미세패턴 형성 시스템 및 미세패턴 형성방법 document_id 1020130029940

[청구항 3] 제1항에 있어서,상기 접촉부의 상기 기재와 접촉하는 단부에는 상기 기재의 상면을 따라 충진물을 유동시키기 위한충진로마련되는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 접촉부의 내부에는 상기 음각패턴 내로 충진되지 못한 충진물을 상기 충진로로부터 회수하는회수구비하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 회전축의 내부에는 상기 충진로 측으로 충진물을 공급하는 제1유동로 및 상기 제1유동로와 격리되며 상기 회수로로부터 회수된 충진물이 유동하는 제2유동로가 형성되고,상기 접촉부는 상기 회전축과 연결되며 내부에 수용공간을 형성하며, 하부의 테두리는 상기 기재와 접촉하여 회전하는 케이싱; 판형으로 마련되어 상기 수용공간에 설치되고, 상기 제1유동로와 연통하는 관통공이 형성되며, 하면과 상기 기재 사이에 상기 충진로를 형성하되, 상면과 상기 케이싱 사이에서 상기 회수로를 형성하는격벽부포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 6] 제1항, 제3항, 제4항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 충진부를 진동시키는 진동인가부더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 충진부와 상기 제1건조부의 사이에 배치되며, 이송되는 기재와 접촉하여 상기 기재 상에 잔류하는 충진물을 상기 음각패턴 내로 충진시키는제1블레이드더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 기재의 이송방향을 따라 상기 제1건조부의 후방에 마련되고, 음각패턴 내에 충진되지 못하고 기재 상에 잔류한 상태로 건조된 충진물이 용해되도록 에천트를 도포하는 에천트 도포부;상기 기재 상에서 용해된 충진물을 음각패턴 내로 재충진시키는 제2블레이드;상기 제2블레이드를 통과한 기재의 음각패턴 내의 충진물을 건조시키는제2건조부더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 접촉부는다공성소재로이루어지는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 회전축의 내부에는 상기 충진로 측으로 충진물을 공급하는 제1유동로 및 상기 제1유동로와 격리되며 상기 회수로로부터 회수된 충진물이 유동하는 제2유동로가 형성되고,상기 접촉부는 상기 회전축과 연결되며 내부에 수용공간을 형성하며, 하부의 테두리는 상기 기재와 접촉하여 회전하는 케이싱; 판형으로 마련되어 상기 수용공간에 설치되고, 상기 제1유동로와 연통하는 관통공이 형성되며, 하면과 상기 기재 사이에 상기 충진로를 형성하되, 상면과 상기 케이싱 사이에서 상기 회수로를 형성하는격벽부포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 15] 제10항, 제12항, 제13항 및 제14항 중 어느 한 항에 있어서,상기 충진부를 진동시키는 진동인가부더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 기재의 이송방향을 따라 상기 충진부의 후방에 마련되고, 상기 음각패턴 내에 충진된 충진물을 건조하는제1건조부더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 충진부와 상기 제1건조부의 사이에 배치되며, 이송되는 기재와 접촉하여 상기 기재 상에 잔류하는 충진물을 상기 음각패턴 내로 충진시키는제1블레이드더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 기재의 이송방향을 따라 상기 제1건조부의 후방에 마련되고, 음각패턴 내에 충진되지 못하고 기재 상에 잔류한 상태로 건조된 충진물이 용해되도록 에천트를 도포하는 에천트 도포부;상기 기재 상에서 용해된 충진물을 음각패턴 내로 재충진시키는 제2블레이드;상기 제2블레이드를 통과한 기재의 음각패턴 내의 충진물을 건조시키는제2건조부더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 22] 제19항에 있어서,상기 접촉부는다공성소재로이루어지는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 23] 제19항에 있어서,상기 접촉부의 상기 기재와 접촉하는 단부에는 상기 기재의 상면을 따라 충진물을 유동시키기 위한충진로마련되는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 24] 제23항에 있어서,상기 접촉부의 내부에는 상기 음각패턴 내로 충진되지 못한 충진물을 상기 충진로로부터 회수하는회수구비하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 25] 제24항에 있어서,상기 회전축의 내부에는 상기 충진로 측으로 충진물을 공급하는 제1유동로 및 상기 제1유동로와 격리되며 상기 회수로로부터 회수된 충진물이 유동하는 제2유동로가 형성되고,상기 접촉부는 상기 회전축과 연결되며 내부에 수용공간을 형성하며, 하부의 테두리는 상기 기재와 접촉하여 회전하는 케이싱; 판형으로 마련되어 상기 수용공간에 설치되고, 상기 제1유동로와 연통하는 관통공이 형성되며, 하면과 상기 기재 사이에 상기 충진로를 형성하되, 상면과 상기 케이싱 사이에서 상기 회수로를 형성하는격벽부포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 26] 제19항에 있어서,상기 기재의 이송방향을 따라 상기 충진부의 후방에 마련되고, 상기 음각패턴 내에 충진된 충진물을 건조하는제1건조부더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 27] 제26항에 있어서,상기 충진부와 상기 제1건조부의 사이에 배치되며, 이송되는 기재와 접촉하여 상기 기재 상에 잔류하는 충진물을 상기 음각패턴 내로 충진시키는제1블레이드더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템. [청구항 28] 제27항에 있어서,상기 기재의 이송방향을 따라 상기 제1건조부의 후방에 마련되고, 음각패턴 내에 충진되지 못하고 기재 상에 잔류한 상태로 건조된 충진물이 용해되도록 에천트를 도포하는 에천트 도포부;상기 기재 상에서 용해된 충진물을 음각패턴 내로 재충진시키는 제2블레이드;상기 제2블레이드를 통과한 기재의 음각패턴 내의 충진물을 건조시키는제2건조부더포함하는것을특징으로 하는미세패턴 형성 시스템.