기판 이송체 교환장치 document_id 1020130030436

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 카세트 승하강수단은 상기 제어부에 의해 제어되는 승하강 구동모터와, 상기 승하강 구동모터의 출력단에 연결되어 승하강되며 상단이 상기 교환챔버의 내부에 위치하도록 상기 교환챔버를 관통하여 설치되는 구동축과, 상기 구동축의 상단부에 설치되어 상기 교환챔버 내부에서 상기 카세트를 받치는 받침판과, 상기 구동축의 승하강 시 안내하도록 설치되는 복수개의 가이드축포함하는기판 이송체 교환장치. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,상기 가이드축에 슬라이딩 가능하게 끼워지고 상기 구동축의 하단과 고정되어 상기 구동축의 승하강에 따라 승하강되는안내판설치되는것을특징으로 하는기판 이송체 교환장치. [청구항 4] 청구항 2에 있어서,상기 구동축은 상하방향으로 신축 가능한벨로우즈더구비한것을특징으로 하는기판 이송체 교환장치. [청구항 5] 청구항 1에 있어서,상기 이송수단은 상기 기판 이송체를 이송하도록 상기 카세트의 양측면에 끼워지는 롤러축을 구비한 롤러부와, 상기 롤러부를 구동시키기 위해 상기 교환챔버의 외벽에 구비되는 이동 구동모터와, 상기 롤러부와 이동 구동모터를 교환챔버의 외벽에서 좌우방향으로 이동시키기 위한 가동로드가 구비되는에어실린더로이루어지는것을특징으로 하는기판 이송체 교환장치. [청구항 6] 청구항 5에 있어서,상기 롤러부는 상기 롤러축의 단부에 구비되어 상기 기판 이송체가 안착되는적어도하나의구동롤러포함하는것을특징으로 하는기판 이송체 교환장치. [청구항 7] 청구항 5에 있어서,상기 카세트는 양측면에 상기 롤러축이 삽입가능한 홀이수직방향형성되는것을특징으로 하는기판 이송체 교환장치. [청구항 8] 청구항 1에 있어서,상기 교환챔버의 하부에는 상기 교환챔버를 지지하기 위한지지컬럼구비되는것을특징으로 하는기판 이송체 교환장치. [청구항 9] 청구항 8에 있어서,상기 지지컬럼의 하단에는 상기 교환챔버의 위치를 이동시킬 수 있는바퀴구비되는것을특징으로 하는기판 이송체 교환장치. [청구항 10] 청구항 1에 있어서,상기 기판이송체는 기판을 지지하는 셔틀, 마스크및플레이트포함하는것을특징으로 하는기판 이송체 교환장치. [청구항 11] 청구항 1에 있어서,상기 안착부는 카세트의 양측 벽면에 동일한 수평면을 이루도록 설치되는다수개롤러부재로이루어지는것을특징으로 하는기판 이송체 교환장치. [청구항 12] 청구항 1에 있어서,상기 롤러 어셈블리는 상기 개구부에 대해 직교방향으로 고정설치되는 이동 가이드바; 상기 이동 가이드바의 내측면에 설치되어 상기 카세트를 받쳐주면서 이동시키도록 하는 수평 이동롤러; 및상기 이동 가이드바의 상면에 설치되어 상기 카세트의 하단 측면을 잡아주면서 이동시키도록 하는 수직 이동롤러포함하는기판 이송체 교환장치. [청구항 13] 청구항 12에 있어서,상기 이동 가이드바는 상기 챔버의 하면에 양측으로 설치되며, 상기 수평 이동롤러와 수직 이동롤러는 일정간격으로다수개설치되는것을특징으로 하는기판 이송체 교환장치. [청구항 14] 청구항 1에 있어서,상기 교환챔버의 일측부에펌프포트설치되는것을특징으로 하는기판 이송체 교환장치.