문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 처리챔버부에는,상기 기판이 입출되는 처리개구부; 및상기 처리개구부를 개폐하는처리개폐부가포함되는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 처리이송부는,상기 기판을 파지하는 캐리어부;상기 캐리어부에 결합되는 지지브라켓부; 및상기 지지브라켓부를 회전시키는 회전구동부;를포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 처리이송부는,상기 기판을 파지하는 캐리어부;상기 캐리어부에 결합되는 지지브라켓부; 및상기 지지브라켓부를 슬라이드 이동시키는 슬라이딩구동부;를포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 클러스터발생부는,상기 공정가스를 공급하는 공정펌핑부;상기 공정펌핑부에 연결되어 상기 공정가스의 이동 경로를 형성하는 공정라인부; 및상기 공정펌핑부에 연결되어 상기 공정가스를 가스 클러스터 형태로 변환시켜 배출하는 노즐부;를포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 클러스터발생부는,상기 노즐부를 왕복 이동시키는 배출왕복부;를더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 7]
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 처리공간과 상기 수용공간 중적어도 어느 하나를 감압시키는 감압부;를더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 감압부는,흡입력을 발생시키는 적어도 하나의 감압펌핑부;상기 처리공간과 상기 수용공간 중 적어도 어느 하나를 상기 감압펌핑부와 연결하는 감압라인부; 및상기 감압라인부을 개폐하는 감압개폐부;를포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 9]
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 또는 상기 카세트부를 반전시키는반전유닛더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 이송유닛은,상기 카세트유닛에 적층된 상기 기판 또는 상기 카세트부를 이송시키는 제1이송유닛; 및상기 반전유닛과 상기 처리유닛 사이에서 상기 기판을 이송시키는 제2이송유닛;을포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
지시문 (instruction)
본문의 내용을 파악하고 이를 바탕으로 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리장치의 처리이송부는 구동 방식에 따라 어떤 구성 요소들로 구분되어 구성될 수 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판처리장치의 처리이송부가 구동 방식에 따라 어떤 구성 요소들로 구분되는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3과 청구항 4에서 처리이송부의 구성을 설명하는 내용을 추출한다.
- 상기 지지브라켓부를 회전시키는 회전구동부
- 상기 처리이송부는,상기 기판을 파지하는 캐리어부;상기 캐리어부에 결합되는 지지브라켓부; 및상기 지지브라켓부를 슬라이드 이동시키는 슬라이딩구동부;를포함
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3근거 선택
evidence_selection구동 방식(회전 vs 슬라이드)에 따른 구성 요소 차이를 보여주는 청구항 3과 4의 구절을 선택한다.
- 상기 지지브라켓부를 회전시키는 회전구동부
- 상기 지지브라켓부를 슬라이드 이동시키는 슬라이딩구동부
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4논리 통합
logical_integration두 구동 방식 모두 캐리어부와 지지브라켓부를 공통으로 포함하며, 구동부의 종류(회전구동부 또는 슬라이딩구동부)에 따라 구분됨을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation구동 방식에 따라 '캐리어부, 지지브라켓부, 회전구동부' 또는 '캐리어부, 지지브라켓부, 슬라이딩구동부'로 구성됨을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대하여 리스트 형식으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
- 회전 방식: 캐리어부, 지지브라켓부, 회전구동부
- 슬라이드 방식: 캐리어부, 지지브라켓부, 슬라이딩구동부
핵심 해석 (core_interpretation)
기판처리장치의 처리이송부는 지지브라켓부를 회전시키거나 슬라이드 이동시키는 구동 방식에 따라 구성 요소가 구분된다.