증착 장치 document_id 1020130036529

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 센서부는,제1 지지부;상기 제1 지지부의 하면에 연결되며 제1 방향으로 장변을 갖고 평면상에서 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 단변을 갖는 제2 지지부;상기 제2 지지부의 하면에 연결되며, 상기 제2 지지부의 상기 하면과 수직한 제3 방향으로 장변을 갖고 상기 제1 방향으로 단변을 가지며 상기 제2 지지부의 일측에 인접하도록 배치되는 제3 지지부;상기 증착 물질의 증착 량을 감지하는 센서를 수용하는 센서 하우징; 상기 센서 하우징의 하부에 연결되며, 상기 센서에 제공되는 상기 증착 물질의 유입경로를 제공하는 홀을 갖는 센서 캡; 및상기 제3 지지부 및 상기 센서 하우징을 연결하는 센서 연결부를 포함하고,상기 제1 방착판은 상기 제2 지지부연결되는증착 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,진공 챔버를 더 포함하고, 상기 기판과 상기 증착원은 상기 진공 챔버 내에서 서로 마주보도록 배치되며, 상기 제1 지지부의 상면은 상기 기판에 인접하게 배치되어 상기 진공 챔버연결되는증착 장치. [청구항 4] 제 2 항에 있어서,상기제1, 제2, 및 제3 방착판들은 상기 제2 지지부의 측면, 상기 제3 지지부, 상기 센서 연결부, 상기 센서 하우징, 및 상기 센서 캡의 소정의 영역을 커버하고, 상기 센서 캡의 하단의 소정의 영역노출시키는증착 장치. [청구항 5] 제 2 항에 있어서,상기 제1 방착판은,상기 제2 지지부의 상면과 수직하고 상기 장변과 평행한 상기 제2 지지부의 측면들 중 어느 일면으로 정의되는 전면과 평행하게 배치된 제1_1 서브판;상기 제2 지지부의 상기 상면과 수직하고 상기 단변과 평행한 상기 제2 지지부의 측면들 중 어느 일면으로 정의되는 좌측면과 평행하게 배치된 제1_2 서브판;상기 좌측면과 마주보는 우측면과 평행하게 배치된 제1_3 서브판;상기 제1_2 서브판의 상측에 연결되고, 상기 제1 방향으로 연장된 제1 연결 유닛; 및상기 제1_3 서브판의 상측에 연결되고, 상기 제1 방향과 반대 방향으로 연장된 제2 연결 유닛을 더 포함하고,상기 제1 자석 유닛들은 상기 제1_2 및 제1_3 서브판들에 배치되며, 상기 제1_2 서브판의 일측 및 상기 제1_3 서브판의 일측은 상기 제1_1 서브판의 양측 경계면에 연결되어 상기 제2 방향으로 상기 단변보다 길게 연장되며, 상기 제1_1 내지 제1_3 서브 판들은 상기 제3 방향으로 연장되어 상기 제2 및 제3 지지부들오버랩되는증착 장치. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기제1_1 서브판의 상측에 인접한 상기 제1_1 서브판의 내면은 상기 전면에 접촉되고, 상기 1_2 서브판의 상측에 인접한 상기 제1_2 서브판의 내면의 소정의 영역은 상기 좌측면에 접촉되고, 상기 1_3 서브판의 상측에 인접한 상기 제1_3 서브판의 내면의 소정의 영역은 상기 우측면에 접촉되고, 상기 제1 및 제2 연결 유닛들 각각의 하면은 상기 제2 지지판의 상면접촉되는증착 장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 제1 자석 유닛들은,서로 소정의 간격을 두고 상기 제1_2 서브판의 타측에 인접한 내면에 배치된 제1_1 및 제1_2 자석 유닛들;서로 소정의 간격을 두고 상기 제1_3 서브판의 타측에 인접한 내면에 배치된 제1_3 및 제1_4 자석 유닛들;상기 제1_2 서브판의 상기 일측의 하측에 인접한 내면에 배치된 제1_5 자석 유닛; 및상기 제1_3 서브판의 상기 일측의 하측에 인접한 내면에 배치된 제1_6 자석 유닛들포함하는증착 장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 제2 방착판은,상기 전면과 마주보는 후면과 마주보도록 배치된 제2_1 서브판;상기 좌측면과 평행하게 배치된 제2_2 서브판; 및 상기 우측면과 평행하게 배치된 제2_3 서브판을 더 포함하고,상기 제2 자석 유닛들은 상기 제2_2 및 제2_3 서브판들에 배치되고, 상기 제2_1 내지 제2_3 서브 판들은 상기 제3 방향으로 연장되어 상기 제2 및 제3 지지부들와 오버랩되며, 상기 제2_2 서브판의 일측에 인접한 내면은 상기 제1_2 서브판의 상기 타측에 인접한 외면에 접촉되고, 상기 제2_3 서브판의 일측에 인접한 내면은 상기 제1_3 서브판의 상기 타측에 인접한 외면에 접촉되고, 상기 제2_2 서브판의 타측 및 상기 제2_3 서브판의 타측은 상기 제2_1 서브판의 양측 경계면연결되는증착 장치. [청구항 9] 제 7 항에 있어서,상기 제2 자석 유닛들은,서로 소정의 간격을 두고 상기 제2_2 서브판의 상기 일측에 인접한 외면에 배치된 제2_1 및 제2_2 자석 유닛들;서로 소정의 간격을 두고 상기 제2_3 서브판의 상기 일측에 인접한 외면에 배치된 제2_3 및 제2_4 자석 유닛들;상기 제2_2 서브판의 상기 타측의 하측에 인접한 내면에 배치된 제2_5 자석 유닛; 및 상기 제2_3 서브판의 상기 타측의 하측에 인접한 내면에 배치된 제2_6 자석 유닛들을 포함하고,상기 제1_1 내지 제1_4 자석 유닛들은 각각 대응하는 상기 제2_1 내지 제2_4 자석유닛들과 오버랩되며, 상기 1_1 내지 제1_4 자석 유닛들의 극성 및 상기 제2_1 내지 제2_4 자석 유닛들의 극성은 서로 자력에 의해인력작용되도록설정되는증착 장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기1_1 내지 제1_4 자석 유닛들 및 상기 제2_1 내지 제2_4 자석 유닛들은 상기 제3 방향으로 장변을 갖고, 상기 제2 방향으로 단변갖는증착 장치. [청구항 11] 제 9 항에 있어서,상기 제3 방착판은,상기 제2 지지판의 상기 하면과 마주보도록 배치된 제3_1 서브판;상기 전면과 평행하게 배치된 제3_2 서브판;상기 후면과 평행하게 배치된 제3_3 서브판;상기 좌측면에 평행하게 배치된 제3_4 및 제3_5 서브판들;상기 우측면에 평행하게 배치된 제3_6 및 제3_7 서브판들;상기 3_4 및 제3_5 서브판들을 연결하고, 상기 제2_2 서브판의 일측면과 평행하게 배치되어 상기 제2_2 서브판의 상기 일측면의 하부에 연결되는 제1 절곡판; 및상기 제3_6 및 제3_7 서브판들을 연결하고, 상기 제2_3 서브판의 일측면과 평행하게 배치되어 상기 제2_3 서브판의 상기 일측면의 하부에 연결되는 제2 절곡판을 더 포함하고,상기 제3 자석 유닛들은 상기 제3_4 내지 제3_7 서브판들에 배치되며, 상기 제3_2 내지 제3_7 서브판들 각각의 하측 및 상기 제1 및 제2 절곡판들 각각의 하측은 상기 제3_1 서브 판의 경계면에 연결되고, 상기 제3_2, 제3_4, 및 제3_6 서브판들은 서로 연결되어 각각 대응하는 상기 제1_1, 제1_2, 및 제1_3 서브판들의 하부에 연결되고, 상기 제3_3, 제3_5, 및 제3_7 서브판들은 서로 연결되어 각각 대응하는 상기 제2_1, 제2_2, 및 제2_3 서브판들의 하부연결되는증착 장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기제3_4 서브판의 일측 및 제3_6 서브판의 일측은 각각 상기 제3_2 서브판의 양측 경계면에 연결되고, 상기 제1 절곡판은 상기 제3_4 서브판의 타측 및 상기 제3_5 서브판의 일측을 연결하고, 상기 제2 절곡판은 상기 제3_6 서브판의 타측 및 상기 제3_7 서브판의 일측을 연결하고, 상기 제3_5 서브판의 타측 및 상기 제3_7 서브판의 타측은 각각 상기 제3_3 서브판의 양측 경계면에 연결되고, 상기 제3_4 서브판의 내면 및 상기 제3_6 서브판의 내면 사이의 거리는 상기 제1_2 서브판의 외면 및 상기 제1_3 서브판의 외면 사이의 거리와 같게 형성되고, 상기 제3_5 서브판의 내면 및 상기 제3_7 서브판의 내면 사이의 거리는 상기 제2_2 서브판의 외면 및 상기 제2_3 서브판의 외면 사이의 거리형성되는증착 장치. [청구항 13] 제 11 항에 있어서,상기제3_2 서브판의 상측에 인접한 내면은 상기 제1_1 서브판의 하측에 인접한 외면에 접촉되고, 상기 제3_3 서브판의 상측에 인접한 내면은 상기 제2_1 서브판의 하측에 인접한 외면에 접촉되고, 상기 제3_4 서브판의 상측에 인접한 내면은 상기 제2_2 서브판과 접촉되지 않은 상기 제1_2 서브판의 하측에 인접한 외면에 접촉되고, 상기 제3_5 서브판의 상측에 인접한 내면은 상기 제2_2 서브판의 하측에 인접한 외면에 접촉되고, 상기 제3_6 서브판의 상측에 인접한 내면은 상기 2_3 서브판과 접촉되지 않은 상기 제1_3 서브판의 하측에 인접한 외면에 접촉되고, 상기 제3_7 서브판의 상측에 인접한 내면은 상기 제2_3 서브판의 하측에 인접한 외면에 접촉되고, 상기 제1 절곡판의 상측에 인접한 내면은 상기 제2_2 서브판의 일측면의 하부에 접촉되고, 상기 제2 절곡판의 상측에 인접한 내면은 상기 제2_3 서브판의 일측면의 하부접촉되는증착 장치. [청구항 14] 제 12 항에 있어서,상기 제3 자석 유닛들은,상기 제3_4 서브판의 상기 일측의 상측에 인접한 외면에 배치된 제3_1 자석 유닛;상기 제3_5 서브판의 상기 타측의 상측에 인접한 외면에 배치된 제3_2 자석 유닛;상기 제3_6 서브판의 상기 일측의 상측에 인접한 외면에 배치된 제3_3 자석 유닛; 및 상기 제3_7 서브판의 상기 타측의 상측에 인접한 외면에 배치된 제3_4 자석 유닛을 포함하고, 상기 제3_1, 제3_2, 제3_3, 및 제3_4 자석 유닛들은 각각 대응되는 상기 제1_5, 제2_5, 제1_6, 및 제2_6 자석 유닛들과 오버랩되며, 상기 제3_1, 제3_2, 제3_3, 및 제3_4 자석 유닛들의 극성 및 상기 제1_5, 제2_5, 제1_6, 및 제2_6 자석 유닛들의 극성은 서로 자력에 의해인력작용되도록설정되는증착 장치. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기제1_5 및 제1_6 자석 유닛들, 상기 제2_5 및 제2_6 자석 유닛들, 및 상기 제3_1 내지 제3_4 자석 유닛들은 상기 제2 방향으로 장변을 갖고 상기 제3 방향으로 단변갖는증착 장치. [청구항 16] 제 11 항에 있어서,상기제3_1 서브판은 오픈 영역을 포함하고, 상기 센서캡의 하단의 소정의 영역은상기오픈영역통해노출되는증착 장치. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,상기 오픈 영역은,상기 제2 방향으로 장변 및 상기 제1 방향으로 단변을 갖고,상기 센서 연결부는 상기 센서 캡이 상기 오픈 영역의 장변 방향으로 왕복 이동되도록 상기 센서 하우징이동시키는증착 장치.