문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 이송유닛은,상기 진공챔버의 외부에 배치되어 구동력을 제공하는 구동부;일단부가 상기 구동부에 연결되고 타단부가 상기 진공챔버를 관통하여 상기 피이송물에 연결되는 이송축; 및상기 이송축에 외삽되되, 상기 진공챔버를 관통한 상기 이송축에 의해 상기 진공챔버의 진공이 해제되는 것을 방지하는 벨로우즈를 포함하며,상기 이송하중 감소유닛은,상기 진공챔버의 내외부 압력차로 인한 상기 벨로우즈의 길이방향 수축에 의해 상기 구동부에 가해지는 이송하중의 증가를 감소시키도록, 상기 진공챔버의 내부에 상기 구동부에대향되게배치된것을특징으로 하는이송장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,송하중 감소유닛은,상기 구동부에 대향되게 배치되되, 상기 피이송물에 연결되어 상기 피이송물을 지지하는 피이송물 지지부; 및상기 피이송물 지지부에 연결되되, 상기 진공챔버의 내외부 압력차로 인한 상기 벨로우즈의 길이방향 수축에 대응하여 내부에 유체가 유입됨에 따라 신장되는 신장부포함하는이송장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 피이송물 지지부는,상기 피이송물의 외측면을 접촉 지지하는 판형의 지지 플레이트포함하는이송장치.
[청구항 5]
제3항에 있어서,송하중 감소유닛은,상기 진공챔버의 내부에 마련되되, 상기 신장부를 상기 진공챔버의 내부에 고정하는 고정브라켓; 및상기 신장부에 연통되되, 상기 유체가 상기 신장부에 유입되거나 상기 신장부로부터 유출되는 경로를 형성하는 유체유로더 포함하는이송장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,송하중 감소유닛은,상기 유체유로에 연결되되, 상기 구동부의 작동에 따라 상기 신장부에 유입되거나 상기 신장부에서 유출되는 상기 유체의 유량을 조절하는 유량 제어밸브더 포함하는이송장치.
[청구항 7]
제2항에 있어서,상기 벨로우즈는,상기 이송축이 관통되는 상기 진공챔버의 관통공을 통해 상기 진공챔버의 진공이 해제되는 것을 방지하도록, 상기 관통공과 상기 이송축을 감싸는주름관형성된것을특징으로 하는이송장치.
[청구항 8]
제2항에 있어서,상기 구동부는,상기 진공챔버의 외부에 배치된 구동모터;상기 구동모터에 연결되어 회전되는 제1 회전부재; 및일측이 상기 제1 회전부재에 연결되고 타측이 상기 이송축에 연결되어 상기 이송축을 회전시키는 복수의 제2 회전부재포함하는이송장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 구동부는,상기 제1 회전부재 및 상기 제2 회전부재에 각각 연결되어, 상기 제1 회전부재와 상기 제2 회전부재를 상호 연동되게 하는 제1 감속부재; 및상기 제2 회전부재 및 상기 이송축에 각각 연결되어, 상기 제2 회전부재와 상기 이송축을 상호 연동되게 하는 제2 감속부재더 포함하는이송장치.
[청구항 10]
제8항에 있어서,상기 이송유닛은,일측이 상기 이송축의 외주면에 연결되고 타측이 상기 피이송물에 연결되어, 상기 이송축이 회전됨에 따라 상기 이송축을 따라 왕복운동되어 상기 피이송물을 이송하는 가이드부재더 포함하는이송장치.
[청구항 11]
제1항에 있어서,상기 진공챔버는,일측에 마련되되, 상기 피이송물이 인입 및 인출되는 게이트 밸브포함하는이송장치.
[청구항 12]
제11항에 있어서,상기 게이트 밸브는,인접하게 배치된 진공챔버들에 마련된 슬릿에 인접하게 배치되되, 상기 피이송물이 출입하는 개구부를 구비한 밸브챔버;상기 슬릿을 개폐하는 슬릿 개폐부; 및상기 슬릿 개폐부를 상기 밸브챔버의 내부에서 승하강되도록 지지하는 승하강 실린더포함하는이송장치.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 슬릿 개폐부는,상기 개구부에 밀착되되, 상기 개구부를 폐쇄하는 밸브 블레이드; 및상기 밸브 블레이드를 상기 개구부를 향하여 이동시키는 가압 실린더를 구비한 밸브블럭포함하는이송장치.
[청구항 14]
제1항에 있어서,상기 피이송물은, 적어도 하나 이상의 기판이 수용되는 카세트포함하는이송장치.
지시문 (instruction)
본문의 내용을 파악하고 이를 바탕으로 질문에 답하라.
질문 (question)
이송장치에서 진공챔버의 내외부 압력차로 인해 벨로우즈가 길이방향으로 수축할 때, 구동부에 가해지는 이송하중의 증가를 감소시키기 위해 이송하중 감소유닛이 수행하는 역할과 그 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation이송하중 감소유닛의 역할(벨로우즈 수축에 따른 구동부 하중 증가 감소)과 그 구성 요소(피이송물 지지부, 신장부, 고정브라켓, 유체유로, 유량 제어밸브 등)를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 감소유닛의 역할을, 청구항 3~6에서 구성 요소인 피이송물 지지부, 신장부, 고정브라켓, 유체유로, 유량 제어밸브를 추출한다.
- 상기 피이송물에 연결되어 상기 피이송물을 지지하는 피이송물 지지부; 및상기 피이송물 지지부에 연결되되, 상기 진공챔버의 내외부 압력차로 인한 상기 벨로우즈의 길이방향 수축에 대응하여 내부에 유체가 유입됨에 따라 신장되는 신장부
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3근거 선택
evidence_selection역할에 관한 구절과 구성 요소(피이송물 지지부, 신장부, 고정브라켓, 유체유로, 유량 제어밸브)가 명시된 구절들을 선택한다.
- 상기 피이송물에 연결되어 상기 피이송물을 지지하는 피이송물 지지부; 및상기 피이송물 지지부에 연결되되, 상기 진공챔버의 내외부 압력차로 인한 상기 벨로우즈의 길이방향 수축에 대응하여 내부에 유체가 유입됨에 따라 신장되는 신장부
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4논리 통합
logical_integration감소유닛은 벨로우즈 수축 시 발생하는 하중 증가를 줄이는 역할을 하며, 이를 위해 유체가 유입되어 신장되는 신장부와 이를 지지/제어하는 구성 요소들로 이루어짐을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 역할은 '벨로우즈 수축에 의한 구동부 이송하중 증가 감소'이며, 구성 요소는 '피이송물 지지부, 신장부, 고정브라켓, 유체유로, 유량 제어밸브'임을 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
이송하중 감소유닛은 진공챔버의 내외부 압력차로 인해 벨로우즈가 길이방향으로 수축할 때, 구동부에 가해지는 이송하중의 증가를 감소시키는 역할을 수행한다. 그 구성 요소로는 피이송물을 지지하는 피이송물 지지부, 유체 유입 시 신장되는 신장부, 신장부를 고정하는 고정브라켓, 유체의 유입 및 유출 경로를 형성하는 유체유로, 그리고 유체의 유량을 조절하는 유량 제어밸브가 포함된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
진공 상태에서 벨로우즈의 수축으로 발생하는 구동부의 부하 증가를, 유체가 유입되어 신장되는 구조를 통해 상쇄함으로써 이송 장치의 구동 효율을 유지하는 기술이다.