문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,에칭소스 분사로는 상광하협의 형상으로 이루어져, 제1처리실에 위치된 끝부의 테두리 둘레가 진공챔버의 외부에 위치된 에칭소스 분사로의 테두리 둘레 보다 좁은 것특징으로 하는디스플레이 패널 에칭 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,에칭소스 분사로는 내부 공간의 하측에 홀 타입(hole type) 또는 슬릿 타입(slit type)의디퓨져더포함하는것을특징으로 하는디스플레이 패널 에칭 장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,디퓨져는상광하협의 형상으로 이루어지며, 선형 구조 또는 홀 구조로 이루어진 복수의 개구가 형성된 디퓨져 상판; 및상협하광의 형상으로 이루어지며, 선형 구조 또는 홀 구조로 이루어진 복수의 개구가 형성된디퓨져하판포함하는것을특징으로 하는디스플레이 패널 에칭 장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,진공배기부는외측에 하나 이상의 배출부재가 구비되며 진공챔버의 외부에 배치되는 외부배기부; 및상부가 외부배기부의 하부와 결합되어 서로 연통되고, 개구 및 연장면이 형성된 하부가 이너챔버와 결합되는 내부배기부를포함하는것을특징으로 하는디스플레이 패널 에칭 장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,진공배기부는 이너챔버에 형성된 개구를 통해제2처리실연통되는것을특징으로 하는디스플레이 패널 에칭 장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,이너챔버는 디스플레이 패널의 상부에 위치하여 진공배기부와 결합하며, 에칭소스 분사로의 끝부와 대응되는 위치에 형성된 중앙부의 개구를 중심으로 하향 경사져 오목 형상을 형성하는 상부판; 및디스플레이 패널의 하부에 위치하며,디스플레이 패널의 상하 이동을 위한 로딩핀이 관통되는 복수의 로딩홀이 형성되고, 상부판과 결합 또는 분리되도록 리프트부에 의해 상하이동되는하부판포함하는것을특징으로 하는디스플레이 패널 에칭 장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상부판은 상부가 진공배기부의 하부에 형성된 연장면과 결합되고, 오목 형상의 상측 둘레가 진공배기부의 하부에 형성된 개구 둘레보다 좁은 것특징으로 하는디스플레이 패널 에칭 장치.
[청구항 9]
제7항에 있어서,진공챔버의 내부에 위치된 에칭소스 분사로의 끝부는 상부판에 형성된 오목 형상의 하측으로연장형성된것을특징으로 하는디스플레이 패널 에칭 장치.
[청구항 10]
제7항에 있어서,상부판은 테두리가 하방으로 연장형성되어 상부턱을 형성하고, 하부판은 테두리가 상방으로 연장형성되어 하부턱을 형성하며, 하부판이 상방으로 이동될 때 상부턱과 하부턱이 서로 결합되어제2처리실형성하는것을특징으로 하는디스플레이 패널 에칭 장치.
[청구항 11]
제1항에 있어서,제2처리실nan은진공배기부및에칭소스분사연통되는것을특징으로 하는디스플레이 패널 에칭 장치.
[청구항 12]
제1항에 있어서,에칭소스생성부는 플라즈마, 자외선 또는 가스 중 어느 하나 이상을 이용하여에칭소스생성하는것을특징으로 하는디스플레이 패널 에칭 장치.
[청구항 16]
제13항에 있어서,2단계는 에칭소스생성부가 에칭소스로,페라이트 코어를이용한리모트 플라즈마생성하는것을특징으로 하는디스플레이 패널 에칭 방법
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
디스플레이 패널 에칭 장치에서 제2처리실을 형성하기 위해 상부판과 하부판이 결합되는 방식은 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation디스플레이 패널 에칭 장치에서 제2처리실을 형성하기 위한 상부판과 하부판의 결합 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 10에서 상부판의 테두리 구조(상부턱)와 하부판의 테두리 구조(하부턱), 그리고 결합 시 제2처리실이 형성된다는 내용을 추출한다.
- 상부판은 테두리가 하방으로 연장형성되어 상부턱을 형성하고, 하부판은 테두리가 상방으로 연장형성되어 하부턱을 형성하며, 하부판이 상방으로 이동될 때 상부턱과 하부턱이 서로 결합되어제2처리실형성하는것
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3근거 선택
evidence_selection상부판과 하부판의 턱(턱 구조)이 결합하여 제2처리실을 형성한다는 직접적인 구절을 선택한다.
- 상부판은 테두리가 하방으로 연장형성되어 상부턱을 형성하고, 하부판은 테두리가 상방으로 연장형성되어 하부턱을 형성하며, 하부판이 상방으로 이동될 때 상부턱과 하부턱이 서로 결합되어제2처리실형성하는것
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4논리 통합
logical_integration상부판은 하방으로 연장된 상부턱을 가지고, 하부판은 상방으로 연장된 하부턱을 가지며, 하부판이 상방으로 이동하면서 이 두 턱이 맞물려 결합됨으로써 제2처리실이 만들어지는 구조임을 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation상부판의 상부턱과 하부판의 하부턱이 하부판의 상방 이동을 통해 서로 결합되는 방식으로 제2처리실이 형성된다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
상부판은 테두리가 하방으로 연장되어 상부턱을 형성하고, 하부판은 테두리가 상방으로 연장되어 하부턱을 형성하며, 하부판이 상방으로 이동할 때 상부턱과 하부턱이 서로 결합됨으로써 제2처리실이 형성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
상부판과 하부판의 테두리에 각각 형성된 상부턱과 하부턱이 하부판의 상방 이동을 통해 맞물려 결합됨으로써 제2처리실을 형성하는 구조적 특징을 나타낸다.