오픈 마스크가 내장된 OLED 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 document_id 1020130052737

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,다수개의 고진공 챔버들은 기판로딩챔버, 기판전처리챔버, 버퍼챔버, 유기박막증착챔버, 금속박막증착챔버, 패시베이션박막 증착챔버, 언로딩 챔버들이일렬연결되는것을특징으로 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 [청구항 3] 청구항 1에 있어서,하향식 선형증발원은 하향식 유기물 선형 증발원, 하향식 금속 선형 증발원, 하향식 선형 pecvd증발원포함하는것을특징으로 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 [청구항 5] 청구항 4에 있어서,패턴마스크의 하단과 기판상단의 높이를 1 ~ 100 마이크론 미터사이의 값유지하도록 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 [청구항 6] 청구항 4에 있어서,붙박이 패턴 마스크는다수개의직사각형오프닝구성되는것을특징으로 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 [청구항 7] 청구항 4에 있어서,붙박이 패턴마스크는 중앙이 꺼지고, 마스크의 오프닝 하부와 기판상의 거리가더욱 밀접하게유지하는것을특징으로 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 [청구항 8] 청구항 4에 있어서,붙박이 패턴 마스크는 증발가림판과 박막폭 제어장치가 구성되어 증착되는 박막의 폭을 원하는 데로 일정하게유지하는것을특징으로 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 [청구항 9] 청구항 4에 있어서,붙박이 패턴 마스크는 각 증발원별 증발물질을 차폐하는 목적으로박막별증발가림부가형성되는것을특징으로 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 [청구항 10] 청구항 4에 있어서,증착박막의 폭을 더욱 세밀하게 유지할 목적으로, 증착박막 폭 제어장치가 홀더에 고정되고, 홀더얼라인장치, 비젼장치, 광학가이드로 기판과 일정 높이를 유지하고, 박막폭을 일정하게 얼라인하는장치구성되는것을특징으로 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 [청구항 11] 청구항 1에 있어서,기판 구동롤러는 다수개의 휠들이 회전축에 구성되고, 회전축의 좌우 가장자리에는 고정날개를 가진 휠이 구성되어, 기판이 이탈되는 것을 방지하고, 일정하게선형방향이송하는것을특징으로 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 [청구항 12] 청구항 2에 있어서,기판 전처리 챔버에는 선형 플라즈마 장치가 챔버상부에 구성되고, 플라즈마 가림판, 기판,기판롤러구동장치구성되는것을특징으로 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 [청구항 13] 청구항 4에 있어서,비대칭 박막폭 제어장치와 기울임각이 1 ~ 30도 이내에 유지되는 기울임 휠장치구성되는것을특징으로 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 [청구항 15] 청구항 14에 있어서,챔버의 한쪽 부분에 필름 마스크의 센서와 기판의 위치센서가 구성되어 마스크와 기판의 위치를 센싱하여,마스크와기판의속도제어하는것을특징으로 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 [청구항 16] 청구항 14에 있어서,필름형 패턴마스크가 기판 구동용 롤러장치를 감싸는형태구성되는것을특징으로 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 [청구항 17] 청구항 14에 있어서,필름형 패턴 마스크는 필름의 길이를 따라,다수개의직사각형오프닝형성되는것을특징으로 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 [청구항 18] 청구항 14에 있어서,필름형 패턴마스크의 재질은 stainless steel, tantalium sheet외 고진공용 plastic재질형성되는것을특징으로 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비 [청구항 19] 청구항 2에 있어서,다수개의 챔버들에는 좌우에 연결포트가 형성되고, 게이트밸브를 사이에 두고서로선형연결되는것을특징으로 하는oled 박막 대량생산 제조용 인라인 증착장비