기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 기억 매체 document_id 1020130011079

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 센서부는, 4쌍 이상의 상기 광원부와 수광부를 구비하고,이 4쌍 이상의 광원부와 수광부가 사용 가능일 때에는, 이들 4쌍 이상의 광원부와 수광부에 의해 기판의 주연부의 각위치검출되는것을특징으로 하는,기판 반송 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 제어부는, 상기 제1 내지 제4 스텝으로 이루어지는 제1 모드를 실행하는 대신에,상기 제1 모듈로부터 수취한 기판을 보유 지지한 기판 보유 지지부를, 센서부에 대해 미리 설정된 제4 위치에 위치시켜 상기 기판의 주연부의 각 위치를 검출하는 스텝과,상기 스텝에서 검출한 주연부의 각 위치에 기초하여, 상기 이상 상태가 발생하고 있는지 여부를 판정하는 스텝과,상기 스텝에서 이상 상태가 발생하고 있지 않다고 판정된 경우에는, 상기 제4 위치에서 검출한 주연부의 각 위치에 기초하여 제2 모듈에 대한 기판 보유 지지부의 전달 위치를 결정하고, 이상 상태가 발생하고 있다고 판정된 경우에는, 기판 보유 지지부를 상기 제4 위치로부터 어긋난 제5 위치로 이동시켜 상기 기판의 주연부의 각 위치를 검출하고, 제4 위치 및 제5 위치에서 검출한 기판의 주연부의 각 위치에 기초하여, 상기 이상 상태로 되는 광원부와 수광부로 이루어지는 센서 쌍을 특정하고, 상기 센서 쌍에 의해 검출된 주연부의 위치 이외의 각 위치에 기초하여 상기 전달 위치를 결정하는 스텝으로 이루어지는제2모드실행하는것을특징으로 하는,기판 반송 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 제어부는, 상기 제2 모드 실행시에 상기 수광부의 검출 결과에 기초하여, 상기 광원부와 당해 광원부에 쌍으로 되는 수광부로 이루어지는 검출부가 사용 가능인지 사용 불가인지를 판정하고, 사용 가능인 상기 검출부가 3기로 되었을 때에 상기 제2 모드 대신에제1 모드실행하는것을특징으로 하는,기판 반송 장치. [청구항 5] 제3항 또는 제4항에 있어서,상기 제2 모드에서, 이상 상태로 되는 검출부의 특정은, 상기 제4 위치 및 제5 위치에서 각각 검출된 기판의 각 주연부의 위치로부터 연산되는 당해 기판의 중심 위치의 변위량과, 제4 위치 및 제5 위치에서 각각 검출된 기판의 각 주연부의 위치로부터 연산되는 기판의 직경의 크기에 기초하여 행해지는것을특징으로 하는,기판 반송 장치. [청구항 6] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제3 스텝에 있어서의 판정은, 상기 제1 위치에서 검출한 기판의 각 주연부의 위치로부터 연산되는 당해 기판의 중심 위치 및 직경의 크기와, 상기 제2 위치에서 검출한 기판의 각 주연부의 위치로부터 연산되는 기판의 중심 위치 및 직경의 크기에 기초하여 행해지는것을특징으로 하는,기판 반송 장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 제3 스텝에 있어서의 판정은, 상기 제1 위치에서 검출한 기판의 중심 위치와, 상기 제2 위치에서 검출한 기판의 중심 위치의 변위량에 기초하여 행해지는것을특징으로 하는,기판 반송 장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 기판의 주연부에는 절결부가 형성되고,상기 판정 스텝에 있어서 사용 가능한 센서 쌍이 3개라고 판정되었을 때,상기 제어부는,상기 검출 스텝으로서,상기 제1 모듈로부터 수취한 기판을 보유 지지한 기판 보유 지지부를, 상기 센서부에 대해 미리 설정된 제1 위치에 위치시켜 상기 기판의 주연부 각 위치를 검출하는 제1 스텝과,상기 기판 보유 지지부를 센서부에 대해 당해 제1 위치로부터 어긋난 제2 위치에 위치시켜 기판의 주연부의 각 위치를 검출하는 제2 스텝을 실행하고,상기 결정 스텝으로서,사용 가능이라고 판정된 센서 쌍으로부터 상기 제1 스텝 및 제2 스텝에서 각각 취득된 주연부의 위치에 기초하여, 상기 제2 모듈에 대한기판보유지지부의전달위치결정하는것을특징으로 하는,기판 반송 장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 결정 스텝은,상기 기판의 절결부에 광원부의 광 조사 영역이 위치하고 있는 상태를 이상 상태라 칭하는 것으로 하면, 상기 제1 스텝 및 제2 스텝의 각 검출 결과에 기초하여,a. 상기 제1 위치 및 제2 위치 중 어느 하나에서 이상 상태가 발생하고 있고, 상기 제1 위치 및 제2 위치 중 어느 쪽에서 이상 상태가 발생하였는지를 특정할 수 있음b. 상기 제1 위치 및 제2 위치 중 어느 것에 있어서도 이상 상태가 발생하고 있지 않음c. 상기 제1 위치 및 제2 위치의 양쪽에서 이상 상태가 발생하고 있음d. 상기 제1 위치 및 제2 위치 중 적어도 어느 하나에서 이상 상태가 발생하고 있지만, 그 위치를 특정할 수 없음중 어느 하나의 결과를 도출하는 제3 스텝과,상기 제3 스텝에 있어서의 결과가 a 또는 b일 때에는, 상기 제1 위치 및 제2 위치 중 이상 상태가 발생하고 있지 않은 위치에서 검출한 주연부의 각 위치에 기초하여 제2 모듈에 대한 기판 보유 지지부의 전달 위치를 결정하고, 또한 상기 결과가 c 또는 d일 때에는, 상기 기판의 절결부로부터 벗어난 위치에 광을 조사하기 위해, 상기 기판 보유 지지부를 센서부에 대해, 상기 제1 위치 및 제2 위치와 다른 제3 위치로 이동시켜 기판의 주연부의 각 위치를 검출하고, 당해 각 위치에 기초하여 상기 전달 위치를 결정하는제4스텝실행하는것을특징으로 하는,기판 반송 장치. [청구항 16] 제13항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,상기 판정 스텝에 있어서, 상기 센서 쌍이 사용 가능인지 사용 불가인지의 판정은, 상기 수광부가 수광하는 광량 혹은 수광하는 영역의 크기에 기초하여 행해지는것을특징으로 하는,기판 반송 장치.