문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 기재의 이송방향을 따라 상기 회전충진부의 후방에 마련되고, 상기 음각패턴 내에 충진된 충진물을 건조하는제1건조부더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 회전충진부는 상기 기재의 이송방향을 따라 상기 제1롤러의 후방에 마련되고, 상기 제1롤러를 통과한 기재 상에 잔류하는 충진물이 음각패턴 내로 충진되도록 외면에 제2충진패턴을 구비하여 회전하는제2롤러더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 제1충진패턴과 상기 제2충진패턴서로평행하지않는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템.
[청구항 5]
제2항에 있어서,상기 기재에 접촉된 상태의 회전충진부를 진동시키는 진동인가부더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템.
[청구항 6]
제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 회전충진부와 상기 제1건조부의 사이에 배치되며, 이송되는 기재와 접촉하여 상기 기재 상에 잔류하는 충진물을 상기 음각패턴 내로 충진시키는제1블레이드더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 기재의 이송방향을 따라 상기 제1건조부의 후방에 마련되고, 음각패턴 내에 충진되지 못하고 기재 상에 잔류한 상태로 건조된 충진물이 용해되도록 에천트를 도포하는 에천트 도포부;상기 기재 상에서 용해된 충진물을 음각패턴 내로 재충진시키는 제2블레이드;상기 제2블레이드를 통과한 기재의 음각패턴 내의 충진물을 건조시키는제2건조부더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 회전충진부는 상기 기재의 폭방향을 따라 길게 배치되며, 상기 기재와 접촉하여 충진물을 음각패턴 내로 안내하는제1롤러포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 제1롤러는 외면에 회전축과 사선을 이루며 형성되는 제1충진패턴구비하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 회전충진부는 상기 기재의 이송방향을 따라 상기 제1롤러의 후방에 마련되고, 상기 제1롤러를 통과한 기재 상에 잔류하는 충진물이 음각패턴 내로 충진되도록 외면에 제2충진패턴을 구비하여 회전하는제2롤러더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템.
[청구항 12]
제11항에 있어서,상기 제1충진패턴과 상기 제2충진패턴서로평행하지않는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템.
[청구항 13]
제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 회전충진부와 상기 제1건조부의 사이에 배치되며, 이송되는 기재와 접촉하여 상기 기재 상에 잔류하는 충진물을 상기 음각패턴 내로 충진시키는제1블레이드더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 기재의 이송방향을 따라 상기 제1건조부의 후방에 마련되고, 음각패턴 내에 충진되지 못하고 기재 상에 잔류한 상태로 건조된 충진물이 용해되도록 에천트를 도포하는 에천트 도포부;상기 기재 상에서 용해된 충진물을 음각패턴 내로 재충진시키는 제2블레이드;상기 제2블레이드를 통과한 기재의 음각패턴 내의 충진물을 건조시키는제2건조부더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
미세패턴 형성 시스템에서 기재 상에 잔류한 충진물을 음각패턴 내로 재충진시키기 위해 에천트 도포부와 함께 구성되는 구성요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation미세패턴 형성 시스템에서 에천트 도포부와 함께 구성되어, 기재 상의 잔류 충진물을 음각패턴 내로 재충진시키는 구성요소들을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7 및 14에서 에천트 도포부, 제2블레이드, 제2건조부의 구성을 확인한다.
- 에천트 도포부;상기 기재 상에서 용해된 충진물을 음각패턴 내로 재충진시키는 제2블레이드;상기 제2블레이드를 통과한 기재의 음각패턴 내의 충진물을 건조시키는제2건조부
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3근거 선택
evidence_selection에천트 도포부와 함께 배치되어 재충진 및 건조 과정을 수행하는 제2블레이드와 제2건조부를 근거로 선택한다.
- 상기 기재 상에서 용해된 충진물을 음각패턴 내로 재충진시키는 제2블레이드;상기 제2블레이드를 통과한 기재의 음각패턴 내의 충진물을 건조시키는제2건조부
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4논리 통합
logical_integration에천트 도포부가 잔류 충진물을 용해시키면, 제2블레이드가 이를 재충진시키고, 제2건조부가 이를 건조시키는 일련의 구성이 결합되어 있다.
- 에천트를 도포하는 에천트 도포부;상기 기재 상에서 용해된 충진물을 음각패턴 내로 재충진시키는 제2블레이드;상기 제2블레이드를 통과한 기재의 음각패턴 내의 충진물을 건조시키는제2건조부
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 에천트 도포부와 함께 구성되는 요소는 제2블레이드와 제2건조부이다.
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6답변 생성
answer_generation찾아낸 구성요소들을 리스트 형식으로 정리하여 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
제2블레이드, 제2건조부
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 에천트 도포를 통해 용해된 잔류 충진물을 제2블레이드로 재충진하고 제2건조부로 건조함으로써 미세패턴의 충진 완성도를 높이는 시스템에 관한 것이다.