문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,다수개의 이송롤러 장치가배열되는것을특징으로 하는대면적 oled 하향식 증착기
[청구항 3]
청구항 1에 있어서,트레이의 상부에는 프레임마스크와 기판이 놓여 한몸이송되는것을특징으로 하는대면적 oled 하향식 증착기
[청구항 4]
청구항 1에 있어서,회전 롤러들이 회전축상에일정거리형성된것을특징으로 하는대면적 oled 하향식 증착기
[청구항 5]
청구항 1에 있어서,하향식 선형증발원이 챔버의 상부에 고정 설치되고, 챔버의 하부에 기판 트레이가 분리벽에 형성된 개구부를 관통하는트레이지지핀다수개가지는것을특징으로 하는대면적 oled 하향식 증착기
[청구항 6]
청구항 5에 있어서,기판트레이의 하부에는2개이상의지지핀부착되는것을특징으로 하는대면적 oled 하향식 증착기
[청구항 7]
청구항 5에 있어서,기판트레이의 지지핀은 롤러의 상부면에 얹혀지지되는것을특징으로 하는대면적 oled 하향식 증착기
[청구항 8]
청구항 5에 있어서,분리벽을 기준으로 하부에 펌핑포트가 챔버에 형성되어 디퍼런셜펌핑가능한것을특징으로 하는대면적 oled 하향식 증착기
[청구항 9]
청구항 5에 있어서,다수개의 하향식 선형 증발원이 separator wall을 사이에 두고 일렬로 챔버의 상부에 달려있고, 기판과 마스크를 실은 기판 트레이가 선형 이송되어증착공정수행되는것을특징으로 하는대면적 oled 하향식 증착기
[청구항 13]
청구항 12에 있어서,암로봇이 로봇 이송 장치상에 놓여진 것특징으로 하는대면적 oled 하향식 증착기
[청구항 14]
청구항 1에 있어서,하향식 증발원 하부에는 증발원셔터, 고정형 증착가림부, 기판셔터가 형성되고, 증발원셔터와 기판 셔터는좌우이송이가능한것을특징으로 하는대면적 oled 하향식 증착기
[청구항 16]
청구항 15에 있어서,리턴챔버내에는 트레이와 마스크를 되돌리는기능하는것을특징으로 하는대면적 oled 하향식 증착기
[청구항 17]
청구항 15에 있어서,리턴챔버내에는 트레이와 마스크를 크리닝하는기능하는것을특징으로 하는대면적 oled 하향식 증착기
[청구항 18]
청구항 15에 있어서,메탈증착 챔버외곽 상부에는 두개 이상의 하향식 포인트 소스 챔버가 구성되고, 메탈증착 챔버내 하부에는기판회전테이블구성되는것을특징으로 하는대면적 oled 하향식 증착기
[청구항 20]
청구항 19에 있어서,기판로딩 및 언로딩 챔버내에는 기판카세트가 장착되어 업다운모션하는것을특징으로 하는대면적 oled 인라인 하향식 증착기
[청구항 21]
청구항 19에 있어서,트레이인/아웃챔버에는 기판트레이가 장착되어 이탈착모션하는것을특징으로 하는대면적 oled 인라인 하향식 증착기
[청구항 22]
청구항 19에 있어서,유기마스크인/아웃챔버에는 유기박막제작용 오픈마스크가 장착되어 이탈착모션하는것을특징으로 하는대면적 oled 인라인 하향식 증착기
[청구항 23]
청구항 19에 있어서,메탈마스크인/아웃챔버에는 메탈박막제작용 오픈마스크가 장착되어 이탈착모션하는것을특징으로 하는대면적 oled 인라인 하향식 증착기
[청구항 24]
청구항 19에 있어서,메탈증착챔버에는 하향식 메탈박막제작용 선형 및 포인트형 증발원이다수개장착되어있는것을특징으로 하는대면적 oled 인라인 하향식 증착기
[청구항 25]
청구항 19에 있어서,챔버에는진공용암로봇장착되어있는것을특징으로 하는대면적 oled 인라인 하향식 증착기
[청구항 26]
청구항 19에 있어서,트레이인/아웃챔버, 유기마스크인/아웃챔버, 선형 증착챔버, 메탈마스트인/아웃챔버, 메탈증착챔버에는 전자석 코일장치와 트레이 가이드장치가 장착되어 있고, 트레이는 챔버들사이를 직선모션하여이송되는것을특징으로 하는대면적 oled 인라인 하향식 증착기
[청구항 28]
청구항 26에 있어서,파인마스크는 다수개의 파인홀의 배열을 가지는 파인마스크가 프레임에 고정되고, 파인홀의 배열은 하향식 증발원의 길이방향배열되는것을특징으로 하는대면적 oled 인라인 하향식 증착기
[청구항 29]
청구항 26에 있어서,위치가 고정된 파인마스크 하부에 일정 거리를 두고 기판트레이가 선형 이송되어 기판상에스트립모양의유기물패턴박막형성되는것을특징으로 하는대면적 oled 인라인 하향식 증착기
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
대면적 OLED 인라인 하향식 증착기에서 트레이가 챔버 사이를 직선 모션으로 이송될 수 있도록 지원하는 장치들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation대면적 OLED 인라인 하향식 증착기에서 트레이의 챔버 간 직선 모션 이송을 지원하는 장치를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 26에서 트레이가 챔버들 사이를 직선 모션하여 이송된다는 내용과 이를 지원하는 장치들을 확인한다.
- 트레이는 챔버들사이를 직선모션하여이송되는것을특징으로 하는대면적 oled 인라인 하향식 증착기
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3근거 선택
evidence_selection트레이의 직선 이송과 관련된 장치로 명시된 '전자석 코일장치'와 '트레이 가이드장치'를 선택한다.
- 전자석 코일장치와 트레이 가이드장치가 장착되어 있고
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4논리 통합
logical_integration청구항 26에 따르면 특정 챔버들에 전자석 코일장치와 트레이 가이드장치가 장착되어 있으며, 이로 인해 트레이가 챔버 사이를 직선 모션으로 이송된다.
- 트레이인/아웃챔버, 유기마스크인/아웃챔버, 선형 증착챔버, 메탈마스트인/아웃챔버, 메탈증착챔버에는 전자석 코일장치와 트레이 가이드장치가 장착되어 있고, 트레이는 챔버들사이를 직선모션하여이송되는것을특징으로 하는
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5결론 도출
conclusion_formulation트레이의 직선 이송을 지원하는 장치는 전자석 코일장치와 트레이 가이드장치이다.
- 전자석 코일장치와 트레이 가이드장치
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 답변으로 전자석 코일장치와 트레이 가이드장치를 나열한다.
- 전자석 코일장치와 트레이 가이드장치
최종 답변 (final_answer)
전자석 코일장치, 트레이 가이드장치
핵심 해석 (core_interpretation)
대면적 OLED 인라인 하향식 증착기에서 트레이가 여러 챔버 사이를 직선으로 원활하게 이송될 수 있도록 전자석 코일장치와 트레이 가이드장치를 활용하는 기술에 관한 것이다.