박막증착장치 document_id 1020130038958

[청구항 1] 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버와 상기 공정챔버에 설치되어 증착물질이 증발되는 하나 이상의 증발원과 기판처리면이 상기 증발원을 향하도록 기판을 지지하는 기판지지부와 상기 처리공간을 기판이 위치된 처리영역과 상기 증발원이 설치된 증발영역을 구획하며, 상기 처리영역 및 상기 증발영역이 연통되는 개구부를 개폐하는 증발차단부를 포함하며, 상기 증발차단부는, 상기 기판지지부에 안착된 상태의 기판의 중심을 기준으로 서로 대칭을 이루어 배치되며 선형이동에 의하여 상기 개구부를 개폐하는 한 쌍의 셔터부들과, 상기 한 쌍의 셔터부들의 선형이동을 구동하기 위한 선형구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,쌍의 셔터부들은, 각각 상기 선형구동부에 의하여 선형이동가능하게 설치된 복수의 이동셔터부들을 포함하며,상기 복수의 이동셔터부들은, 증착공정 수행시 적어도 일부가 상하로 중첩되어 상기 개구부를 개방하고, 증착공정 비수행시 선형이동에 의하여 펼쳐져상기개구부차단하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,상기 복수의 이동셔터부들 중어느 하나는 이동부재가 결합되며,상기 선형구동부는, 상기 이동부재를 스크류 방식에 의하여 상기 이동셔터부를 선형이동시키는 스크류부와, 상기 스크류부를 회전구동하는회전구동부포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항 4] 청구항 2에 있어서,쌍의 셔터부들은, 각각 최상층 또는 최하층에 위치된 이동셔터부가 먼저 이동한 후 나머지 이동셔터부가 끌림수단에 의하여 순차적으로 끌려서이동되는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항 5] 청구항 4에 있어서,수단은, 상기 최상층 또는 최하층의 이동셔터부 중 어느 하나의 이동셔터부에 설치된 걸림부재와, 상기 걸림부재가 설치된 이동셔터부에 인접한 이동셔터부에 설치되며 상기 이동셔터부의 이동방향으로 간격을 가지는 전방걸림턱 및 후방걸림턱을 포함하며,상기 걸림부재는 상기 이동셔터부의 이동방향에 따라서 상기 전방걸림턱 및 후방걸림턱 중 어느 하나에 걸려 인접한이동셔터부되는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항 6] 청구항 2 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 증발차단부는,상기 이동셔터부의 양단을 각각 지지함과 아울러 그 선형이동을 가이드하는 한 쌍의 가이드부와,상기 이동셔터부의 양단에 각각 결합되며 상기 가이드부를 따라서 선형이동되는복수의가이드블록더포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항 7] 청구항 6에 있어서,상기 가이드블록은 상기 이동셔터부와 하나 이상의 제3볼트에 의하여 결합되며, 상기 이동셔터부는 상기 가이드블록과 결합될 때 상기 이동셔터부의 이동방향과 수직인 횡방향으로 열팽창이 허용되도록 상기 제3볼트가 삽입되는 제3관통공이슬롯형상형성된것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항 8] 청구항 7에 있어서,상기 이동셔터부는상기 이동셔터부의 이동방향과 평행을 이루는 복수의 종방향프레임과,상기 종방향프레임과 결합되는 복수의 횡방향프레임과,상기 종방향프레임 및 상기 횡방향프레임 중 적어도 어느 하나와 결합되어 상기 이동셔터부의 저면을 이루는저면플레이트포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항 9] 청구항 7에 있어서,상기 횡방향프레임은, 상기 종방향프레임과 하나 이상의 제2볼트에 의하여 결합되며,상기 횡방향프레임은, 상기 이동셔터부의 횡방향으로 열팽창이 허용되도록 상기 제2볼트가 삽입되는 제2관통공이슬롯형상형성된것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항 10] 청구항 7에 있어서,상기 이동셔터부는, 상기 종방향프레임 및 상기 횡방향프레임 중 적어도 어느 하나와 결합되어 상기 셔터부의 상면을 이루는상면플레이트를추가포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항 11] 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,쌍의 셔터부들은 상기 개구부의 폐쇄시 서로 면접하는 부분에서 상하로 중첩되도록 어느 하나에 돌출부가 나머지 하나에 상기 돌출부가 삽입되는요홈부형성된것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항 12] 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 처리영역 및 증발영역은, 상기 공정챔버 내에 설치되고 상기 개구부가 형성된 구획부에 의하여 구획되며,상기 구획부는, 상기 증발원에서 발생되는 고열을 상기 처리영역 쪽으로 전달되는 것을 방지하기 위하여냉각부설치된것을특징으로 하는박막증착장치.