반전유닛과 이것을 이용한 기판 이송 장치 document_id 1020130032903

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 반전지지부에서 상기 기판을 정위치시키는 기판정렬부와, 상기 기판 또는 상기 반전지지부의 반전 상태를 감지하는 반전확인부와, 상기 반전지지부에 안착된 상기 기판을 지지하는 요동방지부 중 적어도 어느하나더포함하는것을특징으로 하는반전유닛. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 요동방지부는,상기 기판을 중심으로 상기 반전지지부와 마주보도록 구비되는 요동지지부; 및상기 반전지지부를 향해 상기 요동지지부를 왕복 이동시키는 요동구동부;를포함하는것을특징으로 하는반전유닛. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 요동방지부는,상기 기판을 지지하도록 상기 요동지지부에 돌출 형성되는 요동지지핀부와, 흡착유닛과, 상기 요동지지부를 왕복 이동 가능하게 지지하는 요동브라켓부 중 적어도 어느하나더포함하는것을특징으로 하는반전유닛. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 요동구동부는,상기 요동지지부에 결합되는 요동피스톤부; 및상기 요동피스톤부를 왕복 이동시키는 요동왕복부;를포함하는것을특징으로 하는반전유닛. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 연결라인은,상기 반전축부 또는 상기 반전지지부의 정역 회전 각도에 따라 상기 제1고정부와 상기 제2고정부 사이에서180도또는360도트위스트되는것을특징으로 하는반전유닛. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 연결라인은,상기 반전축부 또는 상기 반전지지부의 정역 회전 각도에 따라 상기 제1고정부 측과 상기 제2고정부 측에서상호반대방향트위스트되는것을특징으로 하는반전유닛. [청구항 10] 제1항에 있어서,관통부는,상기 기판이 반전될 때, 상기 반전지지부의 회전 중심을 형성하는 제1브라켓부;상기 연결라인이 통과되고, 상기 반전지지부의 반전 동작에 따라 상기 제1브라켓부에 회전 가능하게 결합되는 제2브라켓부; 및상기 제1브라켓부와 상기 제2브라켓부 사이에서 상기 제2브라켓부를 회전 가능하게 지지하는 비틀림베어링부;를포함하는것을특징으로 하는반전유닛. [청구항 11] 제1항에 있어서,고정부는,상기 연결라인을 묶음으로 취합하는 비틀림취합부; 및상기 비틀림취합부를 고정시키는 비틀림체결부;를포함하는것을특징으로 하는반전유닛. [청구항 14] 제1항에 있어서,소켓부는,상기 비틀림홀부에 삽입되는 비틀림바디부;상기 연결라인이 삽입되도록 상기 비틀림바디부의 길이 방향으로 관통 형성되는 비틀림삽입부; 및상기 비틀림바디부의 둘레면과 상기 비틀림삽입부가 연통되도록 상기 비틀림바디부를 구획하는 비틀림절개부가포함되는것을특징으로 하는반전유닛. [청구항 15] 제14항에 있어서,바디부의 둘레면은,외경이 축소 또는 증가되도록테형성되는것을특징으로 하는반전유닛. [청구항 16] 제1항 내지 제5항, 제8항 내지 제11항, 제14항, 제15항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반전지지부에 구비되어 상기 기판에 흡착력을 제공하는흡착유닛더포함하는것을특징으로 하는반전유닛. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 흡착유닛은,인가되는 흡착력이 전달되는 흡착홀부가 관통 형성되는 중공의 흡착관부;상기 기판이 밀착되도록 상기 흡착관부에 구비되는 흡착판부; 및상기 흡착홀부에 연통되도록 상기 흡착판부에 방사상으로 함몰 형성되는 흡착라인부;를포함하는것을특징으로 하는반전유닛. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 흡착라인부는, 0.5 mm 이상 2.0 mm 이하의 함몰 폭으로함몰형성되는것을특징으로 하는반전유닛. [청구항 19] 제17항에 있어서,상기 흡착라인부는, 0.2 mm 이상 5.0 mm 이하의 함몰 깊이로함몰형성되는것을특징으로 하는반전유닛. [청구항 20] 제17항에 있어서,상기 흡착판부에 구비되어 상기 기판이 접촉되는 밀착패드부와, 상기 흡착홀부에 연통되도록 상기 흡착관부에 결합되어 상기 흡착관부의 길이를 가변시키는 흡착가변부와, 상기 흡착관부에 연결되어 상기 흡착홀부와 상기 흡착라인부에 흡착력을 제공하는 흡착구동부 중 적어도 어느하나더포함하는것을특징으로 하는반전유닛. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 전달유닛의 일측에서 상기 기판이 적층되는 적재유닛과, 상기 전달유닛의 타측에서 상기 기판에 부착된 적층부를 분리하는 탈착유닛 중 적어도 어느하나더포함하는것을특징으로 하는기판 이송 장치.