대역의 온도변화에 따른 변화를 둔감하게 하기 위해 온도계수 보상층포함하는
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4논리 통합
logical_integration제1 공진기의 보상층은 높은 대역의 온도 민감도를 조절하고, 제2 공진기의 보상층은 낮은 대역의 온도 민감도를 조절함을 알 수 있다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 제1 공진기는 높은 대역, 제2 공진기는 낮은 대역의 온도 변화 민감도를 조절한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 구성한다.
최종 답변 (final_answer)
제1 체적 음향 공진기들의 보상층은 무선 주파수 필터의 대역폭 중 높은 대역의 온도 변화에 대한 민감도를 조절하고, 제2 체적 음향 공진기들의 보상층은 낮은 대역의 온도 변화에 대한 민감도를 조절한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제1 및 제2 체적 음향 공진기에 각각 온도계수 보상층을 적용함으로써, 무선 주파수 필터 대역폭의 높은 대역과 낮은 대역에 대한 온도 변화 민감도를 개별적으로 조절할 수 있다.