증착 소스 및 그것을 포함하는 증착 장치 document_id 1020130049517

[청구항 1] 증착 물질을 채우고 기화시키는 도가니 상기 증착 물질과 소정의 간격을 두고 상기 도가니 내에 배치되며 복수의 개구부들을 포함하는 매쉬 부재 상기 도가니 내에서 상기 메쉬 부재 상에 배치되어 상기 매쉬 부재를 평면상에서 복수의 격자 영역들로 구획하는 격자형 부재 상기 매쉬 부재 상에 제공되며, 상기 격자 영역들에 채워지는 복수의 써머볼들; 및 상기 도가니의 상부에서 상기 도가니를 덮고 상기 기화된 증착 물질을 배출하는 분사 홀을 포함하는 덮개를 포함하는 증착 소스 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,볼들의 지름은 상기 개구부들의 폭보다 크고 1mm 내지형성되는증착 소스. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,볼들은 700℃ 이상의 녹는 점을 갖는 탄화 규소 섬유형성되는증착 소스. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 매쉬 부재는,링 형태를 갖고 상기 도가니의 내벽에 접촉되는 측면부; 및상기 측면부의 내측면의 하부에 연결되어 상기 증착 물질과 마주보도록 배치되는 메쉬망을 더 포함하고,상기 개구부들은 상기 메쉬망형성되는증착 소스. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 격자형 부재는,상기 평면상에서 제1 방향으로 연장되어 서로 동일한 간격을 두고 배치된 복수의 제1 격자 부재들; 및상기 평면상에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 서로 동일한 간격을 두고 배치된 복수의 제2 격자 부재들을 포함하고,상기 제1 및 제2 격자 부재들은 상기 매쉬 망을 상기 격자 영역들구획하는증착 소스. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기제1 및 제2 격자 부재들의 높이는 상기 측면부의 높이형성되는증착 소스. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기제1 및 제2 격자 부재들의 측면의 하부는 상기 측면부의 상기 내측면에 연결되며, 상기 제1 및 제2 격자 부재들의 하면은 상기 매쉬 망연결되는증착 소스. [청구항 8] 제 6 항에 있어서,모들볼은 상기 메쉬망 상에 제공되어 상기 제1 및 제2 격자 부재들의 상기 높이채워지는증착 소스. [청구항 9] 제 5 항에 있어서,상기 제1 격자 부재들 사이의 간격 및 상기 제2 격자 부재들 사이의 간격은 18.5mm 내지 19.5mm로 형성되고, 상기 제1 및 제2 격자 부재들의 길이는 55.2mm 내지 57.2mm로 형성되고, 상기 제1 및 제2 격자 부재들의 높이는 11.5mm 내지형성되는증착 소스. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 측면부의 외측면의 지름은 59mm 내지 61mm로 형성되고, 상기 측면부의 외측면의 지름과 상기 내측면의 지름 차이는 0.8mm 내지 1.2mm로 형성되고, 상기 측면부의 높이는 4.8mm 내지형성되는증착 소스. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,쉬 부재 및 상기 격자형 부재는 오스티나이트계 스테인레스강형성되는증착 소스. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,링 형태를 갖고, 상기 도가니 내에서 상기 증착 물질과 소정의 간격을 두고 배치되어 상기 도가니의 내벽에 연결되는 매쉬 지지부를 더 포함하고,상기 메쉬 부재는 상기 메쉬 지지부 상에 배치되어 상기 메쉬지지부에의해지지되는증착 소스. [청구항 13] 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내부의 상부에 배치된 기판; 및 상기 진공 챔버 내부의 하부에 배치되고, 상기 기판상에 증착 물질을 제공하는 증착 소스를 포함하고, 상기 증착 소스는, 상기 증착 물질을 채우고 기화시키는 도가니 링 형태를 갖고, 상기 도가니 내에서 상기 증착 물질과 소정의 간격을 두고 배치되어 상기 도가니의 내벽에 연결되는 매쉬 지지부 상기 도가니 내에서 상기 메쉬 지지부 상에 배치되어 상기 메쉬 지지부에 의해 지지되며, 복수의 개구부들을 포함하는 매쉬 부재 상기 도가니 내에서 상기 메쉬 부재 상에 배치되며, 상기 매쉬 부재를 평면상에서 복수의 격자 영역들로 구획하는 격자형 부재 상기 매쉬 부재 상에 제공되며, 상기 격자 영역들에 채워지는 복수의 써머볼들; 및 상기 도가니의 상부에서 상기 도가니를 덮고 상기 기화된 증착 물질을 배출하는 분사 홀을 포함하는 덮개를 포함하는 증착 장치 [청구항 14] 제 13 항에 있어서,볼들의 지름은 상기 개구부들의 폭보다 크고 1mm 내지 3mm로 형성되며, 상기 써모볼들은 700℃ 이상의 녹는 점을 갖는 탄화 규소 섬유형성되는증착 장치. [청구항 15] 제 13 항에 있어서,상기 매쉬 부재는,상기 링 형태를 갖고 상기 도가니의 내벽에 접촉되는 측면부; 및상기 측면부의 내측면의 하부에 연결되어 상기 증착 물질과 마주보도록 배치되는 메쉬망을 더 포함하고,상기 개구부들은 상기 메쉬망형성되는증착 장치. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 격자형 부재는상기 평면상에서 제1 방향으로 연장되어 서로 동일한 간격을 두고 배치된 복수의 제1 격자 부재들; 및상기 평면상에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 서로 동일한 간격을 두고 배치된 복수의 제2 격자 부재들을 포함하고,상기 제1 및 제2 격자 부재들은 상기 매쉬 망을 상기 격자 영역들로 구획하며, 상기 제1 및 제2 격자 부재들의 높이는 상기 측면부의 높이보다 높게 형성되고, 상기 제1 및 제2 격자 부재들의 측면의 하부는 상기 측면부의 상기 내측면에 연결되며, 상기 제1 및 제2 격자 부재들의 하면은 상기 매쉬 망연결되는증착 장치. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,볼들은 상기 메쉬망 상에 제공되어 상기 제1 및 제2 격자 부재들의 상기 높이채워지는증착 장치. [청구항 18] 제 16 항에 있어서,상기 제1 격자 부재들 사이의 간격 및 상기 제2 격자 부재들 사이의 간격은 18.5mm 내지 19.5mm로 형성되고, 상기 제1 및 제2 격자 부재들의 길이는 55.2mm 내지 57.2mm로 형성되고, 상기 제1 및 제2 격자 부재들의 상기 높이는 11.5mm 내지 12.5mm로 형성되고, 상기 측면부의 외측면의 지름은 59mm 내지 61mm로 형성되고, 상기 측면부의 외측면의 지름과 상기 내측면의 지름 차이는 0.8mm 내지 1.2mm로 형성되고, 상기 측면부의 상기 높이는 4.8mm 내지형성되는증착 장치. [청구항 19] 제 1 항에 있어서,쉬 부재 및 상기 격자형 부재는 오스티나이트계 스테인레스강형성되는증착 장치.