문맥 (context)
[청구항 1]
기판이 반입되는 기판 반입부
배치 경로에 따라 수평으로 배치되며, 상기 배치 경로를 기준으로 일측 또는 양측에 배치된 복수개의 배치식 기판처리 장치
상기 기판 반입부에서부터 상기 배치 경로를 따라 이동하며 상기 배치식 기판처리 장치에 기판의 로딩/언로딩을 수행하는 기판 이송 로봇
을 포함하는 것을 특징으로 하는 클러스터형 배치식 기판처리 시스템
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 기판 반입부는,로드 포트(load port);상기 로드 포트를 통해 반입된 풉(foup)을 보관하는 풉 적재부(foup stocker); 상기 로드 포트에서 상기 풉 적재부로 풉을 이송하거나, 상기 풉 적재부에서 fims 도어부로 풉을 이송하는 풉 이송 로봇; 및상기 풉으로부터 상기 기판을 상기 기판 이송 로봇에 반출하는 통로를 제공하는 fims 도어부를포함하는것을특징으로 하는클러스터형 배치식 기판처리 시스템.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 기판 반입부는,상기 배치식 기판처리 장치에서 언로딩된 상기 기판을 냉각하는냉각부더포함하는것을특징으로 하는클러스터형 배치식 기판처리 시스템.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 배치 경로의 단부에 상기 배치식 기판처리 장치에서 언로딩된 상기 기판을 냉각하는냉각 챔버더포함하는것을특징으로 하는클러스터형 배치식 기판처리 시스템.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 기판 이송 로봇은 5개의 상기 기판을 이송할 수 있는5개의이송 포크포함하는것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 배치식 기판처리 장치의 상부에 배치식 기판처리 장치가이중적층된것을특징으로 하는클러스터형 배치식 기판처리 시스템.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 배치식 기판처리 장치는,기판 적재부에 적층된 복수개의 기판을 수용하여 처리하는 기판 처리부; 및상기 기판 처리부의 일측 외주면 상에 형성되고, 기판처리 가스가 흐르는 적어도 하나의 가스 공급 유로를 수용하여 상기 기판 처리부에 기판처리 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함하고,기판과 상기 기판 처리부의 내주면 사이의 거리가 d1, 기판과 상기 가스 공급 유로 사이의 거리가 d2일때인것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 기판 처리부의 타측 외주면 상에 형성되고, 기판처리 가스가 흐르는 적어도 하나의 가스 배출 유로를 수용하여 상기 기판 처리부에 공급된 기판처리 가스를 배출하는가스 배출부더포함하는것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 기판 처리부의 상기 외주면은 상기 가스 공급부의 외주면과 일체로 연결되고,상기 기판 처리부의 상기 외주면은상기가스 배출부의외주면과일체연결되는것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
[청구항 10]
제8항에 있어서,상기 가스 공급 유로는 상기 가스 공급부의 길이방향을 따라 형성된 복수의 가스 공급관 및 상기 기판 처리부를 향하여 상기 가스 공급관의 일측에 형성되는복수의토출공포함하는것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
[청구항 11]
제10항에 있어서상기 가스 배출 유로는 상기 가스 배출부의 길이방향을 따라 형성된 가스 배출관 및 상기 기판 처리부를 향하여 상기 가스 배출관의 일측에 형성되는복수의배출공포함하는것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
[청구항 12]
제7항상기 기판 처리부는 원기둥 형상을 가지며,상면평평한것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 기판 처리부의 상면 상에복수개의보강리브결합한것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 복수의 보강리브를 교차하도록 배치하거나, 평행하게 배치하여상기기판 처리부의상면상결합한것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
[청구항 15]
제7항에 있어서,상기 기판 처리부의 외주면 및 상면에히터설치된것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
[청구항 16]
제15항에 있어서,상기 히터는판형상형성된것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
[청구항 17]
제7항에 있어서,상기 기판 처리부의 하면은 개방되고,상기 기판 처리부 및 가스 공급부를 감싸는 형태로 하면이 개방된 하우징이 설치되며,상기 복수개의 기판을 상기 기판 처리부에 로딩시키며 승강가능하게 설치된상기기판적재부더포함하는것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
[청구항 18]
제17항에 있어서,상기 기판 적재부는 승강하면서 상기 기판 처리부의 하단면(下端面) 및 상기 가스 공급부의 하단면에 상단면(上端面)이 결합된 매니폴드의 하단면에 착탈가능하게 결합되고,상기 기판 적재부가 상기 매니폴드의 하단면에 결합되면 상기 기판이상기기판 처리부로딩되는것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
[청구항 19]
제11항에 있어서,상기 토출공 및 상기 배출공은, 상기 복수개의 기판이 적층된 상기 기판 적재부가 상기 기판 처리부에 수용되었을 때, 상기 기판 적재부에 지지된 상호 인접하는상기기판과기판사이의간격각각위치되는것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
[청구항 20]
제7항에 있어서,상기 기판 처리부는 석영(quartz), 스테인리스 스틸(sus), 알루미늄(aluminium), 그라파이트(graphite), 실리콘 카바이드(silicon carbide) 또는 산화 알루미늄(aluminium oxide) 중 적어도 어느하나포함하는것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
[청구항 21]
제15항에 있어서,상기 히터는 그라파이트(graphite), 카본(carbon) 복합체, 실리콘 카바이드(silicon carbide), 몰리브덴 또는 칸탈(kanthal) 중 적어도 어느하나형성된것을특징으로 하는배치식 기판처리 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 문맥에 제시된 표현을 중심으로 답하라.
질문 (question)
클러스터형 배치식 기판처리 시스템의 기판 반입부 구성 요소 중, 풉(foup)을 보관하고 fims 도어부로 이송하는 역할을 수행하는 구성은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판 반입부 구성 요소 중 풉(foup)을 보관하고 fims 도어부로 이송하는 역할을 하는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 기판 반입부의 세부 구성 요소인 로드 포트, 풉 적재부, 풉 이송 로봇, fims 도어부를 확인한다.
- 상기 기판 반입부는,로드 포트(load port);상기 로드 포트를 통해 반입된 풉(foup)을 보관하는 풉 적재부(foup stocker); 상기 로드 포트에서 상기 풉 적재부로 풉을 이송하거나, 상기 풉 적재부에서 fims 도어부로 풉을 이송하는 풉 이송 로봇; 및상기 풉으로부터 상기 기판을 상기 기판 이송 로봇에 반출하는 통로를 제공하는 fims 도어부를포함하는것을특징으로 하는클러스터형 배치식 기판처리 시스템
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3근거 선택
evidence_selection풉을 보관하는 구성인 '풉 적재부'와 풉을 fims 도어부로 이송하는 역할을 명시한 '풉 이송 로봇'에 주목한다.
- 상기 로드 포트를 통해 반입된 풉(foup)을 보관하는 풉 적재부(foup stocker); 상기 풉 적재부에서 fims 도어부로 풉을 이송하는 풉 이송 로봇
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4논리 통합
logical_integration질문에서 요구하는 '보관' 기능은 풉 적재부가 수행하며, 'fims 도어부로 이송'하는 기능은 풉 이송 로봇이 수행함을 알 수 있다. 질문은 이 두 역할을 수행하는 '구성'을 묻고 있으므로, 문맥상 이 기능들을 포함하는 기판 반입부 내의 구성 요소들을 특정해야 한다.
- 상기 로드 포트를 통해 반입된 풉(foup)을 보관하는 풉 적재부(foup stocker); 상기 풉 적재부에서 fims 도어부로 풉을 이송하는 풉 이송 로봇
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 '보관'과 '이송'의 주체를 각각 풉 적재부와 풉 이송 로봇으로 도출한다.
- 상기 로드 포트를 통해 반입된 풉(foup)을 보관하는 풉 적재부(foup stocker); 상기 풉 적재부에서 fims 도어부로 풉을 이송하는 풉 이송 로봇
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소인 풉 적재부(foup stocker)와 풉 이송 로봇을 답변으로 작성한다.
- 상기 로드 포트를 통해 반입된 풉(foup)을 보관하는 풉 적재부(foup stocker); 상기 풉 적재부에서 fims 도어부로 풉을 이송하는 풉 이송 로봇
최종 답변 (final_answer)
풉 적재부(foup stocker) 및 풉 이송 로봇
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 기판 반입부 내에서 풉(foup)의 보관을 담당하는 풉 적재부와 이를 fims 도어부로 이송하는 풉 이송 로봇을 통해 효율적인 기판 반입 프로세스를 제공하는 시스템에 관한 것이다.