문맥 (context)
[청구항 1]
파우더를 플라즈마 반응기(200)를 통해 플라즈마 처리하는 파우더 플라즈마 처리장치에 있어서,
공간 부피를 갖는 챔버(110), 상기 챔버(110) 공간에서 전원장치(120)로부터 인가되는 전원으로 플라즈마 를 생성하는 플라즈마 반응기(200)
나노 또는 마이크로 사이즈를 포함하는 다공성 필터로 구성된 상기 플라즈마 반응기(200)의 벽면전극(210)
상기 플라즈마 반응기(200), 또는 벽면전극(210)으로 파우더를 공급하는 파우더 공급수단(300); 및
상기 플라즈마 반응기(200), 또는 챔버(110) 안의 압력을 변동시키고 이로부터 벽면전극(210)에 파우더를 흡착, 플라즈마 처리하게 하는 흡착수단(400)
을 포함하는 파우더 플라즈마 처리장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 반응기(200)의 벽면전극(210)이다공질체또는다공성메구성된파우더 플라즈마 처리장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 반응기(200)의 벽면전극(210)은 표면적 전부를 흡착 영역으로 포함하거나, 또는 어느 한 부분 또는 그 이상의 부분을 비 흡착 영역포함하는파우더 플라즈마 처리장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 반응기(200)의 벽면전극(210)에 히터(220)가 내장되거나 일체화된 것 중 어느 하나이거나이들복합된것을모두 포함하는파우더 플라즈마 처리장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 반응기(200)의 벽면전극(210)과 챔버(110) 사이에 히터갖는파우더 플라즈마 처리 장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 파우더 공급수단(300)은,파우더 공급장치(100), 상기 파우더 공급장치(100)로부터 파우더를 플라즈마 반응기(200)로 보내도록 챔버(110)와 상통하고 피더 밸브(310)가 설치된 런너(320);상기 런너(320)에 설치된 히터포함하는파우더 플라즈마 처리장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 파우더 공급수단(300)은,상기 파우더 공급장치(100)로부터 공급되는 파우더가 부딪히는 충돌판포함하는파우더 플라즈마 처리장치.
[청구항 8]
제 6 항에 있어서,상기 파우더 런너(320)의 종단에 파우더가 부딪히는 충돌판설치된파우더 플라즈마 처리장치.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 파우더 흡착수단(400)은,상기 플라즈마 반응기(200) 내부 압력을 변동시켜 벽면전극(210)에 흡입 압력이 작용 되도록 압력을 전달하는 진공펌프(410);상기 진공펌프(410)의 펌핑 압력을 플라즈마 반응기(200)로 인가하거나 제어하는 진공펌프 밸브(420); 그리고 상기 플라즈마 반응기(200)와 진공펌프(410)를 연결하는 유로포함하는파우더 플라즈마 처리장치.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 유로(430)는 절연관으로 이루어지고, 전극관연결된파우더 플라즈마 처리장치.
[청구항 11]
제 9 항에 있어서,상기 유로(430)에 역 압력을 가하여 플라즈마 반응기(200) 내부 진공을 해제하는 역 압력 밸브포함하는파우더 플라즈마 처리장치.
[청구항 12]
제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 반응기(200)에 파우더 수집부(500)가일체화되어연결된파우더 플라즈마 처리장치.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 플라즈마 반응기(200)와 파우더 수집부(500) 사이에 개폐 밸브설치된파우더 플라즈마 처리장치.
[청구항 14]
제 9 항 내지 12 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 파우더 수집부(500)에는 벤트 가스가 유입되는 벤트 가스 유로(520)가 연결되고 그 벤트 가스 유로(520)에는 벤트 밸브(530)가 설치되며,상기 벤트 가스 유로(520)는 진공펌프(410)의 펌핑 압력을 전달하는 유로(430)와 수집부 진공 밸브(540)가 설치된분기유로통해연결된파우더 플라즈마 처리장치.
[청구항 15]
제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 반응기(200) 주위로 외부 가스를 유입 공급하는 가스 유도로설치된파우더 플라즈마 처리장치.
[청구항 16]
제 1 항에 있어서,상기 파우더 플라즈마 처리장치는,플라즈마 중합을 이용한 박막코팅에서 액상 모노모를 주입하는 버블러(bubbler)가 장착된 구성을 포함하며,o2, n2, nh3, cf4, 전구체(precusors) 중 하나 이상을 주입하여 파우더 표면의 작용기나 박막의 물성을 제어하여 파우더 표면에 플라즈마수행하는파우더 플라즈마 처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
파우더 플라즈마 처리장치에서 파우더를 벽면전극(210)에 흡착시켜 플라즈마 처리하게 하는 흡착수단(400)의 세부 구성 요소와 그 역할을 설명하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation흡착수단(400)의 세부 구성 요소와 각 구성 요소가 수행하는 역할을 추출하여 리스트 형식으로 정리해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 9를 통해 흡착수단(400)의 구성 요소인 진공펌프(410), 진공펌프 밸브(420), 유로를 확인하고 각각의 기능을 파악한다.
- 상기 파우더 흡착수단(400)은,상기 플라즈마 반응기(200) 내부 압력을 변동시켜 벽면전극(210)에 흡입 압력이 작용 되도록 압력을 전달하는 진공펌프(410);상기 진공펌프(410)의 펌핑 압력을 플라즈마 반응기(200)로 인가하거나 제어하는 진공펌프 밸브(420); 그리고 상기 플라즈마 반응기(200)와 진공펌프(410)를 연결하는 유로포함하는
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3근거 선택
evidence_selection진공펌프(410)의 역할, 진공펌프 밸브(420)의 역할, 유로의 존재를 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 플라즈마 반응기(200) 내부 압력을 변동시켜 벽면전극(210)에 흡입 압력이 작용 되도록 압력을 전달하는 진공펌프(410);상기 진공펌프(410)의 펌핑 압력을 플라즈마 반응기(200)로 인가하거나 제어하는 진공펌프 밸브(420); 그리고 상기 플라즈마 반응기(200)와 진공펌프(410)를 연결하는 유로
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4논리 통합
logical_integration추출된 구성 요소와 역할을 매칭하여 흡착수단의 메커니즘(압력 변동을 통한 흡착)을 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구한 구성 요소와 역할을 정리하여 최종 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation리스트 형식으로 구성 요소와 역할을 명확히 기술한다.
최종 답변 (final_answer)
1. 진공펌프(410): 플라즈마 반응기(200) 내부 압력을 변동시켜 벽면전극(210)에 흡입 압력이 작용되도록 압력을 전달함.
2. 진공펌프 밸브(420): 진공펌프(410)의 펌핑 압력을 플라즈마 반응기(200)로 인가하거나 제어함.
3. 유로: 플라즈마 반응기(200)와 진공펌프(410)를 연결함.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 진공펌프와 밸브 및 유로로 구성된 흡착수단을 통해 플라즈마 반응기 내부의 압력을 조절함으로써, 파우더를 벽면전극에 흡착시켜 플라즈마 처리가 가능하도록 하는 기술을 포함한다.