문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 제 2 건조 유체 공급부가 복수 설치되고, 이들 복수의 제 2 건조 유체 공급부가 상기 제 2 이동 기구에 의해 이동 가능하게형성되어있는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 제 2 건조 유체 공급부가 기판의 주연부를 향해볼록원호 형상형성되어있는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 4]
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 처리액 공급부를 기판의 중심으로부터 주연부를 향해 이동시키는 제 3 이동 기구를 더 구비하고, 상기 제어부에 의해상기제3이동기구의구동제어하는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 제 1 건조 유체 공급부가 상기 제 1 처리액 공급부의 이동 방향에 대하여 후방측에 설치되고, 상기 제 1 처리액 공급부의 이동에 추종하여상기제1건조유체 공급부이동하는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 6]
제 4 항에 있어서,상기 제 1 이동 기구와 제 3 이동 기구가공통의이동기구인것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 7]
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 2 건조 유체 공급부를 상기 기판보지부에 의해 보지된 기판의 주연부보다 외방에 대기시키는 대기 위치를 구비하고, 상기 제어부에 의해, 상기 제 1 건조 유체 공급부가 기판의 중심부로부터 주연부를 향해 이동 시에는, 상기 제 2 건조 유체 공급부는 상기 대기 위치에 위치하고, 상기 제 1 건조 유체 공급부가 상기 제 2 건조 유체 공급 개시 위치와 상기 기판에 있어서 중심 및 지름이 같은 원 상의 위치로 이동했을 시, 상기 제 2 건조 유체 공급부를 상기 제 2 건조 유체 공급 개시 위치로 이동시키고, 이 후, 상기 제 1 건조 유체 공급부와 상기 제 2 건조 유체 공급부를 상기 기판의 주연부를 향해동심원형상이동시키는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 8]
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판의 주연부에서의 상기 제 2 건조 유체 공급부로부터의 건조 유체의 공급이 상기 제 1 건조 유체 공급부로부터의 공급보다전정지되는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 기판으로 처리액을 공급하는 제 2 처리액 공급부와, 상기 제 2 처리액 공급부와 상기 제 2 건조 유체 공급부를 상기 제 2 처리액 공급부를 선두로 하여 기판의 중심과 주연부의 사이에서의 상기 제 1 처리액 공급부 및 제 1 건조 유체 공급부와 간섭하지 않는 상기 기판에 있어서 중심 및 지름이 같은 원 상의 위치로 설정된 제 2 처리액 공급 개시 위치 및 제 2 건조 유체 공급 개시 위치로부터 주연부를 향해 이동시키는 제 2 이동 기구와, 상기 제 2 처리액 공급부 및 제 2 이동 기구의 구동을 제어하는 제어부를 더 구비하고, 상기 제어부에 의해, 상기 제 1 처리액 공급부 및 제 1 건조 유체 공급부가 상기 제 2 처리액 공급 개시 위치 및 제 2 건조 유체 공급 개시 위치와 상기 기판에 있어서 중심 및 지름이 같은 원 상의 위치로 이동했을 시, 상기 제 2 처리액 공급 개시 위치 및 제 2 건조 유체 공급 개시 위치로부터 기판의 주연부를 향해 상기 제 2 처리액 공급부로부터 상기 액막과 건조 영역의 경계면으로 처리액을 공급하고, 또한 제 2 건조 유체 공급부로부터 건조 유체를 공급하고, 상기 제 1 처리액 공급부 및 제 1 건조 유체 공급부와 상기 제 2 처리액 공급부 및 제 2 건조 유체 공급부를 상기 기판의 주연부를 향해동심원형상이동시키는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 제 2 처리액 공급부, 제 2 건조 유체 공급부 및 제 2 이동 기구가복수설치되어있는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,상기 제 2 처리액 공급부 및 제 2 이동 기구가복수설치되어있는것을특징으로 하는액처리 장치.
지시문 (instruction)
본문에서 필요한 정보를 찾아 질문에 답변하라.
질문 (question)
제1 건조 유체 공급부와 제2 건조 유체 공급부가 기판의 주연부를 향해 이동할 때, 제어부에 의해 수행되는 구체적인 동작 절차는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제1 건조 유체 공급부와 제2 건조 유체 공급부가 기판의 주연부를 향해 이동할 때, 제어부가 수행하는 구체적인 동작 절차를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7에서 제어부에 의한 공급부들의 이동 시점과 위치 제어에 관한 내용을 추출한다.
- 상기 제어부에 의해, 상기 제 1 건조 유체 공급부가 기판의 중심부로부터 주연부를 향해 이동 시에는, 상기 제 2 건조 유체 공급부는 상기 대기 위치에 위치하고, 상기 제 1 건조 유체 공급부가 상기 제 2 건조 유체 공급 개시 위치와 상기 기판에 있어서 중심 및 지름이 같은 원 상의 위치로 이동했을 시, 상기 제 2 건조 유체 공급부를 상기 제 2 건조 유체 공급 개시 위치로 이동시키고, 이 후, 상기 제 1 건조 유체 공급부와 상기 제 2 건조 유체 공급부를 상기 기판의 주연부를 향해동심원형상이동시키는것
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3근거 선택
evidence_selection제어부가 제1 건조 유체 공급부의 위치에 따라 제2 건조 유체 공급부를 대기시키거나 특정 위치로 이동시킨 후 동심원 이동을 수행한다는 구절을 선택한다.
- 상기 제어부에 의해, 상기 제 1 건조 유체 공급부가 기판의 중심부로부터 주연부를 향해 이동 시에는, 상기 제 2 건조 유체 공급부는 상기 대기 위치에 위치하고, 상기 제 1 건조 유체 공급부가 상기 제 2 건조 유체 공급 개시 위치와 상기 기판에 있어서 중심 및 지름이 같은 원 상의 위치로 이동했을 시, 상기 제 2 건조 유체 공급부를 상기 제 2 건조 유체 공급 개시 위치로 이동시키고, 이 후, 상기 제 1 건조 유체 공급부와 상기 제 2 건조 유체 공급부를 상기 기판의 주연부를 향해동심원형상이동시키는것
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4논리 통합
logical_integration제어부는 먼저 제1 건조 유체 공급부가 이동하는 동안 제2 건조 유체 공급부를 대기 위치에 둔다. 이후 제1 공급부가 특정 위치(개시 위치)에 도달하면 제2 공급부를 개시 위치로 이동시키고, 최종적으로 두 공급부를 함께 주연부 방향으로 동심원 이동시킨다.
- 상기 제어부에 의해, 상기 제 1 건조 유체 공급부가 기판의 중심부로부터 주연부를 향해 이동 시에는, 상기 제 2 건조 유체 공급부는 상기 대기 위치에 위치하고, 상기 제 1 건조 유체 공급부가 상기 제 2 건조 유체 공급 개시 위치와 상기 기판에 있어서 중심 및 지름이 같은 원 상의 위치로 이동했을 시, 상기 제 2 건조 유체 공급부를 상기 제 2 건조 유체 공급 개시 위치로 이동시키고, 이 후, 상기 제 1 건조 유체 공급부와 상기 제 2 건조 유체 공급부를 상기 기판의 주연부를 향해동심원형상이동시키는것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답변하기 위해 제어부의 단계별 동작(대기 -> 위치 이동 -> 동심원 이동)을 정리한다.
- 상기 제어부에 의해, 상기 제 1 건조 유체 공급부가 기판의 중심부로부터 주연부를 향해 이동 시에는, 상기 제 2 건조 유체 공급부는 상기 대기 위치에 위치하고, 상기 제 1 건조 유체 공급부가 상기 제 2 건조 유체 공급 개시 위치와 상기 기판에 있어서 중심 및 지름이 같은 원 상의 위치로 이동했을 시, 상기 제 2 건조 유체 공급부를 상기 제 2 건조 유체 공급 개시 위치로 이동시키고, 이 후, 상기 제 1 건조 유체 공급부와 상기 제 2 건조 유체 공급부를 상기 기판의 주연부를 향해동심원형상이동시키는것
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6답변 생성
answer_generation추출된 절차를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 제어부에 의해, 상기 제 1 건조 유체 공급부가 기판의 중심부로부터 주연부를 향해 이동 시에는, 상기 제 2 건조 유체 공급부는 상기 대기 위치에 위치하고, 상기 제 1 건조 유체 공급부가 상기 제 2 건조 유체 공급 개시 위치와 상기 기판에 있어서 중심 및 지름이 같은 원 상의 위치로 이동했을 시, 상기 제 2 건조 유체 공급부를 상기 제 2 건조 유체 공급 개시 위치로 이동시키고, 이 후, 상기 제 1 건조 유체 공급부와 상기 제 2 건조 유체 공급부를 상기 기판의 주연부를 향해동심원형상이동시키는것
최종 답변 (final_answer)
제어부는 제1 건조 유체 공급부가 기판의 중심부로부터 주연부를 향해 이동할 때 제2 건조 유체 공급부를 대기 위치에 위치시키며, 이후 제1 건조 유체 공급부가 제2 건조 유체 공급 개시 위치(기판의 중심 및 지름이 같은 원 상의 위치)로 이동하면 제2 건조 유체 공급부를 해당 개시 위치로 이동시킨 후, 제1 건조 유체 공급부와 제2 건조 유체 공급부를 기판의 주연부를 향해 동심원 형상으로 이동시킨다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제1 및 제2 건조 유체 공급부의 이동 시점을 제어하여, 제1 공급부의 위치에 따라 제2 공급부를 대기시키거나 특정 위치로 이동시킨 후 동심원 형태로 주연부를 향해 이동시키는 공정 제어 기술에 관한 것이다.