수직형 기판의 표면 처리 장치와 이것에 의해 제조된 처리물 document_id 1020130010904

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 기판은,상기 기판이송유닛에 수직으로 안착되는 평판 형태의 보드부; 및상기 보드부에 구비되어 상기 처리유닛에서 표면 처리되는 처리물이 종횡으로 배열 지지되는 기판지지부;를포함하는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 기판은,상기 기판이송유닛의 하부에 안착되는 제1가이드부;높이 방향으로 상기 제1가이드부에서 이격되어 상기 기판이송유닛의 상부에 안착되는 제2가이드부;상기 기판이송유닛의 동작에 따라 회전되도록 단부가 상기 제1가이드부와, 상기 제2가이드부에 회전 가능하게 결합되는 회전가이드부; 및상기 회전가이드부에 다단으로 구비되어 상기 처리유닛에서 표면 처리되는 처리물이 지지되는 회전지지부;를포함하는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 기판이송유닛의 동작에 따라 상기 회전가이드부를 회전시키는회전유닛더포함하는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 회전유닛은,상기 회전가이드부에 구비되는 회전기어부; 및상기 안착공간과 상기 버퍼공간과 상기 처리공간 중 적어도 상기 처리공간에 구비되어 상기 기판이송유닛의 동작에 따라 상기 회전기어부에 치합되는 가이드기어부;를포함하는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 버퍼유닛은,상기 기판이 수직으로 안착되는 상기 버퍼공간이 형성되는 버퍼하우징부;상기 버퍼공간이 감압되도록 흡입력을 제공하는 버퍼감압부; 및상기 버퍼공간과 상기 버퍼감압부를 연통시켜 상기 버퍼공간의 유체가 배출되는 경로를 형성하는 버퍼감압경로부;를포함하는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 버퍼유닛은,상기 버퍼하우징부와 상기 처리유닛 사이에서 상기 기판이 수직으로 안착되는 인덱싱공간이 형성되는 인덱싱하우징부; 를 더 포함하고,상기 버퍼감압경로부는,상기버퍼공간과상기인덱싱공간과상기버퍼감압부를상호연통시키는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 버퍼하우징부와 상기 인덱싱하우징부 사이에는,상기 버퍼공간과 상기 인덱싱공간의 연통 여부를 선택하는 밀폐도어부가구비되는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 처리유닛은,상기 기판이 수직으로 안착되는 상기 처리공간이 형성되는 처리하우징부;상기 처리공간의 유체가 배출되도록 흡입력을 제공하는 처리진공부; 및상기 처리공간에서 상기 기판을 표면 처리하는 처리모듈; 을 포함하고,상기 처리모듈은,상기 처리공간에서 상기 기판의 표면에 산화물 또는 유기물을 증착시키는 피이씨브이디(pecvd)모듈; 과, 상기 처리공간에서 상기 기판의 표면에 금속물 또는 투명 전극을 증착시키는 스퍼터링(sputtering)모듈; 중 적어도 어느하나포함하는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 처리모듈은,상기 증착에 따른 부착력이 향상되도록 상기 기판의 표면을 개질하는이온빔모듈더포함하는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 처리유닛은,상기 처리진공부의 일측에 구비되고, 상기 처리공간의 유체가 배출되도록 흡입력을 제공하는 처리완충부;를더포함하는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 13] 제1항 내지 제5항, 제7항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판이송유닛은,상기 안착유닛과, 상기 버퍼유닛과, 상기 처리유닛에 각각 구비되어 회전력을 제공하는 기판구동부;상기 기판구동부에 연결되어 상기 회전력을 전달하는 이송축부;상기 이송축부에 구비되어 상기 회전력으로 회전되는 이송롤부; 및상기 이송롤부에서 이격되어 상기 기판이 수직인 상태에서 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 이송가이드부;를포함하는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 14] 제1항 내지 제5항, 제7항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판의 표면 처리를 완료하고 배출되는 상기 기판을 초기 위치로 반송시키는기판반송유닛더포함하는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 기판반송유닛은,상기 기판의 반송 경로를 형성하는 반송경로부;상기 반송경로부에 구비되어 회전력을 제공하는 반송구동부;상기 반송경로부에 회전 가능하게 결합되어 상기 회전력을 전달하는 반송축부;상기 반송축부에 구비되어 상기 회전력으로 회전되는 반송롤부; 및상기 반송롤부에서 이격되어 상기 기판이 수직인 상태에서 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 반송가이드부;를포함하는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 16] 제1항 내지 제5항, 제7항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 안착공간과 상기 버퍼공간과 상기 처리공간 중적어도 어느 한 공간의 입구 또는 출구를 개폐시키는 밀폐도어부;를더포함하는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 밀폐도어부는,상기 입구 또는 상기 출구에 연통되는 연통공간이 형성되는 도어프레임부;상기 도어프레임부에 삽탈 가능하게 구비되어 상기 연통공간을 개폐하는 슬라이딩개폐부; 및상기 연통공간이 개폐되도록 상기 슬라이딩개폐부를 슬라이드 이동시키는 슬라이딩구동부;를포함하는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 18] 제16항에 있어서,상기 밀폐도어부는,상기 입구 또는 상기 출구에 연통되는 연통공간이 형성되는 고정프레임부;상기 고정프레임부에 회동 가능하게 구비되어 상기 연통공간을 개폐하는 회동개폐부; 및상기 연통공간이 개폐되도록 상기 회동개폐부를 회전시키는 회동구동부;를포함하는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 19] 제1항 내지 제5항, 제7항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 안착유닛과, 상기 버퍼유닛과, 상기 처리유닛 중 어느 하나를 픽업하여 탈부착시키는교체유닛더포함하는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치. [청구항 20] 제1항 내지 제5항, 제7항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 안착유닛과 상기 버퍼유닛은,상기 처리유닛의 양단부에 상호 대칭되도록배열되는것을특징으로 하는수직형 기판의 표면 처리 장치.